一种碳化硅晶体生长炉装料取晶体的动作系统技术方案

本发明专利技术涉及单晶生长炉领域。一种碳化硅装料取晶体的动作系统，包括晶体生长炉，晶体生长炉包括机架，机架上安装有升降机构，机架上安装有用于控制升降机构升降过程中的极限位置的上极限开关以及下极限开关；热场组件包括基座、滑动支撑架、托板以及热场坩埚，基座与升降机构的升降架可拆卸连接；基座上滑动连接有滑动支撑架，滑动支撑架上安装有托板，托板上安装有热场坩埚；机架的左端开设有用于滑出滑动支撑架的滑出口，滑动支撑架的左端的底部安装有辅助滚轮，辅助滚轮包括承力托板、滚轮安装板以及滚轮，承力托板与滚轮安装板之间通过弹性机构相连，滚轮安装板上安装有滚轮。本专利给予了一种自动化装料或者取单晶的动作系统。统。统。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅晶体生长炉装料取晶体的动作系统


[0001]本专利技术涉及单晶生长炉领域，具体是装料取晶体的动作系统。

技术介绍

[0002]针对于碳化硅晶体生长炉生长单晶工艺中涉及到装料取晶体的工艺动作。
[0003]碳化硅晶体生长过程中，装料是用叉车升起来货叉托住托盘和热场坩埚，再慢慢下降到一定位置，再从设备内部移动到设备外部进行装料的动作，需要人力推动叉车完成，取晶体的操作也是一样。
[0004]目前行业内普遍采用上述人工加叉车完成工艺动作，人员技能和熟练要求就成为必需条件，这一方面会存在成隐患，另一方面也会对人的素质产生要求，为适应现代化生产需要，应该往自动化方向更进一步。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种碳化硅装料取晶体的动作系统，以解决以上至少一个技术问题。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种碳化硅装料取晶体的动作系统，包括一晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉包括一机架，所述机架上安装有用于带动热场组件升降的升降机构，所述机架上安装有用于控制升本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅装料取晶体的动作系统，包括一晶体生长炉，其特征在于，所述晶体生长炉包括一机架，所述机架上安装有用于带动热场组件升降的升降机构，所述机架上安装有用于控制升降机构升降过程中的极限位置的上极限开关以及下极限开关；所述热场组件包括一基座、滑动支撑架、托板以及热场坩埚，所述基座与所述升降机构的升降架可拆卸连接；所述基座上滑动连接有所述滑动支撑架，所述滑动支撑架上安装有所述托板，所述托板上安装有所述热场坩埚；所述基座上设有用于限制所述滑动支撑架运动至左极限位置的左极限位置限位机构以及用于限制所述滑动支撑架运动至右极限位置的右极限位置限位机构；所述机架的左端开设有用于滑出所述滑动支撑架的滑出口，所述滑动支撑架的左端的底部安装有辅助滚轮，所述辅助滚轮包括一承力托板、滚轮安装板以及滚轮，所述承力托板与所述滚轮安装板之间通过弹性机构相连，所述滚轮安装板上安装有所述滚轮。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：装料或者取晶体时，首先，滑动支撑架位于右极限位置，升降机构位于上极限开关位置，升降机构下降，带动热场组件下降至下极限开关位置后，滑动架向左滑出到左极限位置，进行装料或者取晶体动作；完成装料或者取晶体动作后，滑动支撑架向右滑动到右极限位置，升降机构从下极限开关位置上升至上极限开关位置，此时，托板与单晶生长炉的腔室安装法兰对接围成一空腔。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅装料取晶体的动作系统，其特征在于：所述弹性机构包括两个矩形弹簧，所述滚轮安装板上设有两个竖直设置的支撑杆，所述支撑杆上套设有所述矩形弹簧，所述承力板上穿过所述支撑杆，所述支撑杆的顶部螺纹连接有锁紧螺母；所述滚轮安装板上还螺纹连接有四个固定螺钉，所述承力板上开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈有生，贺贤汉，赖章田，张城，夏孝平，徐淑文，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：