用于裸露模板试验和腐蚀的临时密封装置制造方法及图纸

一种临时的密封装置可以有效地用于对裸露模板的试验和腐蚀以及一种可配装在集成电路板上安装的插座上密封装置可有效地用于模板试验和腐蚀。所述密封装置包括一底座，该底座具有与模板啮合的触点，并提供与外周边接触的触点，一用于将模板压入电触点的盖组件以及一限制模板免于受到由于对密封装置的侧面或顶面的外部压力引起的损坏的保护盖。所述模板、盖组件和保护盖可以装配在所述底座上并可由自动设备移开。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于试验未密封或裸露的模板的密封装置，而在一方面它涉及一种支承座，这种支承座用于将裸露模板定位以实现它与密封装置和密封装置外面的电接触以许可电气试验和腐蚀。半导体设备要经受试验和腐蚀，通常是要在进行这些试验前对半导体或集成电路进行封装，这在经济上对于半导体制造者来说是不受欢迎的，因而比较理想的是在封装前对裸露模板进行试验。这种裸露模板的试验已在欧洲专利申请0,554,622上予以举例说明。该申请公布揭示了微碰撞尤其是铜球的使用，这种铜球是焊接在垫片上并在试验时可按一种与裸露模板的接触垫片图案相对应的一种图案分布。美国专利5,302,891揭示了一种两片的可再使用的用于分离模板的腐蚀和试验的固定件，它包括一个带有可提供与模板和试验固定件电连接部件的组件和一个用于将模板紧压住电接触点和保持接触的第二部分。美国专利4,918,513还揭示了一种用于将集成电路片安装在电路板上的封装方法，它包括一种小尺寸的基片，基片具有一种布置在其表面上的电极图案。一个集成电路片是安置在该基片(底片)上并与电极图案相连接。复盖集成电路片的是一模压层且接线插脚从基片上伸出以使支承座得以安装在试验集成电路设备的电子线路板表面上的插座上。众所周知的临时模板支承座并不是特别设计得可适配于自动设备。这些装置需要用手工施加力，如铰接件、夹紧件或螺钉等。另外，在试验时建立与模板临时的电连接的现有方法包括把导线从模板垫板焊接到临时密封装置上，使用的一种临时连接是通过一种带有用于与弹性触点电接触的金属迹线的尼龙薄膜或基片而建立的。较理想是模板在模板互连件上的光学布置保证模板的结合垫片之间的正确对准以及电接触件的互相连接和取消为别的机械对准装置所需要的昂贵的精确晶片的切割，这些对准装置例如是硬止动件和弹簧作用板。本专利技术的方法是通过在晶片上的立柱来实现模垫的精确贯穿，立柱贯穿在模垫上的氧化铝，而模板的光学布置保证了正确的对准。另外，本系统装置在模板上并不留下有伤痕(marred)的表面，这些表面在封装前需要另外加工。本专利技术由于提供了通过精确操纵自动设备来装拆而提供用于裸露模板的临时密封装置，因此它克服了现有产品的缺点。本专利技术涉及一种用于裸露模板的临时密封装置，可进行分离模的试验和腐蚀。所述临时密封装置尤其设计得可与自动设备一起使用以便在该临时密封装置上进行装拆模板。所述临时密封装置包括一大致上是矩形的底座，它具有一顶面和底面及四个侧面。所述底座至少在这些侧面之一上具有一凹座以及在顶面上形成一容纳接触插入件的插孔装置。具有大致伸长形形状的多个接触片适合于装配在所述凹座中。所述形成的接触片是临时地安装在凹座内，各接触片包括多个触点，它们在一端上形成以与插入件接触并具有设置成可与外部件接触的第二端。设有一盖以复盖在底座上的插孔和接触插入件。所述盖包括一接触裸露模板的压力板和用于将压力板推向插孔的偏压装置。一压力板和偏压装置的盖还包括将盖组件固定于底座上以将压力板定位在插孔之上，迫使模板与在接触片上的触点进行电接触的装置。盖组件通过在盖上的爪装置，组件被固定于底座上以便与底座上的锁扣临时性地啮合以及爪装置按接受偏压力的方向延伸，以使在装置从锁扣中脱开。本专利技术的临时密封装置还可包括一个盖组件周围定位的保护盖。所述保护盖具有形成的爪，它们靠近盖组件的盖上的爪以将保护盖固定在底座上。所述保护盖设有将保护盖压向离开盖组件的一个位置的偏压装置。下面将参照附图进一步描述本专利技术，这些附图中附图说明图1是按本专利技术的一个临时密封装置在装配情况下的立体视图；图2图1的临时密封装置的分解视图，图中示出相互分开的零件和一裸露模板；图3是按本专利技术的临时密封装置移走保护盖后的立体视图；图4是用在图1的临时密封装置上的一接触片的立体视图；图5是图4的接触片的横剖视图；图6是在图1至4中所示的临时密封装置的底座的仰视图；图7是从一个角度看到的一临时密封装置的底座的立体视图；图8是图1的临时密封装置部分剖切以示出其各部分的内部关系的立体视图；图9是以立体视图方式示出的图1的临时密封装置的纵剖视图；图10是部分剖切和以部分分解示意图方式示出本专利技术的临时密封装置的第二实施例的立体视图；图11是临时密封装置的第二实施例的装配关系立体视图；图12是示出的图11所示的密封装置的立体剖视图；图13是图10至12所示的临时密封装置的分解视图。现请看附图，具体说参照图1—9所示的实施例，本专利技术的临时密封装置20提供一种裸露模板的试验和腐蚀的方法。这种临时密封装置20设计得可由用于从该密封装置上卸装裸模的自动化设备操纵。另外该密封装置还设计得可被置放在具有标准形状的插座上，以使支承在插座内的模板可以经受试验和腐蚀。为了实现这一点，模板的密封装置应设计成可由自动设备进行装配和拆卸，并且它必须具有可用在进行集成电路(IC)装置的试验和腐蚀的现有插座上的尺寸和形状。所述的临时密封装置包括一个底座21和一个保护盖22。插入件24适合于与一个模板25和接触装置作电气互连，以便使插入件24与密封装置外的一个电气部件相互连接。这个用于在插入件和密封装置的外部之间的互连装置具有接触片26。盖组件30一种用于使模板与插入件24保持压力电接触的盖组件盖组件30，这个盖组件30包括一个压板31、一个板保持件32，一弹簧34和一个封闭盖35。图2、6和7对底座21描绘得最清楚，图中示出该底座具有大体上是矩形的形状，而在本实施例中具有一个上表面40和一个下表面或相对的表面41。底座是用一种具有表面电阻率为109ohms/sq或更大的材料，一种耗能结构或绝缘材料模压而成，并包括有相对端42和43。一支承装置从靠近底座端或角隅的上表面40延伸出以提供对盖组件的保护。如图所示，该支承装置包括四个大体上对称的支柱44。底座21还设有一个在底座21上表面40上形成一凹座的定位装置。该定位装置可以由在该表面上的一个凹座形成，它可以由在相对端上和在该区域的相对侧面上的止挡件限定的范围内容纳插入件，或如图所示，该凹座可以由角形突起部45限定，该突起部45是在上表面40上模压成形的且具有限定定位装置或凹座的相对内表面的定位角隅。底座21还在其相对侧边缘上形成可容纳接触片26的凹进部47和48。两相对端42和43还设有形成锁扣件54和55的凹座51和52，每一锁扣件都有在一边缘上终止的向下和向外取向的斜面。在底座21的上表面40上还形成有若干定位孔57。如图2和图6所示，底座21在其底面41上还形成可容纳接触片26上的突起部的凹进区域。如图2和6所示这些凹进区域都用标号59表示。为了减少形成该底座21的材料量，凹进部是在底表面41上形成，这还减小了重量以及模压底座的扭曲变形的可能。一预制的接触插入件24适合安置在底座21上并定位在由所述角隅部件45所形成的凹座内。插入件24可以在其暴露表面上形成接触表面62的一种模式(图案)，它用于与在裸露的模板25上的垫片实现电接触。这些接触区域62与在插入件上的周边接触垫片63连结。所述的接触片26适合配装在底座21周边上的凹进部47和48内。该接触片26通过插入件24可与露模接触或如图所示与露模25接触。这些接触片的每一个都相同，并具有多个如图4和5所示的由金属导电材料制成的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于裸露模板的临时密封装置，它包括：－基本呈矩形形状的底座，它带有一上表面和一底面及四个侧面，所述底座至少在所述两个侧面上设有凹座，以及具有用于将一模板定位在所述上表面上的装置；多个具有适合于配装在所述凹座上的伸长形状的接触片， 用于临时地将所述接触片固定在所述凹座内的装置，每个接触片具有多个触点件，所述触点在接触片的一端上形成以实现与所述模板的电接触并与所述接触片相关联的且与所述一端的一相对端有横向设置的第二端以提供沿着底座一侧的电接触；以及－由所述底座支承的 用于将模板朝向底座偏移以提供所述模板、所述触点和所述底座周边之间的电连接的力施加机构，所述力施加机构包括一接触所述模板的压力板、一用于将所述压力板推向所述底座的偏压装置，以及一与所述底座连接的，且支承所述偏压装置的盖，它用于限制盖离开底座的运动，以便所述偏压装置迫使压力板和所述模板与在接触片上的触点作电气啮合。

