本申请提供了一种高精度高速自动对焦装置，包括激光发射机构、位于激光发射机构一侧的反射机构以及位于反射机构上方的接收机构，激光发射机构用于发射对焦激光，反射机构用于对激光发射机构发出的对焦激光进行反射，接收机构用于接收反射机构反射的激光。本申请激光发射机构发出的激光到达反射机构，经过反射机构反射后到达接收机构，接收机构将接收的信号输入到控制系统，控制系统根据信号关系，输出到物镜的调节系统使之完成自动对焦，通过旋转反射部的快速旋转，使聚焦激光在第二反射部上扫描成一个圆环，取接收机构信号的短期平均值间的关系，来控制物镜系统的对焦运动，提升了对焦的效率以及精度。对焦的效率以及精度。对焦的效率以及精度。
【技术实现步骤摘要】
一种高精度高速自动对焦装置
[0001]本技术涉及光学工程
，具体而言，涉及一种高精度高速自动对焦装置。
技术介绍
[0002]目前掩模版行业用的自动对焦方法主要有气动法、光学对焦法等；
[0003]气动法的原理是由镜头装置吹气，气压或气流会根据镜头装置距掩模版的距离而改变，根据其气压或气流值来判断是否准确聚焦，其缺点是：1、精度不够高，其精度不会随着物镜放大倍率提高而提高；2、其响应速度比光学聚焦慢，不能满足高精度掩模版的需求；
[0004]光学对焦法的原理是由激光二极管发出的激光光通过AF光路聚焦到掩模版后反射回4象限光点二极管，不同的聚焦状态下，反射回去的光点不同，4个象限接收的信号强度不同，根据4个信号间的关系来判断是否准确聚焦，其有一个重大缺点是：掩模版不能由图形或反射率突变情况，否则会出现错误聚焦；
[0005]综上，现有技术中的自动对焦存在精度低以及效率低等问题。
[0006]例如：中国专利技术专利：CN201810395360.4，所公开的“自动对焦显微镜系统”，其说明书公开：现有技术中，一般通过手动或自动的方式进行对焦，手动对焦的方式存在效率低、准确度低的缺陷，利用显微镜进行自动对焦的方式能够提高对焦效率，但在被测物是透明的物体、被测物表面存在缺陷或被测物表面存在孔洞时，无法保证对焦的准确度
……
；上述专利可以佐证现有技术存在的缺陷。
[0007]因此我们对此做出改进，提出一种高精度高速自动对焦装置。
技术实现思路
[0008]本技术的目的在于：针对目前存在的自动对焦精度低以及效率低等问题。
[0009]为了实现上述专利技术目的，本技术提供了以下技术方案：
[0010]高精度高速自动对焦装置，以改善上述问题。
[0011]本申请具体是这样的：
[0012]包括激光发射机构、位于激光发射机构一侧的反射机构以及位于反射机构上方的接收机构，所述激光发射机构用于发射对焦激光，所述反射机构用于对激光发射机构发出的对焦激光进行反射，所述接收机构用于接收反射机构反射的激光；
[0013]所述反射机构包括设置在激光发射机构一侧的旋转反射部，所述旋转反射部下方设置有物镜，所述物镜的下方设置有第二反射部。
[0014]作为本申请优选的技术方案，所述激光发射机构包括激光二极管，所述激光二极管位于反射机构水平方向的一侧。
[0015]作为本申请优选的技术方案，所述激光发射机构还包括第一半波片，所述第一半波片设置于激光二极管与反射机构之间。
[0016]作为本申请优选的技术方案，所述旋转反射部包括偏振分光镜，所述偏振分光镜
位于第一半波片远离激光二极管的一侧，且激光二极管、第一半波片以及偏振分光镜的中线为同一直线，所述偏振分光镜的下方设置有第二半波片。
[0017]作为本申请优选的技术方案，所述旋转反射部还包括旋转反射镜，所述旋转反射镜设置于第二半波片的下方。
[0018]作为本申请优选的技术方案，所述旋转反射镜能够进行旋转，且旋转反射镜的旋转轴与旋转反射镜的法线具有夹角θ。
[0019]作为本申请优选的技术方案，所述旋转反射部还包括定反射镜，所述定反射镜设置在旋转反射镜水平方向的一侧，所述物镜位于定反射镜的正下方，所述第二反射部为设置在物镜下方的基板。
[0020]作为本申请优选的技术方案，所述接收机构包括像散透镜，所述像散透镜位于偏振分光镜的上方。
[0021]作为本申请优选的技术方案，所述像散透镜远离偏振分光镜的一侧设置有四象限光电二极管。
[0022]作为本申请优选的技术方案，所述四象限光电二极管外接控制系统。
[0023]与现有技术相比，本技术的有益效果：
[0024]在本申请的方案中：
