【技术实现步骤摘要】
一种新型拍舟装置
[0001]本专利技术属于PECVD镀膜及自动插片机装取片
，尤其涉及一种新型拍舟装置。
技术介绍
[0002]石墨制品是一种以天然石墨为原料制造的不同用途的物品，其优良的物理特性和化学特性使其在各行业中被广泛的运用。尤其在管式PECVD中，利用石墨舟优良的导热及导电性能来作为硅片的载体。在PECVD自动插片机装取片时，硅片与舟叶及卡点存在接触不佳的情况，需要人工轻拍石墨舟，利用硅片自身的重力与拍舟时震荡的原理将硅片与石墨舟叶及卡点接触充分，从而减少因硅片与卡点/舟叶未接触充分造成的打火返工片甚至硅片脱落破碎等问题，但是人工拍舟会存在安全隐患，同时人力成本高，效率却低，没办法适应流水线生产强度。
技术实现思路
[0003]鉴于以上，本专利技术提供一种新型拍舟装置，该装置充分利用机械原理设计，可以完全弥补人工拍舟过程中的不足，可直接安装到PECVD自动插片机或其他需要拍舟的装置内使用，便捷、安全可靠，取代人工，节约成本，高效的实现拍舟操作，减少返工及碎片情况，进而充分提升机台利用率，和电...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型拍舟装置，用于拍打石墨舟，其特征在于，包括动力模块和拍舟臂，拍舟臂设置在动力模块的活动端，可在动力模块的带动下进行朝向石墨舟方向的运动，拍舟臂包括双层拍舟板和拍舟滚轮，双层拍舟板分别为上层拍舟板和下层拍舟板，拍舟滚轮设置于下层拍舟板下方，下层拍舟板直接与动力模块的活动端连接，在上层拍舟板设置有震动器。2.根据权利要求1所述的新型拍舟装置，其特征在于，上层拍舟板通过连接轴与下层拍舟板上的直线轴承连接，连接轴穿...
【专利技术属性】
技术研发人员：梅余晶，王银，汪剑，蔡兆勇，
申请(专利权)人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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