下载一种碳化硅晶体生长炉装料取晶体的动作系统的技术资料

文档序号:32277920

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本发明涉及单晶生长炉领域。一种碳化硅装料取晶体的动作系统,包括晶体生长炉,晶体生长炉包括机架,机架上安装有升降机构,机架上安装有用于控制升降机构升降过程中的极限位置的上极限开关以及下极限开关;热场组件包括基座、滑动支撑架、托板以及热场坩埚,...
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