[0025]激光发射机构发出的激光到达反射机构，经过反射机构反射后到达接收机构，接收机构将接收的信号输入到控制系统，控制系统根据信号关系，输出到物镜的调节系统使之完成自动对焦，通过旋转反射部的快速旋转，使聚焦激光在第二反射部上扫描成一个圆环，取接收机构信号的短期平均值间的关系，来控制物镜系统的对焦运动，提升了对焦的效率以及精度。
附图说明
[0026]图1为本申请提供的高精度高速自动对焦装置的示意图；
[0027]图2为本申请提供的高精度高速自动对焦装置的光路线图；
[0028]图3为本申请提供的旋转反射镜的示意图；
[0029]图4为本申请提供的四象限光电二极管面上的激光光斑形状与聚焦情况对应关系图；
[0030]图5为本申请提供的四象限光电二极管通常使用方式图。
[0031]图中标示：
[0032]1、激光发射机构；101、激光二极管；102、第一半波片；
[0033]2、反射机构；201、偏振分光镜；202、第二半波片；203、旋转反射镜；204、定反射镜；206、基板；
[0034]3、接收机构；301、像散透镜；302、四象限光电二极管；
[0035]4、物镜。
具体实施方式
[0036]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例是本技术
的一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0037]因此，以下对本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的部分实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0038]需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征和技术方案可以相互组合。
[0039]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0040]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，这类术语仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0041]实施例：
[0042]如图1和图2所示，本实施方式提出一种高精度高速自动对焦装置，包括激光发射机构1、位于激光发射机构1一侧的反射机构2以及位于反射机构2上方的接收机构3，激光发射机构1用于发射对焦激光，反射机构2用于对激光发射机构1发出的对焦激光进行反射，接收机构3用于接收反射机构2反射的激光；
[0043]反射机构2包括设置在激光本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高精度高速自动对焦装置，其特征在于，包括激光发射机构(1)、位于激光发射机构(1)一侧的反射机构(2)以及位于反射机构(2)上方的接收机构(3)，所述激光发射机构(1)用于发射对焦激光，所述反射机构(2)用于对激光发射机构(1)发出的对焦激光进行反射，所述接收机构(3)用于接收反射机构(2)反射的激光；所述反射机构(2)包括设置在激光发射机构(1)一侧的旋转反射部，所述旋转反射部下方设置有物镜(4)，所述物镜(4)的下方设置有第二反射部。2.根据权利要求1所述的一种高精度高速自动对焦装置，其特征在于，所述激光发射机构(1)包括激光二极管(101)，所述激光二极管(101)位于反射机构(2)水平方向的一侧。3.根据权利要求2所述的一种高精度高速自动对焦装置，其特征在于，所述激光发射机构(1)还包括第一半波片(102)，所述第一半波片(102)设置于激光二极管(101)与反射机构(2)之间。4.根据权利要求3所述的一种高精度高速自动对焦装置，其特征在于，所述旋转反射部包括偏振分光镜(201)，所述偏振分光镜(201)位于第一半波片(102)远离激光二极管(101)的一侧，且激光二极管(101)、第一半波片(102)以及偏振分光镜(201)的中线为同一直线，所述偏振分...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱春辉，
申请(专利权)人：深圳清溢光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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