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本申请属于微纳米结构技术领域，尤其涉及一种光谱响应的微纳米结构。本申请的微纳米结构，包括衬底和悬臂；悬臂的一端与衬底的表面连接，悬臂的另一端与衬底不连接；悬臂的形状为弧形；悬臂的表面设有微纳米图案；衬底的表面设有粗糙结构；悬臂为至少两层的复...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

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