硅电容压力敏感器件封装结构制造技术

技术编号:3226171 阅读:227 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
硅电容压力敏感器件封装结构,包括基座、引压管,其特征在于基座内中段相对设置两个挡块,硅电容芯片置于一挡块与填充陶瓷块之间,引线座位于基座一端、引压导管位于基座另一端,各件均焊接在基座上成一体。本结构设计的积极效果是:硅电容压力敏感器件封装结构由引压导管支撑传感器本体,在受压腔体内呈悬浮状态,从而使传感器的耐受性、可靠性增强,稳定性更好。(*该技术在2015年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及工业仪表,可测量压力、差压值的一种压力传感器。
技术介绍
压力/差压变送器是自动化控制领域中不可缺少的关键仪表,而压力/差压传感器又是压力变送器的核心部件。硅电容压力敏感器件作为传感器的新型结构,它的引线、封装较特殊,结构设计对硅电容传感器性能、稳定性、动态响应特性有直接影响。
技术实现思路
技术的目的是提供一种硅电容压力敏感器件封装结构,该传感器结构悬在受压环境中,适用于压力/差压变送器。硅电容压力敏感器件封装结构,包括基座、引压管,其特征在于基座内中段相对设置两个挡块,硅电容芯片置于一挡块与填充陶瓷块之间,引线座位于基座一端、引压导管位于基座另一端,各件均焊接在基座上成一体。本结构设计的积极效果是这种硅电容压力敏感器件封装结构,由引压导管支撑传感器本体,使之悬浮在受压腔体内,当加压时受静压的影响减弱。因此,该传感器的耐受性、可靠性增强,稳定性更好。附图说明附图1是本设计的压力传感器硅电容结构示意图;具体实施方式硅电容压力敏感器件封装结构,包括基座、引压管,见图1其特征在于基座1体内中段相对地设置挡块4和挡块8,将硅电容芯片3置于挡块4上,并用填充陶瓷块5垫在与基座1的间隙中,硅电容3的三条引线由相邻的引线座2导出,引线座2位于基座1一端,正负腔引压导管6通过转接件7置于基座1另一端,上述各件均焊接在基座1内成一体。

【技术保护点】
一种硅电容压力敏感器件封装结构,包括基座、引压管,其特征在于基座内中段相对设置两个挡块,硅电容芯片置于一挡块与填充陶瓷块之间,引线座位于基座一端、引压导管位于基座另一端,各件均焊接在基座内成一体。

【技术特征摘要】
1.一种硅电容压力敏感器件封装结构,包括基座、引压管,其特征在于基座内中段相对设置两个挡块,硅电容芯...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙海玮张治国刘沁陈信琦
申请(专利权)人:沈阳仪表科学研究院
类型:实用新型
国别省市:89[中国|沈阳]

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