一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，包括夹具本体，为设备主要的夹持结构，所述夹具本体的内表面设置有连接臂，所述连接臂的另一端连接有螺杆；清洗池，位于所述夹具本体的底端，所述清洗池的内表面设置有连接杆；套筒，位于所述夹具本体的顶端，所述套筒内部与所述的螺杆外表面相互连接。该提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，通过设置八个支撑座对掩膜版的侧面进行固定，能够提高对掩膜版支撑的稳定性，避免在清洗过程中施力不均匀而导致掩膜版从夹具内部翘起，不仅增加了清洗的安全性，同时也增加了对掩膜版的清洗效率。对掩膜版的清洗效率。对掩膜版的清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具


[0001]本技术涉及掩膜版夹具
，具体为一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具。

技术介绍

[0002]掩膜版的湿法清洗系统一般由用化学反应去除有机物、用毛刷物理力量去除大颗粒、用超声波空穴效应去除小颗粒、用水分子的运动能量去除小颗粒、用纯N2去干燥掩膜版等五大功能模块组成，在清洗的过程中需要夹具进行限位固定，避免滑落对掩膜版造成损伤。
[0003]然而现有9寸掩膜版的四个角距离夹具支撑点较远，约等于掩膜版边长的一半为114.3mm，当毛刷清洗到掩膜版的四个边角时，根据杠杆原理，操作员工稍微用力大一点或者用力不均匀，就很容易把掩膜版整体从夹具上翘起或者脱离支撑部位，不仅会导致掩膜版表面不平，影响清洗效果，同时还容易导致掩膜版背面有刮痕甚至甩出夹具等报废，因此，需要一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，以解决上述
技术介绍
中提出现有9寸掩膜版的四个角距离夹具支撑点较远，约等于掩本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，其特征在于，包括：夹具本体(1)，为设备主要的夹持结构，夹具本体(1)的内表面设置有连接臂(2)，连接臂(2)的另一端连接有螺杆(3)；清洗池(8)，位于夹具本体(1)的底端，清洗池(8)的内表面设置有连接杆(9)；套筒(10)，位于夹具本体(1)的顶端，套筒(10)内部与的螺杆(3)外表面相互连接。2.根据权利要求1所述的一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹具，其特征在于：所述夹具本体(1)顶表面环形分布有第一支撑座(4)和第二支撑座(5)，所述第一支撑座(4)和第二支撑座(5)关于夹具本体(1)横竖切面镜像分布，所述第一支撑座(4)和第二支撑座(5)数量为8个。3.根据权利要求2所述的一种提升9寸掩膜版清洗安全和清洗效率的夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志斌，
申请(专利权)人：深圳清溢光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：