一种带有抗震功能的激光全息光刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有抗震功能的激光全息光刻机，包括工作台、送料器和清洗器，所述工作台的顶部安装有光刻箱，且光刻箱位于控制台的一侧，所述光刻箱的外壁安装有送料器，所述传送箱的内壁安装有送料箱，且送料箱位于传送带的一侧，所述工作台的内壁安装有清洗器。本实用新型专利技术通过安装有送料箱和送料器解决安放晶体时间长的问题，晶体通过滑槽进入到传送箱的内部，电机为传送带提供动力，传送带传送晶体进入到送料箱的内部，进入承托器的顶部，驱动箱带动往复丝杆转动，往复丝杆转动带动支撑板移动，支撑板移动带动液压杆移动，液压杆收缩，使承托器分离，承托器顶部的晶体进入滑动底座的顶部，达到快速传送晶体加工的目的。的。的。

【技术实现步骤摘要】
一种带有抗震功能的激光全息光刻机


[0001]本技术涉及光刻机
，具体为一种带有抗震功能的激光全息光刻机。

技术介绍

[0002]光刻机是制造微机电和二极体等集成电路的主要机器设备，光刻机在集成电路制造工艺中，光刻是核心工序，该工序是将电路图形信息转印到半导体的材料表面上，光刻工艺是利用涂抹在圆晶表面的光刻胶进行光化学反应作用，从而将集成电路图形转印到晶体表面的目的。
[0003]现有的激光全息光刻机存在的缺陷是：
[0004]1.对比文件CN205958926U公开了一种光刻机，保护的权项“包括工作平台、PLC控制系统、曝光装置。组装时，X轴滑动平台与Z轴滑动平台通过滑动槽连接，X轴滑动平台和Z轴滑动平台分别与电机连接，实现平移，曝光装置设置在X轴靠后位置，曝光装置与电机连接，实现调节曝光装置与X轴的夹角，托盘与电机连接，曲面产品放置在托盘上，用设置在托盘的夹角固定，避免旋转过程中被甩出。通过曝光装置照射的光线的垂直入射，提高光刻的均匀性，实现光刻的高精度”，但是该装置在安放晶体加工时需要人工进行操作，且安放期间需要打开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有抗震功能的激光全息光刻机，包括工作台(1)、送料器(4)和清洗器(6)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部安装有控制台(2)，所述工作台(1)的顶部安装有光刻箱(3)，且光刻箱(3)位于控制台(2)的一侧，所述光刻箱(3)的外壁安装有送料器(4)；所述送料器(4)的内壁安装有滑槽(401)，所述送料器(4)的内壁安装有传送箱(402)，且传送箱(402)位于滑槽(401)的下方，所述传送箱(402)的内壁安装有传送带(403)，所述传送箱(402)的内壁安装有电机(404)，且电机(404)位于传送带(403)的一侧；所述传送箱(402)的内壁安装有送料箱(5)，且送料箱(5)位于传送带(403)的一侧，所述工作台(1)的内壁安装有清洗器(6)，所述工作台(1)的内壁安装有收集器(7)，且收集器(7)位于清洗器(6)的一侧。2.根据权利要求1所述的一种带有抗震功能的激光全息光刻机，其特征在于：所述清洗器(6)的内壁安装有伸缩杆(601)，伸缩杆(601)的顶端安装有承托盘(602)，工作台(1)的内壁安装有推杆(603)，且推杆(603)位于清洗器(6)的一侧。3.根据权利要求1所述的一种带有抗震功能的激光全息光刻机，其特征在于：所述工作台(1)的正面安装有控制面板(101)。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：符维民，
申请(专利权)人：苏州百聪科技有限公司，
类型：新型
国别省市：