导线轮及切割机制造技术

本实用新型专利技术公开一种导线轮及切割机，涉及硅片切割技术领域，用于降低切割过程中切割线的断线率，从而提高生产效率。所述导线轮包括：导线轮本体，所述导线轮本体的圆周面具有环形耐磨结构，所述环形耐磨结构开设有容纳切割线的环形凹槽；所述环形凹槽的槽底为环形面，所述槽底的轴向宽度大于所述切割线的直径。所述切割机包括上述技术方案所提的导线轮。切割机包括上述技术方案所提的导线轮。切割机包括上述技术方案所提的导线轮。

【技术实现步骤摘要】
导线轮及切割机


[0001]本技术涉及硅片切割
，尤其涉及一种导线轮及切割机。

技术介绍

[0002]目前，将单晶硅棒或单晶硅块切割成单晶硅片过程中通常需要用到金刚线切割机，现有的切割机中所使用的导线轮由于自身的结构问题，使用过程中切割线容易发生扭转导致切割线变形甚至断裂。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种导线轮及切割机，用于降低切割过程中切割线的断线率，从而提高生产效率。
[0004]第一方面，本技术提供一种导线轮，导线轮包括：导线轮本体，导线轮本体的圆周面具有环形耐磨结构。环形耐磨结构开设有容纳切割线的环形凹槽。环形凹槽的槽底为环形面。槽底的轴向宽度大于切割线的直径。
[0005]采用上述技术方案的情况下，在切割时，位于环形凹槽内的切割线与环形耐磨结构的槽底直接接触，并在环形凹槽内沿切割线的延伸方向反复运动。由于环形凹槽的槽底为环形面，且槽底的轴向宽度大于切割线的直径，故环形凹槽内的切割线在静止时只受到由槽底提供的垂直向上的支撑力，而在切割时只受到由槽底提供的支撑力以及摩擦力。与现有技术中的V型槽相比，本技术提供的导线轮使得切割线在切割过程中不再受到来自环形凹槽两边侧壁的斜向支撑力，仅受到来自槽底的支撑力与摩擦力，从而避免了由于环形凹槽两边侧壁提供的斜向支撑力导致切割线发生扭转，进而降低了切割线的断线率，提高了生产效率。
[0006]在一种可能的实现方式中，环形耐磨结构的轴向宽度范围减小至大于或等于5mm且小于6mm。环形耐磨结构的径向尺寸范围减小至大于或等于6.5mm且小于10mm。
[0007]采用上述技术方案的情况下，与现有技术中环形耐磨结构的轴向宽度为6mm，径向尺寸为10mm相比，本技术提供的导线轮上的环形耐磨结构的轴向宽度与径向尺寸均有所缩小，减轻了环形耐磨结构的重量，进而减轻了导线轮整体的重量。由于转动惯量为表征刚体惯性的物理量，且受到物体质量的影响，故减轻导线轮的质量后，导线轮的转动惯量减小，导线轮的惯性也相应变小，因此，在切割过程中切割线受到的摩擦力减小，降低了切割线的断线率，提高了生产效率。此外，减轻导线轮的质量还可以降低导线轮的成本，进而降低了生产成本。
[0008]在一种可能的实现方式中，槽底的宽度范围为大于等于2mm且小于等于3mm。环形凹槽的槽深范围为大于等于0.5mm且小于等于1mm。与现有技术中的V型槽相比，本技术提供的环形凹槽为只有槽底与切割线接触的环形凹槽。槽底的宽度远大于切割线的直径，使得切割线在环形凹槽内可以不与环形凹槽的两侧槽壁相接触，只受到由槽底提供的支撑力与摩擦力，避免了切割线受到斜向的支撑力产生扭转，降低了切割线的断线率。
[0009]在一种可能的实现方式中，环形凹槽的开口的宽度大于槽底的宽度。环形凹槽开口的宽度大于槽底的宽度，使得切割线在进入和离开相应的导线轮时不与环形凹槽的两侧槽壁相接触，避免切割线产生扭转，进而避免了切割线断线。
[0010]在一种可能的实现方式中，环形凹槽的一侧槽壁与槽底之间的角度为第一角度α。环形凹槽的另一侧槽壁与槽底之间的角度为第二角度β。105
°
≤α≤165
°
。105
°
≤β≤165
°
。第一角度α和第二角度β为表征环形凹槽内的两侧槽壁倾斜程度的参数。若第一角度α和第二角度β过小，则切割线在进入和退出导线轮时或导线轮运行不良时会有与环形凹槽的两侧壁接触的风险；若第一角度α和第二角度β过大，则在导线轮运行时切割线会有滑落的风险。
[0011]在一种可能的实现方式中，环形凹槽的顶部两侧壁厚为大于等于0.5mm且小于等于1mm。环形凹槽的顶部两侧壁厚可以根据环形凹槽两侧槽壁的倾斜程度变化。若环形凹槽的顶部两侧壁厚过小，则环形凹槽侧壁处的强度会较弱，导致环形耐磨结构的受到损伤。
