柔性折叠X射线探测器及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种柔性折叠X射线探测器及其制备方法，通过在衬底上形成柔性基底层、柔性感光阵列层、闪烁体层及柔性封装层后，在进行折叠操作后，形成位于衬底上的探测器堆叠结构，从而本申请在将一块探测器进行折叠后，可实现双能乃至多能的探测结果，从而可减少探测器数量，提高探测效率，且可以根据需要划分更多的能量区间，为更多能量信息的引入提供了条件，以提供更细的能谱区分，该探测器对于噪声的抑制更为有效，能够有效提高图像质量，且为柔性探测器，可便捷的对曲面的待测物体进行检测，从而本申请可提供一种工艺简单、成本低、操作便捷、图像质量较高的X射线探测器。图像质量较高的X射线探测器。图像质量较高的X射线探测器。

【技术实现步骤摘要】
柔性折叠X射线探测器及其制备方法


[0001]本专利技术属于X射线探测器领域，涉及一种柔性折叠X射线探测器及其制备方法。

技术介绍

[0002]X射线辐射成像利用X射线短波长、易穿透的性质，不同原子序数、密度和厚度材料对X射线吸收不同的特点，通过探测透过物体的X射线的强度来成像。体积小、重量轻、移动便携的数字X射线探测器广泛应用于医疗诊断、工业检测和安全检查，逐渐取代了以胶片为记录介质的传统X射线成像系统。
[0003]X射线探测器概括的说就是一种采用半导体技术将X射线能量转换为电信号，产生X射线图像的检测器。其从能量转换的方式可以分为两种：间接转换型探测器和直接转换型探测器。其中非晶硅探测器为间接式探测器，主要是将闪烁体层(碘化铯或硫氧化钆)、成像传感器(光电二极管PD及薄膜晶体管TFT)和信号处理电路板进行组装集成。
[0004]在X射线探测器的应用中，对于密度较小、厚度较薄的物品的检测中，单能谱探测已难以满足检测需求，从而双能谱探测越来越受到人们的关注，但现有的双能成像系统一般为采用两块探测器的集成结构，即双能成像系统中具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性折叠X射线探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供衬底；于所述衬底上形成柔性基底层；于所述柔性基底层上形成柔性感光阵列层，所述柔性感光阵列层包括电连接的光电二极管及薄膜晶体管；于所述柔性感光阵列层上形成闪烁体层，所述闪烁体层中具有显露所述柔性感光阵列层的沟槽；形成覆盖所述闪烁体层及沟槽的柔性封装层；将部分所述柔性基底层与所述衬底进行剥离；基于所述沟槽，进行折叠，并将X射线滤过层置于所述柔性封装层内，形成位于所述衬底上的探测器堆叠结构；去除显露的所述衬底，形成所述柔性折叠X射线探测器。2.根据权利要求1所述的柔性折叠X射线探测器的制备方法，其特征在于：所述沟槽的数目包括2个
‑
5个，且根据所述沟槽的数目进行对应的折叠操作。3.根据权利要求1所述的柔性折叠X射线探测器的制备方法，其特征在于：所述沟槽在所述感光阵列层上形成的投影区中未设置所述光电二极管及薄膜晶体管。4.根据权利要求1所述的柔性折叠X射线探测器的制备方法，其特征在于：形成所述闪烁体层的方法包括镀膜法或贴合法。5.根据权利要求1所述的柔性折叠X射线探测器的制备方法，其特征在于：位于所述沟槽两侧的所述闪烁体层具有相同或不同材质。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：史思罡，杨炯灿，孙建军，金利波，罗宏德，
申请(专利权)人：上海奕瑞光电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：