本实用新型专利技术公开了一种具有稳定结构的晶圆检测装置，其包括机架，压接导通组件，包括用于压接导通待测样件的压头单元；多轴位移补偿组件，包括用于承载待测样件的载台和用于调节载台空间位置的第二多轴位移单元；光机检测组件，包括用于检测点亮后的待测样件的检测光机；相机对位组件，包括用于对待测样件进行对位的对位相机；所述机架上设置有平台和支架，所述平台通过隔振器与所述机架连接，所述支架与所述机架连接，所述平台上设置有所述压接导通组件、所述多轴位移补偿组件和所述光机检测组件，所述支架上设置有所述相机对位组件。本实用新型专利技术不仅可以实现对晶圆的导通检测，而且能够有效降低装置在运行过程中存在的共振风险。险。险。
【技术实现步骤摘要】
一种具有稳定结构的晶圆检测装置
[0001]本技术公开了一种晶圆检测装置，属于显示面板检测
，具体公开了一种具有稳定结构的晶圆检测装置。
技术介绍
[0002]随着AR/VR市场的快速发展，可穿戴设备需求量日益增加，微显示器市场在未来整体的市场需求量大幅提高。目前，MicroOLED作为一种主流的显示技术相对于其它微显示技术虽然具有无与伦比的优势，但是MicroOLED微显示器在出货之前，均需要进行DeMura和AOI的修复与检测，才可以有效地降低配至有MicroOLED微显示器设备的故障率。
[0003]由于MicroOLED微显示器像素尺寸微缩化，像素尺寸大小低至1微米，显示器PPI（pixel per inch）极大提高，高达10000，亮度相对于LCD显著提高。这些异于常规显示器的性能，给MicroOLED微显示器的修复与检测带来了挑战。目前常规的晶圆检测系统通常包括机架，机架上集成有压接导通组件、多轴位移补偿组件、光机检测组件和相机对位组件，上述晶圆检测系统虽然可以实现MicroOLED微显示器晶圆的点灯测试，但是当检测过程中机架受到外界环境振动影响以及位移台突然启停所带来的振动影响，可能造成相机对位系统的本征模态和晶圆检测系统的本征模态相近，从而存在共振的风险。
技术实现思路
[0004]针对现有技术中存在的技术问题，本技术提供了一种具有稳定结构的晶圆检测装置，其不仅可以实现对晶圆的导通检测，而且能够有效降低晶圆检测装置在运行过程中存在的共振风险。
[0005]本技术公开了一种具有稳定结构的晶圆检测装置，其包括机架，压接导通组件，包括用于压接导通待测样件的压头单元；多轴位移补偿组件，包括用于承载待测样件的载台和用于调节载台空间位置的第二多轴位移单元；光机检测组件，包括用于检测点亮后的待测样件的检测光机；相机对位组件，包括用于对待测样件进行对位的对位相机；所述机架上设置有平台和支架，所述平台通过隔振器与所述机架连接，所述支架与所述机架连接，所述平台上设置有所述压接导通组件、所述多轴位移补偿组件和所述光机检测组件，所述支架上设置有所述相机对位组件。
[0006]在本技术的一种优选实施方案中，所述平台上设置有与所述支架平行布置的第一龙门架组件和第二龙门架组件，所述第一龙门架组件上设置有所述压接导通组件，所述第二龙门架组件上设置有所述光机检测组件。
[0007]在本技术的一种优选实施方案中，所述第二龙门架组件上设置有多套光机检测组件。
[0008]在本技术的一种优选实施方案中，所述平台上设置有多套多轴位移补偿组件，每套多轴位移补偿组件对应一套相机对位组件以及一套光机检测组件，每套相机对位组件包括一个对位相机，每套光机检测组件包括一个或者多个检测光机。
[0009]在本技术的一种优选实施方案中，多轴位移补偿组件的个数与光机检测组件的个数相对应。
[0010]在本技术的一种优选实施方案中，所述第二龙门架组件上设置有复判光机，所述复判光机与所述对位相机位于同一侧，所述检测光机与所述压接导通组件位于同一侧。
[0011]在本技术的一种优选实施方案中，所述第一龙门架组件包括第一底座和第一横梁，所述第一底座在YOZ平面内的投影形状为梯形或三角形，所述第一横梁上设置有沿Z轴向布置的第三Z向直线模组，所述第三Z向直线模组的移动端设置有压头单元，所述压头单元为压接探针。
[0012]在本技术的一种优选实施方案中，所述第二龙门架组件包括第二底座和第二横梁，所述第二底座在YOZ平面内的投影形状为梯形或三角形，所述第二横梁上设置有沿Z轴向布置的第四Z向直线模组，所述第四Z向直线模组的移动端连接有所述检测光机。
[0013]在本技术的一种优选实施方案中，所述支架上设置有用于调节对位相机空间位置的第一多轴位移单元，所述第一多轴位移单元包括沿X轴向布置的第一X向直线模组，所述第一X向直线模组的移动端连接有沿Y轴向布置的第一Y向直线模组，所述第一Y向直线模组的移动端连接有沿Z轴向布置的第一Z向直线模组，所述第一Z向直线模组的移动端连接有所述对位相机。
[0014]在本技术的一种优选实施方案中，所述第一Z向直线模组和所述对位相机之间设置有能够实现对位相机与XOY平面之间夹角调整的倾角调节机构。
