一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的生产系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的生产系统，包括曼海姆炉、硫酸洗涤塔、一级洗涤塔、一级过滤器、二级洗涤塔、三级洗涤塔和二级过滤器，所述硫酸洗涤塔的输入端与所述曼海姆炉连接，所述硫酸洗涤塔的输出端与所述一级洗涤塔连接，所述一级洗涤塔的输出端与一级过滤器连接，在所述一级过滤器之后依次设置有二级洗涤塔、三级洗涤塔和二级过滤器。本实用新型专利技术的试剂盐酸生产系统与曼海姆炉连通，同时增加一级过滤器和二级过滤器对试剂盐酸生产过程中的气相或盐酸溶液盐酸进行多次过滤，不需要蒸馏即可得到高纯试剂盐酸，能耗低，产出率高，有利于大规模生产。有利于大规模生产。有利于大规模生产。

【技术实现步骤摘要】
一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的生产系统


[0001]本技术涉及电子化学试剂生产领域，具体而言，涉及一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的生产系统。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的迅速发展，对超净高纯试剂的要求越来越高。在集成电路 (IC)的加工过程中，超净高纯试剂主要用于芯片及硅圆片表面的清洗和刻蚀，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。超净试剂盐酸作为一种重要的微电子化学品已经广泛用于半导体、大规模集成电路加工过程中的清洗、干燥等方面。
[0003]目前电子化学品试剂盐酸的生产主要采用的生产技术为精馏法。如现有技术中公开号为CN103213947B的专利公开了一种利用精馏法生产试剂盐酸的工艺，该工艺包括选料，选浓度为36～38％的盐酸溶液为原料；稀释，用去离子水将原料稀释至35％；精馏，将稀释后的原料添加到内热式的精馏设备中，并向盐酸吸收器内通入冷却水，同时启动内热装置开始对原料加热；吸收，当原料被加热蒸发生成气态盐酸与水蒸气后，气态盐酸与水蒸气通过管路在盐酸吸收器内重新形成盐酸溶液，此时再持续向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的生产系统，其特征在于，包括曼海姆炉（1）、硫酸洗涤塔（2）、一级洗涤塔（3）、一级过滤器（4）、二级洗涤塔（5）、三级洗涤塔（6）和二级过滤器（7），所述硫酸洗涤塔（2）的输入端与所述曼海姆炉（1）连接，所述硫酸洗涤塔（2）的输出端与所述一级洗涤塔（3）连接，所述一级洗涤塔（3）的输出端与一级过滤器（4）连接，在所述一级过滤器（4）之后依次设置有二级洗涤塔（5）、三级洗涤塔（6）和二级过滤器（7）。2.根据权利要求1所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的生产系统，其特征在于，在所述一级洗涤塔（3）上设置有第一气体入口（31）和第一气体出口（32），所述第一气体入口（31）设置在所述一级洗涤塔（3）靠近下部的位置，所述第一气体出口（32）设置在所述一级洗涤塔（3）的顶部，所述第一气体入口（31）通过第一循环泵（33）与硫酸洗涤塔（2）连通，所述第一气体出口（32）与一级过滤器（4）连通。3.根据权利要求2所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的生产系统，其特征在于，在所述一级洗涤塔（3）的下部还设置有第一液相出口（34）和第一纯水入口，纯水经第一纯水入口进入所述一级洗涤塔（3）塔底部，且经所述第一液相出口（34）后通过第二循环泵（35）将纯水从所述一级洗涤塔（3）塔内上方经过喷淋头淋下。4.根据权利要求1所述的利用曼海姆炉尾气生产试剂盐酸的生产系统，其特征在于，在所述二级洗涤塔（5）上设置有第二气体入口（51）和第二气体出口（52），所述第二气体入口（51）设置在二级洗涤塔（5）靠近下部的位置，所述第二气体出口（52）设置在所述二级洗涤塔（5）的顶部，在所述二级洗涤塔（5）内预通入纯水，同时在所述二级洗涤塔（5）的下部还设置有第二液相出口（53）和第二液相入口，第二液相入口与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴军祥，吴良毅，孙汉勇，石建华，王秀萍，夏涛，索振华，王林浩，
申请(专利权)人：河北卓泰肥业有限公司，
类型：新型
国别省市：