【技术实现步骤摘要】
一种针对大型异形样品检测的光谱仪
[0001]本技术涉及光谱仪
,更具体地说,涉及一种针对大型异形样品检测的光谱仪。
技术介绍
[0002]目前常用的X射线荧光光谱法检测样品镀层厚度的仪器有两类,一类是台式X射线荧光光谱仪,一类是手持式X射线荧光光谱仪,但是针对超大的异型样品,这两种光谱仪都无法满足检测要求,为此,需要一种专门针对这种超大的异型样品的光谱仪。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种针对大型异形样品检测的光谱仪。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0005]构造一种针对大型异形样品检测的光谱仪,包括加工台,其中,还包括控制主机和厚度检测组件,所述厚度检测组件包括X射线发射系统、X射线检测系统、信号处理系统和视觉系统;所述加工台上设置有龙门架以及带动其沿前后方向移动的前后移动组件,所述龙门架上设置有带动所述厚度检测组件升降的升降组件和带动所述升降组件沿左右运动的横移组件;所述控制主机接收所述视觉系统的拍摄数据, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种针对大型异形样品检测的光谱仪,包括加工台,其特征在于,还包括控制主机和厚度检测组件,所述厚度检测组件包括X射线发射系统、X射线检测系统、信号处理系统和视觉系统;所述加工台上设置有龙门架以及带动其沿前后方向移动的前后移动组件,所述龙门架上设置有带动所述厚度检测组件升降的升降组件和带动所述升降组件沿左右运动的横移组件;所述控制主机接收所述视觉系统的拍摄数据,并依据该拍摄数据控制所述前后移动组件、所述升降组件和所述横移组件运行。2.根据权利要求1所述的针对大型异形样品检测的光谱仪,其特征在于,所述加工台上设置有检测平台,所述检测平台上设置有左支撑块和右支撑块;所述龙门架设置在所述左支撑块以及所述右支撑块的上端;所述左支撑块和所述右支撑块中间区域构成样本检测区域。3.根据权利要求2所述的针对大型异形样品检测的光谱仪,其特征在于,所述加工台上设置有对所述检测平台边角处进行支撑的多个垫块。4.根据权利要求2所述的针对大型异形样品检测的光谱仪,其特征在于,所述左支撑块和所述右支撑块的底端均设置有开槽。5.根据权利要求2
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4任一所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:马银平,沈非,
申请(专利权)人:深圳市善时仪器有限公司,
类型:新型
国别省市:
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