[0015]在本技术的一种优选实施方案中，所述第二多轴位移单元包括设置于机架上的沿Y轴向布置的第二Y向直线模组，第二Y向直线模组的移动端连接有沿X轴向布置的第二X向直线模组，第二X向直线模组的移动端连接有能够绕Z轴旋转的旋转模组，旋转模组的旋转端连接有载台。
[0016]在本技术的一种优选实施方案中，晶圆检测装置的质心位于平台的Z向中心轴线上。
[0017]在本技术的一种优选实施方案中，还包括控制器，检测光机、对位相机、压接导通组件、第一多轴位移单元和第二多轴位移单元均与控制器电连接。
[0018]在本技术的一种优选实施方案中，所述机架上设置有脚杯、离子风棒和条形光源。
[0019]本技术的有益效果是：本技术具有结构简单、对位精确、稳定性好的优点，其通过将平台和支架独立连接于机架上，当装置在运行过程中，相机对位组件的本征模态和晶圆检测装置的本征模态相近的工况下，使用本技术的结构能够有效地降低平台和支架的共振风险，从而有效地实现了装置的检测稳定性；
[0020]进一步的，本技术通过在平台上设置双龙门架组件，合理调整双龙门架组件的位置能够有效地保证晶圆检测装置的质心位于平台的Z向中心轴线上，这样的质量平衡结构可以使得晶圆检测装置不存在整体向一边倾斜的风险，有效地提升了晶圆检测装置的稳定程度；
[0021]进一步的，本技术通过使用多套独立工作的多轴位移补偿组件，能够有效地提高晶圆的检测效率；
[0022]进一步的，本技术通过引入复判光机可以在下线以前完成晶圆的检测复核，降低检测误差率；
[0023]进一步的，本技术的复判光机与第二龙门架组件之间可以设置第一多轴位移单元，从而提高其工作效率；
[0024]进一步的，本技术通过对位相机获取待测样件的位置信号并发送至控制器，控制器控制压接导通组件和第二多轴位移单元协同运动实现待测样件和压头单元对位压接，其具有对位精度高的优点；
[0025]进一步的，本技术通过选用压接探针作为压头单元，降低了待测样件在压接过程中被压伤的概率；
[0026]进一步的，本技术通过选用直线模组控制压头单元的升降，方便了待测样件的压接导通；
[0027]进一步的，本技术通过选用三自由度的第一多轴位移单元方便快捷地实现了对位相机空间位置的调节；
[0028]进一步的，本技术通过在第一Z向直线模组和对位相机之间设置倾角调节机构，从而方便了对位相机初始化位置的调节，更利于本装置的装配调试；
[0029]进一步的，本技术通过采用两个直线自由本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有稳定结构的晶圆检测装置，包括机架（2），压接导通组件，包括用于压接导通待测样件的压头单元；多轴位移补偿组件，包括用于承载待测样件的载台和用于调节载台空间位置的第二多轴位移单元；光机检测组件，包括用于检测点亮后的待测样件的检测光机（7）；相机对位组件，包括用于对待测样件进行对位的对位相机（9）；其特征在于：所述机架（2）上设置有平台（3）和支架（11），所述平台（3）通过隔振器（4）与所述机架（2）连接，所述支架（11）与所述机架（2）连接，所述平台（3）上设置有所述压接导通组件、所述多轴位移补偿组件和所述光机检测组件，所述支架（11）上设置有所述相机对位组件。2.根据权利要求1所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述平台（3）上设置有与所述支架（11）平行布置的第一龙门架组件和第二龙门架组件，所述第一龙门架组件上设置有所述压接导通组件，所述第二龙门架组件上设置有所述光机检测组件。3.根据权利要求1所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述平台（3）上设置有多套多轴位移补偿组件，每套多轴位移补偿组件对应一套相机对位组件以及一套光机检测组件，每套光机检测组件包括一个或者多个检测光机（7）。4.根据权利要求2所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述第二龙门架组件上设置有复判光机（12），复判光机（12）与对位相机（9）位于同一侧，检测光机（7）与压接导通组件位于同一侧。5.根据权利要求1所述的具有稳定结构的晶圆检测装置，其特征在于：所述第二多轴位移单元包括设置于机架（2）上的沿Y轴向布置的第二Y向直线模组(16)，第二Y向直线模组(16)的移动端连接有沿X轴向布置的第二X向直线模...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓忠光，王进文，许锐，郑增强，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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