一种适用于单晶硅片的自动倒角装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及硅片加工领域，且公开了一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其包括底板，所述底板的顶端四角均安装有可伸缩的支杆，多个所述支杆的顶端共固定有一顶板，所述顶板的中心位置贯穿开设有沿其长度方向的滑槽，所述滑槽内对称设置有两个贯穿其的滑块，每个所述滑块的底端均连接有位于顶板下方的安装块，每个所述安装块的内侧均安装有夹持轴承，每个所述夹持轴承的内圈的外侧均延伸至对应的安装块外，顶板上设置有用于驱动两个滑块同时向相反方向沿滑槽进行滑动的第二驱动机构。本发明专利技术两个夹持轴承的内圈上相互靠近的一侧位于对应的安装块外，即两个轴承的内圈延伸出来，通过两个轴承的内圈将硅片卡合固定，使硅片既被固定又能相对转动。定又能相对转动。定又能相对转动。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于单晶硅片的自动倒角装置


[0001]本专利技术属于硅片加工领域，具体为一种适用于单晶硅片的自动倒角装置。

技术介绍

[0002]在硅片的制造包括一系列的生产过程，如硅棒切片、打磨、抛光等，其中，在硅片打磨以后，由于硅片的四角具有棱角，所以还需将有棱角的硅片打磨成圆形，此过程便称为倒角。
[0003]现代倒角工艺是通过吸盘将硅片固定，吸盘的另一端连接一个转杆，转杆和转动机构传动连接，然后使用砂轮对转动的硅片进行倒角，直至硅片变成圆形。在此过程中，虽然硅片的质量较轻，通过吸盘可将硅片吸附住，但是在使用砂轮进行倒角的过程中，硅片也会转动，而转动就会产生离心力的作用，存在离心力就有可能导致硅片与吸盘脱离的问题，尤其是对于直径较大的硅片，其直径越大，在转动的过程中与吸盘脱离的可能性就越大，为解决此问题，这里提出一种适用于单晶硅片的自动倒角装置。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本专利技术提供了一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，包括底板，所述底板的顶端中心位置对称安装有两个立杆，每个所述立杆上均转动连接有一转杆，两个所述转杆的外周侧共固定有一位于两个立杆之间中心位置的砂轮，其中一个所述立杆上设置有用于驱动转杆转动的第一驱动机构；所述底板的顶端四角均安装有可伸缩的支杆，多个所述支杆的顶端共固定有一顶板，所述顶板的中心位置贯穿开设有沿其长度方向的滑槽，所述滑槽内对称设置有两个贯穿其的滑块，每个所述滑块的底端均连接有位于顶板下方的安装块，每个所述安装块的内侧均安装有夹持轴承，每个所述夹持轴承的内圈的外侧均延伸至对应的安装块外，所述顶板上设置有用于驱动两个滑块同时向相反方向沿滑槽进行滑动的第二驱动机构。
[0005]进一步地，其中一个所述转杆贯穿延伸至对应的立杆的外侧，所述第一驱动机构包括安装在其中一个立杆上的电机，所述电机的输出轴和对应的转杆的外周侧均固定套接有位于对应的立杆外的且相互啮合的齿轮。
[0006]进一步地，所述第二驱动机构包括安装在顶板顶端的两个关于滑槽对称的轴承座，两个所述轴承座上共贯穿转动连接有一分别与两个滑块螺纹贯穿的且为双向的丝杆，所述丝杆的两端均安装有转把，所述顶板上设置有用于对滑块的运动方向进行限制的导向机构。
[0007]进一步地，所述导向机构包括对称连接在每个滑块前后侧的且位于顶板顶端的两个外接板，位于同一侧的两个所述外接板上共活动贯穿连接有一导向杆，每个所述导向杆的两端均连接有固定在顶板顶端的安装座。
[0008]进一步地，每个所述支杆均包括与底板顶端固定的套杆，每个所述套杆的顶端均活动插接有与顶板底端固定的连接杆，所述底板上设置有用于调节连接杆高度的升降机
构。
[0009]进一步地，所述升降机构包括对称安装在底板顶端的两个电动推杆一，每个所述电动推杆一的固定端均与底板连接，每个电动推杆一的伸缩端均与顶板连接。
[0010]进一步地，所述砂轮包括贯穿开设在其中心位置的通孔，所述通孔的直径等于转杆的直径，每个所述转杆的外周侧均固定套接有一直径大于其的卡盘，两个所述卡盘之间的距离等于通孔的深度，两个所述立杆之间设置有用于使砂轮与转杆固定的固定机构，所述底板的顶端在远离第一驱动机构的位置开设有沿其长度方向的移动槽，远离第一驱动机构的所述立杆通过移动槽与底板卡合滑动连接，所述底板上设置有用于驱动此立杆沿移动槽进行滑动的第三驱动机构。
[0011]进一步地，所述固定机构包括分别贯穿开设在每个卡盘上的多个均匀分布的连接孔一，所述砂轮上贯穿开设有多个与连接孔一对应的连接孔二，两个所述卡盘之间连接有多个依次贯穿对应的连接孔一和连接孔二的螺栓。
[0012]进一步地，所述第三驱动机构包括固定在远离第一驱动机构的所述立杆底端的且与移动槽卡合滑动连接的移动块，所述底板的顶端连接有安装架，所述安装架和对应的立杆之间安装有与移动槽平行的电动推杆二。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0014]1.本专利技术中，两个夹持轴承的内圈上相互靠近的一侧位于对应的安装块外，即两个夹持轴承的内圈延伸出来，通过两个夹持轴承的内圈将硅片卡合固定，这样，硅片在水平方向上被固定，而在竖直方向上又能转动，如此，在第一驱动机构的作用下，使转杆带动砂轮进行转动即可对硅片进行倒角。