【技术特征摘要】
US 1994-7-27 08/281,3001.一种用于裸露模板的临时密封装置，它包括一基本呈矩形形状的底座，它带有一上表面和一底面及四个侧面，所述底座至少在所述两个侧面上设有凹座，以及具有用于将一模板定位在所述上表面上的装置；多个具有适合于配装在所述凹座上的伸长形状的接触片，用于临时地将所述接触片固定在所述凹座内的装置，每个接触片具有多个触点件，所述触点在接触片的一端上形成以实现与所述模板的电接触并与所述接触片相关联的且与所述一端的一相对端有横向设置的第二端以提供沿着底座一侧的电接触；以及一由所述底座支承的用于将模板朝向底座偏移以提供所述模板、所述触点和所述底座周边之间的电连接的力施加机构，所述力施加机构包括一接触所述模板的压力板、一用于将所述压力板推向所述底座的偏压装置，以及一与所述底座连接的，且支承所述偏压装置的盖，它用于限制盖离开底座的运动，以便所述偏压装置迫使压力板和所述模板与在接触片上的触点作电气啮合。2.如权利要求1所述的临时密封装置，其特征在于，所述力施加机构具有一通过它而延伸的中央定位孔，孔用于容纳一模板支承的探测器，而所述探测器用于将一模板装到所述底座上以与所述接触片实现电接触并将所述压力板定位。3.如权利要求1所述的临时密封装置，其特征在于，一安装在所述底座上的保护盖并可相对于底座运动以保护所述力施加机构免于受到由所述密封装置所承受的侧向和垂直压力。4.一种用于裸露模板、适合于将所述模板置于试验和腐蚀插座上的临时密封装置，所述的密封装置包括一具有装配在一插座上的矩形形状的底座件，所述底座件具有限定一支承裸露模板...

【专利技术属性】
技术研发人员：卡罗尔林恩凯厄莱依凯必尼斯，戴维斯科特哈德卡斯尔，
申请(专利权)人：美国三M公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]