一种掩膜版抬版治具制造技术

本实用新型专利技术涉及掩膜版用治具技术领域，公开了一种掩膜版抬版治具，包括支撑梁架、螺纹连接在支撑梁架上的锁紧螺母以及通过连接架转动设置在支撑梁架上的卡爪组件，所述卡爪组件设置有四组，所述卡爪组件包括持握部，所述支撑梁架的外伸端均设置有所述持握部，人员通过握紧所述持握部，使得卡爪组件互相靠近且夹紧彼此之间的掩膜版，所述卡爪组件在锁紧螺母的限位下不能够向上活动；松开持握部后，卡爪组件松开掩膜版且均向远离掩膜版的方向移动。本实用新型专利技术，2名人员即可轻松完成对于掩膜版的下料操作，同时移动过程中掩膜版夹持稳固不易发生碰撞以至于损坏。易发生碰撞以至于损坏。易发生碰撞以至于损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜版抬版治具


[0001]本技术涉及掩膜版用治具
，具体为一种掩膜版抬版治具。

技术介绍

[0002]掩膜版是半导体和平板显示行业使用的一种重要产品，主要用在半导体和平板显示行业曝光使用，起到类似相机底片的作用，将掩膜版上的图形转移到基板上，最终制成芯片或者屏幕。
[0003]目前掩膜版在工厂通常使用机器人自动化搬运生产，但在生产完成后，通常需要人员手动将掩膜版抬下生产线，手动装进包装盒里，手动下料过程中很容易留下指套印，而且手触摸版材表面，也很容易触碰到版面贴附的pellicle，导致pellicle报废，尤其抬一些大尺寸的掩膜版时，例如1220mm
×
1400mm
×
13mm，大尺寸的掩膜版重量通常达到50Kg以上，人员手动抬版更容易导致版发生磕碰以致报废。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种掩膜版抬版治具，解决了现有掩膜版生产线上掩膜版下料时，缺乏结构简单功能稳定的抬版治具，使得在抬版过程中掩膜版易于受损的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0008]一种掩膜版抬版治具，包括支撑梁架、螺纹连接在支撑梁架上的锁紧螺母以及通过连接架转动设置在支撑梁架上的卡爪组件，所述卡爪组件设置有四组，所述卡爪组件包括持握部，所述支撑梁架的外伸端均设置有所述持握部，人员通过握紧两处的所述持握部，使得卡爪组件互相靠近且夹紧彼此之间的掩膜版，所述卡爪组件在锁紧螺母的限位下不能够向上活动；松开持握部后，卡爪组件松开掩膜版且均向远离掩膜版的方向移动。
[0009]优选的，所述支撑梁架包括若干根纵向布置的第一横梁与水平方向布置的第二横梁，所述第一横梁与第二横梁之间固定连接，所述第一横梁与第二横梁、卡爪组件、连接架均采用铝合金材料制成。
[0010]优选的，所述卡爪组件包括转动连接在连接架上的卡爪杆、传动杆架以及与卡爪杆滑动连接的滑移轴，所述传动杆架与连接架转动连接，所述滑移轴固定连接在传动杆架的一端，所述持握部设置在传动杆架远离连接架的一端。
[0011]优选的，所述卡爪杆远离传动杆架的一端设置有卡紧槽，所述卡紧槽的槽底设置有垫板。
[0012]优选的，所述卡爪杆上设置有斜槽，所述滑移轴在斜槽内滑动，所述滑移轴沿着斜槽向下滑动时，此时所述卡紧槽向着彼此靠近的方向转动，所述卡爪杆的一侧与连接架的内侧壁之间设置有弹性件。
[0013](三)有益效果
[0014]本技术具备以下有益效果：
[0015]该掩膜版抬版治具，通过设置的持握部、卡爪组件以及锁紧螺母，从而人员可以通过握紧持握部，使得卡爪组件彼此靠近并夹紧掩膜版，并且通过拧入锁紧螺母完成对于卡爪组件的限位。此后，2名人员可以通过握住支撑横梁与卡爪组件上的持握部轻松完成对于掩膜版的下料操作，同时移动过程中掩膜版夹持稳固不易发生碰撞以至于损坏。
附图说明
[0016]图1为本技术俯视结构示意图；
[0017]图2为本技术正视结构示意图；
[0018]图3为本技术工作状态下结构示意图；
[0019]图4为本技术卡爪组件结构示意图。
