一种光谱响应的微纳米结构制造技术

本申请属于微纳米结构技术领域，尤其涉及一种光谱响应的微纳米结构。本申请的微纳米结构，包括衬底和悬臂；悬臂的一端与衬底的表面连接，悬臂的另一端与衬底不连接；悬臂的形状为弧形；悬臂的表面设有微纳米图案；衬底的表面设有粗糙结构；悬臂为至少两层的复合结构，获取悬臂的当前层数，基于悬臂的当前层数以获取对应的悬臂的曲率半径计算模型，然后根据悬臂的曲率半径计算模型，计算对应的悬臂的曲率半径；根据悬臂的曲率半径夹角和对应的悬臂的曲率半径，计算对应的悬臂的弯曲高度。本申请提供了一种光谱响应的微纳米结构，利用基于微机电系统技术制得的电热式致动器阵列，可实现可调谐和多功能的太赫兹波应用。可调谐和多功能的太赫兹波应用。可调谐和多功能的太赫兹波应用。

【技术实现步骤摘要】
一种光谱响应的微纳米结构


[0001]本申请属于微纳米结构
，尤其涉及一种光谱响应的微纳米结构。本专利要求申请号为202111051048.1，申请日期为2021年9月8日的专利的要求优先权。

技术介绍

[0002]光学中的太赫兹频段是指频率在0.1～10THz(波长为3000～30μm)范围内的电磁波，其电磁响应因在医学传感、生物科学、安检、无损检测等领域的广泛应用而备受关注。然而，现有的太赫兹器件受到天然材料非线性特性的限制。于是，基于图案化微纳结构的光学芯片被广泛地应用于提高太赫兹器件的性能，可通过适当地调整其几何结构来控制亚波长尺度上的电磁波，其介电常数和磁导率可以通过其周期性单元的几何形状、尺寸和组成进行人工设计，并且可以通过进行尺寸调整以在整个电磁光谱中工作，包括微波、太赫兹、红外、可见光。一般来说，几何尺寸较小的微纳结构可在能量较高、波长较短的频段具有响应。由于微加工技术的局限性，基于微纳结构的光学器件最初是在微波等大波长范围内实现的。随着制备技术的突破，太赫兹波段的器件才得以实现大规模制备，其在理想吸收体、负折射率、金属材本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光谱响应的微纳米结构，其特征在于，包括衬底和悬臂；所述悬臂的一端与所述衬底的表面连接，所述悬臂的另一端与所述衬底不连接；所述悬臂的形状为弧形；所述悬臂的表面设有微纳米图案；所述衬底的表面设有粗糙结构；所述悬臂为至少两层的复合结构，获取所述悬臂的当前层数，基于所述悬臂的当前层数以获取对应的悬臂的曲率半径计算模型，然后根据所述悬臂的曲率半径计算模型，计算对应的悬臂的曲率半径；根据所述悬臂的曲率半径夹角和所述对应的悬臂的曲率半径，计算对应的悬臂的弯曲高度。2.根据权利要求1所述的光谱响应的微纳米结构，其特征在于，所述悬臂的层数为两层；所述悬臂的曲率半径计算模型的公式为：所述悬臂的曲率半径为R，所述悬臂的弯曲高度其中，T为所述悬臂制造过程中产生的温度差绝对值，α2为所述悬臂的第二层材料的热膨胀系数，α1为所述悬臂的第一层材料的热膨胀系数，E2为所述悬臂的第二层材料的杨氏模量，E1为所述悬臂的第一层材料的杨氏模量，t2为所述悬臂的第二层材料的厚度，t1为所述悬臂的第一层材料的厚度，I2为所述悬臂的第二层材料的面积惯性矩，I1为所述悬臂的第一层材料的面积惯性矩，h为所述悬臂的弯曲高度，θ为所述悬臂的曲率半径夹角。3.根据权利要求1所述的光谱响应的微纳米结构，其特征在于，所述悬臂的层数为三层；所述悬臂的曲率半径计算模型的公式为：所述悬臂的曲率半径为R，所述悬臂的弯曲高度其中，T为所述悬臂制造过程中产生的温度差绝对值，α3为所述悬臂的第三层材料的热膨胀系数，α2为所述悬臂的第二层材料的热膨胀系数，α1为所述悬臂的第一层材料的热膨胀系数，E3为所述悬臂的第三层材料的杨氏模量，E2为所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佑昇，许锐佳，
申请(专利权)人：中山大学，
类型：发明
国别省市：