下载一种适用于单晶硅片的自动倒角装置的技术资料

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本发明涉及硅片加工领域,且公开了一种适用于单晶硅片的自动倒角装置,其包括底板,所述底板的顶端四角均安装有可伸缩的支杆,多个所述支杆的顶端共固定有一顶板,所述顶板的中心位置贯穿开设有沿其长度方向的滑槽,所述滑槽内对称设置有两个贯穿其的滑块,每...
该专利属于湖南泰安硅业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南泰安硅业有限公司授权不得商用。

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