一种晶圆研磨机取片机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆研磨机取片机构，涉及研磨机技术领域，为解决现有晶圆研磨机在操作完毕后，对于物件加工后的取出，有着较为繁琐且不便的问题。所述晶圆研磨机主体的上端面设置有盖板面，所述盖板面通过六角螺栓与晶圆研磨机主体螺纹连接，且六角螺栓设置有六个，所述盖板面的上方设置有中心转动轴体，且中心转动轴体的一端贯穿并延伸至晶圆研磨机主体的内部，所述中心转动轴体的两侧设置有电动伸缩杆体，且电动伸缩杆体设置有两个，两个所述电动伸缩杆体的一端均贯穿并延伸至晶圆研磨机主体的内部，所述盖板面的上端面的一侧设置有第一连接杆，所述第一连接杆通过中心转动盘与盖板面，所述第一连接杆的一端设置有第二连接杆。第二连接杆。第二连接杆。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆研磨机取片机构


[0001]本技术涉及研磨机
，具体为一种晶圆研磨机取片机构。

技术介绍

[0002]研磨机是指用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。研磨是超精密加工中一种重要加工方法，其优点是加工精度高，加工材料范围广。
[0003]但是，现有的晶圆研磨机在操作完毕后，对于物件加工后的取出，有着较为繁琐且不便的问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种晶圆研磨机取片机构。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆研磨机取片机构，以解决上述
技术介绍
中提出的现有晶圆研磨机在操作完毕后，对于物件加工后的取出，有着较为繁琐且不便的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆研磨机取片机构，包括晶圆研磨机主体，所述晶圆研磨机主体的上端面设置有盖板面，所述盖板面通过六角螺栓与晶圆研磨机主体螺纹连接，且六角螺栓设置有六个，所述盖板面的上方设置有中心转动轴体，且中心转动轴体的一端贯穿并延伸至晶圆研磨机主体的内部，所述中心转动轴体的两侧设置有电动伸缩杆体，且电动伸缩杆体设置有两个，两个所述电动伸缩杆体的一端均贯穿并延伸至晶圆研磨机主体的内部，所述盖板面的上端面的一侧设置有第一连接杆，所述第一连接杆通过中心转动盘与盖板面，所述第一连接杆的一端设置有第二连接杆，所述第二连接杆通过转动轴与第一连接杆转动连接，所述第二连接杆的一侧设置有负压机构，所述负压机构的上端面设置有输入端，所述负压机构的下端面设置有吸嘴盘。
[0006]优选的，所述中心转动轴体的上方设置有安装盘，且安装盘与中心转动轴体固定连接，所述安装盘下端面的两侧均设置有预留孔槽，且预留孔槽设置有两个，所述安装盘内部的下方设置有软体橡胶垫。
[0007]优选的，所述晶圆研磨机主体的下端面设置有柱脚，且柱脚设置有四个，四个所述柱脚均与晶圆研磨机主体焊接连接。
[0008]优选的，所述晶圆研磨机主体的前端面设置有门板，且门板设置有两个，两个所述门板均通过旋转轴体与晶圆研磨机主体转动连接，且旋转轴体设置有两个。
[0009]优选的，所述门板的前端面设置有把手，且把手与门板固定连接。
[0010]优选的，所述晶圆研磨机主体的内部设置有内腔体，所述内腔体内部的两侧均设置有承托板，且承托板设置有两个，两个所述承托板的上端面设置有固定杆体，且电动伸缩杆体的一端贯穿并延伸至固定杆体的内部。
[0011]优选的，所述内腔体的内部设置有电机，且中心转动轴体的一端贯穿并延伸至电机的内部。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术通过设置的负压机构、输入端和吸嘴盘，依靠外部设备运行使输入端产生抽力，并将负压机构内部的空气抽离，使得吸嘴盘产生强力的吸力，便于加工操作完，对于该物件的转移、输送，避免现有的晶圆研磨机在操作完毕后，对于物件加工后的取出，有着较为繁琐且不便的问题。