[0012]在一种可能的实现方式中，导线轮本体还具有多个安装孔，多个安装孔围绕导线轮本体的中心均匀分布。多个安装孔用于固定导线轮。通过多个安装孔之间的相互配合，可以更好地固定导线轮，使得导线轮在运行过程中更加稳定。多个安装孔围绕导线轮本体的中心均匀分布，使得导线轮的受力更加均匀，有利于后续生产的顺利进行。
[0013]在一种可能的实现方式中，安装孔为沿圆周方向延伸的调节孔。
[0014]在一种可能的实现方式中，导线轮本体还具有多个镂空孔，多个镂空孔沿圆周方向均匀分布。开设在导线轮本体上的多个镂空孔，可以减轻导线轮的质量，进而减小导线轮的转动惯量，减弱导线轮对切割线的摩擦力，从而降低切割线的断线率。多个镂空孔沿圆周方向均匀分布，使得导线轮的质量分布均匀，避免了导线轮的不平衡，进一步避免了切割线的断线。
[0015]第二方面，本技术还提供一种切割机，包括第一方面或第一方面任一可能的实现方式描述的导线轮。
[0016]第二方面提供的切割机的有益效果与第一方面或第一方面任一可能的实现方式描述的导线轮的有益效果相同，此处不做赘述。
附图说明
[0017]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1为现有技术中导线轮凹槽的径向截面示意图；
[0019]图2为本技术实施例提供的导线轮的正面示意图；
[0020]图3为本技术实施例提供的导线轮的径向剖面图；
[0021]图4为本技术实施例提供的导线轮的局部示意图；
[0022]图5为本技术实施例提供的环形凹槽的径向截面示意图；
[0023]图6为本技术实施例提供的导线轮的断线率对比图；
[0024]图7为本技术实施例提供的导线轮的跳线率对比图；
[0025]图8为本技术实施例提供的导线轮的A级成品率对比图。
[0026]附图标记：
[0027]1‑
导线轮，
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
10
‑
导线轮本体，
[0028]100
‑
环形耐磨结构，
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
1000
‑
环形凹槽，
[0029]1000a
‑
槽底，
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
1000b
‑
槽壁，
[0030]α
‑
第一角度，
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
β
‑
第二角度，
[0031]11
‑
中心孔，
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
12
‑
安装孔，
[0032]13
‑
镂空孔，
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种导线轮，其特征在于，所述导线轮包括：导线轮本体，所述导线轮本体的圆周面具有环形耐磨结构，所述环形耐磨结构开设有容纳切割线的环形凹槽；所述环形凹槽的槽底为环形面，所述槽底的轴向宽度大于所述切割线的直径。2.根据权利要求1所述的导线轮，其特征在于，所述环形耐磨结构的轴向宽度范围减小至大于或等于5mm且小于6mm；所述环形耐磨结构的径向尺寸范围减小至大于或等于6.5mm且小于10mm。3.根据权利要求1所述的导线轮，其特征在于，所述槽底的宽度范围为大于等于2mm且小于等于3mm，所述环形凹槽的槽深范围为大于等于0.5mm且小于等于1mm。4.根据权利要求1所述的导线轮，其特征在于，所述环形凹槽的开口的宽度大于所述槽底的宽度。5.根据权利要求1所述的导线轮，其特征在于，所述环形凹槽的一侧槽壁与所述槽底之间的角度为第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：范鑫，杨必红，陆敏星，
申请(专利权)人：禄丰隆基硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：