[0020]图中：1、第一横梁；2、第二横梁；3、连接架；4、卡爪组件；41、卡爪杆；42、卡紧槽；43、垫板；44、斜槽；45、滑移轴；46、传动杆架；47、持握部；48、弹性件；5、锁紧螺丝。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种掩膜版抬版治具，包括支撑梁架、螺纹连接在支撑梁架上的锁紧螺母以及通过连接架3转动设置在支撑梁架上的卡爪组件4，卡爪组件4设置有四组，卡爪组件4包括持握部47，支撑梁架的外伸端均设置有持握部47，人员通过握紧两处的持握部47，使得卡爪组件4互相靠近且夹紧彼此之间的掩膜版，卡爪组件4在锁紧螺母的限位下不能够向上活动；松开持握部47后，卡爪组件4松开掩膜版且均向远离掩膜版的方向移动。
[0023]本技术，通过设置的持握部47、卡爪组件4以及锁紧螺母，从而人员可以通过握紧持握部47，使得卡爪组件4彼此靠近并夹紧掩膜版，并且通过拧入锁紧螺母完成对于卡爪组件4的限位。此后，2名人员可以通过握住支撑横梁上的持握部47完成轻松完成对于掩膜版的下料操作，同时移动过程中掩膜版夹持稳固不易发生碰撞以至于损坏。
[0024]本实施例中，支撑梁架包括若干根纵向布置的第一横梁1与水平方向布置的第二横梁2，第一横梁1与第二横梁2之间固定连接，第一横梁1与第二横梁2、卡爪组件4、连接架3均采用铝合金材料制成。参照图1所示，通过采用铝合金材料制成整个治具，有效降低整个治具的重量，避免由于治具自重给人员抬版时带来额外的负担。为了提高整个治具的连接强度，可以选用两根第一横梁1，大于两根的第二横梁2组成整个治具的支撑梁架。
[0025]本实施例中，卡爪组件4包括转动连接在连接架3上的卡爪杆41、传动杆架46以及与卡爪杆41滑动连接的滑移轴45，传动杆架46与连接架3转动连接，滑移轴45固定连接在传动杆架46的一端，持握部47设置在传动杆架46远离连接架3的一端。参照图3所示，通过设置的设置传动杆架46以及滑移轴45，从而在人员握紧横梁上的持握部47与传动杆架46上的持
握部47时，卡爪杆41能够彼此靠近且夹紧掩膜版。
[0026]本实施例中，卡爪杆41远离传动杆架46的一端设置有卡紧槽42，卡紧槽42的槽底设置有垫板43。参照图3所示，通过设置的卡紧槽42，能够便于在夹紧掩膜版之前，实现将掩膜版的两侧边缘定位放置在卡紧槽42内，从而能够便于人员握紧持握部47，使得卡爪杆41进一步夹紧掩膜版，此时在拧转锁紧螺丝5，完成对于传动杆架46的限位，使得卡爪杆41稳定的夹持住掩膜版，进而人员可以开始抬版操作。
[0027]本实施例中，卡爪杆41上设置有斜槽44，滑移轴45在斜槽44内滑动，滑移轴45沿着斜槽44向下滑动时，此时卡紧槽42向着彼此靠近的方向转动，卡爪杆41的一侧与连接架3的内侧壁之间设置有弹性件48。参照图3所示，通过设置的斜槽44与滑移轴45，从而当人员握紧传动杆架46与第一横梁1上的持握部47时，此时滑移轴45在斜槽44内滑动，进而使得卡爪杆41发生转动，从而带动卡爪槽向掩膜版方向转动，进而夹紧掩膜版的边缘，以便后续进行抬版。通过设置的弹性件48，从而当人员通过治具将掩膜版移动至下版位置后，此时，人员可以拧松锁紧螺丝5，松开位于卡爪杆41上的持本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜版抬版治具，其特征在于，包括支撑梁架、螺纹连接在支撑梁架上的锁紧螺母以及通过连接架转动设置在支撑梁架上的卡爪组件，所述卡爪组件设置有四组，所述卡爪组件包括持握部，所述支撑梁架的外伸端均设置有所述持握部，人员通过握紧两处的所述持握部，使得卡爪组件互相靠近且夹紧彼此之间的掩膜版，所述卡爪组件在锁紧螺母的限位下不能够向上活动；松开持握部后，卡爪组件松开掩膜版且均向远离掩膜版的方向移动。2.根据权利要求1所述的一种掩膜版抬版治具，其特征在于：所述支撑梁架包括若干根纵向布置的第一横梁与水平方向布置的第二横梁，所述第一横梁与第二横梁之间固定连接，所述第一横梁与第二横梁、卡爪组件、连接架均采用铝合金材料制成...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊启龙，王亚腾，
申请(专利权)人：深圳清溢光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：