【技术实现步骤摘要】
一种电子元器件的制造设备
[0001]本技术涉及磨边装置
,具体为一种电子元器件的制造设备。
技术介绍
[0002]晶圆片,是由硅锭加工而成的,通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管,被广泛应用于集成电路的制造,圆形的硅晶片在加工过程中需要使其保持一定的圆度,因此需要使用圆边机对其外边进行打磨。
[0003]现有的硅晶片圆边机不方便对硅晶片进行快速定位,影响晶片的打磨效率,甚至造成定位不准,影响晶片的打磨效果。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足,本技术提供一种晶圆片快速定位安装,加快磨边效率,提高磨边效果的电子元器件的制造设备。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种电子元器件的制造设备,包括工作台,所述工作台的顶部转动安装转动盘,所述工作台的内腔设置驱动电机驱动所述转动盘转动,所述转动盘的顶面吸附固定晶圆片,且工作台顶部的一侧设有打磨机构,所述打磨机构包括打磨机和驱动打 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子元器件的制造设备,包括工作台(1),其特征在于:所述工作台(1)的顶部转动安装转动盘(2),所述工作台(1)的内腔设置驱动电机(3)驱动所述转动盘(2)转动,所述转动盘(2)的顶面吸附固定晶圆片(4),且工作台(1)顶部的一侧设有打磨机构,所述打磨机构包括打磨机(5)和驱动打磨机(5)左右移动的驱动气缸(6),所述打磨机(5)的输出轴通过连接件固定安装打磨件(7),所述打磨件(7)用于对所述晶圆片(4)的边缘打磨,所述工作台(1)的顶部通过连接座(16)固定安装顶座(17),所述顶座(17)的底部设有定位机构,所述定位机构用于对所述晶圆片(4)的安装位置进行定位;所述定位机构包括L板(11),所述L板(11)的顶部底面开设与其内腔连通的长条孔(14),所述L板(11)的顶部内腔转动安装双向螺杆(12),所述双向螺杆(12)的一端向外延伸通过驱动部件驱动运转,所述双向螺杆(12)的两个螺纹段均螺纹套接连接套(13),两个所述连接套(13)穿过所述长条孔(14)向下延伸并固定安装活动板(21),所述L板(11)和两个所述活动板(21)形成定位框,所述驱动气缸(6)驱动所述打磨机(5)进出所述定位框。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:董加银,
申请(专利权)人:淮安永捷电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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