[0015]2.本专利技术中，砂轮通过固定机构的作用被固定在两个转杆上，使砂轮与两个转杆形成一个可转动的整体，同时，远离第一驱动机构的那个立杆可沿移动槽滑动，这即意外着将砂轮与转杆松开后，砂轮可从其中一个转杆上取下，这样，可更换相同型号的不同目数的砂轮来对硅片进行更细致的倒角。
附图说明
[0016]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。在附图中：
[0017]图1为本专利技术的立体结构示意图；
[0018]图2为本专利技术的主视结构示意图；
[0019]图3为本专利技术的部分结构分解示意图；
[0020]图4为本专利技术的A处结构放大示意图；
[0021]图5为本专利技术的俯视结构示意图；
[0022]图中：1、底板；2、立杆；3、转杆；4、砂轮；5、第一驱动机构；501、电机；502、齿轮；6、支杆；601、套杆；602、连接杆；7、顶板；8、滑槽；9、滑块；10、安装块；11、夹持轴承；12、第二驱动机构；1201、轴承座；1202、丝杆；1203、转把；13、导向机构；1301、外接板；1302、导向杆；1303、安装座；14、升降机构；1401、电动推杆一；15、通孔；16、卡盘；17、固定机构；1701、连接孔一；1702、连接孔二；1703、螺栓；18、移动槽；19、第三驱动机构；1901、移动块；1902、安装架；1903、电动推杆二。
具体实施方式
[0023]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0024]实施例一：
[0025]本具体实施方式提供的适用于单晶硅片的自动倒角装置，如图1所示，包括底板1：
[0026]一方面，在底板1的顶端中心位置对称安装有两个立杆2，每个立杆2上均转动连接有一转杆3，两个转杆3的外周侧共固定有一位于两个立杆2之间中心位置的砂轮4，即砂轮4与两个转杆3形成一个可转动的整体，另外，在其中一个立杆2上设置有用于驱动转杆3转动的第一驱动机构5，第一驱动机构5的作用下即可驱动砂轮4转动；
[0027]另一方面，在底板1的顶端四角均安装有可伸缩的支杆6，多个支杆6的顶端共固定有一顶板7，在顶板7的中心位置贯穿开设有沿其长度方向的滑槽8，在滑槽8内对称设置有两个贯穿其的滑块9，每个滑块9的底端均连接有位于顶板7下方的安装块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶端中心位置对称安装有两个立杆(2)，每个所述立杆(2)上均转动连接有一转杆(3)，两个所述转杆(3)的外周侧共固定有一位于两个立杆(2)之间中心位置的砂轮(4)，其中一个所述立杆(2)上设置有用于驱动转杆(3)转动的第一驱动机构(5)；所述底板(1)的顶端四角均安装有可伸缩的支杆(6)，多个所述支杆(6)的顶端共固定有一顶板(7)，所述顶板(7)的中心位置贯穿开设有沿其长度方向的滑槽(8)，所述滑槽(8)内对称设置有两个贯穿其的滑块(9)，每个所述滑块(9)的底端均连接有位于顶板(7)下方的安装块(10)，每个所述安装块(10)的内侧均安装有夹持轴承(11)，每个所述夹持轴承(11)的内圈的外侧均延伸至对应的安装块(10)外，所述顶板(7)上设置有用于驱动两个滑块(9)同时向相反方向沿滑槽(8)进行滑动的第二驱动机构(12)。2.根据权利要求1所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：其中一个所述转杆(3)贯穿延伸至对应的立杆(2)的外侧，所述第一驱动机构(5)包括安装在其中一个立杆(2)上的电机(501)，所述电机(501)的输出轴和对应的转杆(3)的外周侧均固定套接有位于对应的立杆(2)外的且相互啮合的齿轮(502)。3.根据权利要求1所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：所述第二驱动机构(12)包括安装在顶板(7)顶端的两个关于滑槽(8)对称的轴承座(1201)，两个所述轴承座(1201)上共贯穿转动连接有一分别与两个滑块(9)螺纹贯穿的且为双向的丝杆(1202)，所述丝杆(1202)的两端均安装有转把(1203)，所述顶板(7)上设置有用于对滑块(9)的运动方向进行限制的导向机构(13)。4.根据权利要求3所述的一种适用于单晶硅片的自动倒角装置，其特征在于：所述导向机构(13)包括对称连接在每个滑块(9)前后侧的且位于顶板(7)顶端的两个外接板(1301)，位于同一侧的两个所述外接板(1301)上共活动贯穿连接有一导向杆(1302)，每个所述导向杆(1302)的两端均连接有固定在顶板(7)顶端的安装座(1303)。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：张立亮，熊吉伟，潘瑞林，田昌勇，黄梓，
申请(专利权)人：湖南泰安硅业有限公司，
类型：发明
国别省市：