一种用于掩膜板干燥的多功能装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于掩膜板干燥的多功能装置，包括干燥箱体，待干燥的掩膜板置于干燥箱体内部，所述干燥箱体侧面设有箱门，干燥箱体内设有用于干燥掩膜板的干燥机，干燥机与外部的控制柜连接，所述干燥箱体的上、下内壁及与箱门对立的侧壁上分别设有上板、下板和后板，各板上间隔设有多个用于放置掩膜板的条形凹槽，上板与下板之间的凹槽相对设置且凹槽沿着掩膜板进入箱体的方向，后板上的凹槽方向与上板的凹槽垂直，干燥箱体顶面和箱门对立面分别设有用于驱动上板、后板移动的电液压杆，电液压杆与控制柜连接。本实用新型专利技术提高了掩膜板干燥后产品良率，能干燥多种尺寸的掩膜板，生产效率高，成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种用于掩膜板干燥的多功能装置


[0001]本技术涉及显示设备
，具体涉及一种用于掩膜板干燥的多功能装置。

技术介绍

[0002]有机电致发光显示器件(OLED)作为显示器的一大分支，因OLED属于自发光，不像LCD需要借助背光，故厚度薄、可视度和亮度均高，其次是电压需求低且省电效率高，加上响应速度快、重量轻等特性，被视为21世纪最具有前途的产品之一。
[0003]OLED制程中，在掩膜板(或挡板)与其基板对位的过程中，如果挡板或掩膜板开孔处存在杂质或异物，制作出的OLED会出现像素不良、破坏OLED基板等而导致不良。
[0004]目前，针对OLED制程过程中使用的掩膜板通常采用化学方式清洗后，转运至干燥箱体中进行干燥。通常，在掩膜板中转过程中因掩膜板放置时错位导致设备报警影响生产效率；同时，因环境中及干燥箱体中存在较多微小颗粒，在掩膜板干燥过程中，这些颗粒物总会附着在掩膜板上，后续在进行OLED显示屏蒸镀工艺时，附着在掩膜板上的颗粒物会落在待蒸镀基板上，从而影响OLED显示屏的质量，影响产品良率。另外，现在的干燥箱体基本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于掩膜板干燥的多功能装置，包括干燥箱体(1)，待干燥的掩膜板(7)置于干燥箱体(1)内部，所述干燥箱体(1)侧面设有箱门(5)，干燥箱体(1)内设有用于干燥掩膜板(7)的干燥机(12)，干燥机(12)与外部的控制柜连接，其特征在于，所述干燥箱体(1)的上、下内壁及与箱门(5)对立的侧壁上分别设有上板(8)、下板(13)和后板(14)，各板上间隔设有多个用于放置掩膜板(7)的条形凹槽(3)，上板(8)与下板(13)之间的凹槽(3)相对设置且凹槽(3)沿着掩膜板(7)进入箱体的方向，后板(14)上的凹槽(3)方向与上板(8)的凹槽(3)垂直，干燥箱体(1)顶面和箱门(5)对立面分别设有用于驱动上板(8)、后板(14)移动的电液压杆(4)，电液压杆(4)与控制柜连接。2.根据权利要求1所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述凹槽(3)的底面设有电磁感应凸块(2)，电磁感应凸块(2)与控制柜连接。3.根据权利要求1所述的一种用于掩膜板干燥的多功能装置，其特征在于，所述箱门(5)两侧的内壁上设有环形导轨(9)，环形导轨(9)上安装有喷嘴(11)，喷嘴(11)通过管路与外部的压缩机连接，所述喷嘴(11)通过安装座(10)与干燥箱体(1)外...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗雪春，万其凯，李承禧，范兴文，
申请(专利权)人：成都拓维高科光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：