[0014]2、通过电动伸缩杆体、软体橡胶垫和预留孔槽的设置，让物件在安装盘内部与研磨机加工完成后，由两个电动伸缩杆体向上伸出，穿过安装盘在下端面预留的孔槽，依靠推力让物件与安装盘产生松动，便于后期机械臂的转送，而软体橡胶垫可以减少物件与该安装盘之间的刚性接触，避免摩擦损坏。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术的安装盘局部结构示意图；
[0017]图3为本技术的晶圆研磨机主体内部结构示意图；
[0018]图中：1、晶圆研磨机主体；2、柱脚；3、盖板面；4、六角螺栓；5、中心转动轴体；6、安装盘；7、软体橡胶垫；8、电动伸缩杆体；9、中心转动盘；10、第一连接杆；11、第二连接杆；12、转动轴；13、负压机构；14、输入端；15、吸嘴盘；16、门板；17、把手；18、旋转轴体；19、预留孔槽；20、内腔体；21、承托板；22、固定杆体；23、电机。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]请参阅图1
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3，本技术提供的一种实施例：一种晶圆研磨机取片机构，包括晶圆研磨机主体1，晶圆研磨机主体1的上端面设置有盖板面3，盖板面3通过六角螺栓4与晶圆研磨机主体1螺纹连接，且六角螺栓4设置有六个，盖板面3的上方设置有中心转动轴体5，且中心转动轴体5的一端贯穿并延伸至晶圆研磨机主体1的内部，中心转动轴体5的两侧设置有电动伸缩杆体8，且电动伸缩杆体8设置有两个，两个电动伸缩杆体8的一端均贯穿并延伸至晶圆研磨机主体1的内部，盖板面3的上端面的一侧设置有第一连接杆10，第一连接杆10通过中心转动盘9与盖板面3，第一连接杆10的一端设置有第二连接杆11，第二连接杆11通过转动轴12与第一连接杆10转动连接，第二连接杆11的一侧设置有负压机构13，负压机构13的上端面设置有输入端14，负压机构13的下端面设置有吸嘴盘15，负压机构13、输入端14和吸嘴盘15的设置，让外部设备运行对输入端14产生抽力，将负压机构13内部的空气抽离，使得吸嘴盘15产生强力的吸力，便于加工操作完，对于该物件的转移、输送。
[0021]进一步，中心转动轴体5的上方设置有安装盘6，且安装盘6与中心转动轴体5固定连接，安装盘6下端面的两侧均设置有预留孔槽19，且预留孔槽19设置有两个，安装盘6内部的下方设置有软体橡胶垫7，软体橡胶垫7的设置，有效的减少物件与该安装盘6之间的刚性接触。
[0022]进一步，晶圆研磨机主体1的下端面设置有柱脚2，且柱脚2设置有四个，四个柱脚2均与晶圆研磨机主体1焊接连接，焊接连接有效的减小断裂面的产生。
[0023]进一步，晶圆研磨机主体1的前端面设置有门板16，且门板16设置有两个，两个门板16均通过旋转轴体18与晶圆研磨机主体1转动连接，且旋转轴体18设置有两个，旋转轴体18的设置，让门板16便于转动。
[0024]进一步，门板16的前端面设置有把手17，且把手17与门板16固定连接，把手17的设置，便于门板16的人员操作。
[0025]进一步，晶圆研磨机主体1的内部设置有内腔体20，内腔体20内部的两侧均设置有承托板21，且承托板21设置有两个，两个承托板21的上端面设置有固定杆体22，且电动伸缩杆体8的一端贯穿并延伸至固定杆体22的内部，承托板21的设置，有效的对固定杆体22有着固定的作用。
[0026]进一步，内腔体20的内部设置有电机23，且中心转动轴体5的一端贯穿并延伸至电机23的内部，电机23的设置，为该装置的研磨转动提供动能。
[0027]工作原理：使用时，物件在安装盘6内部与研磨机构加工完成后，先将两个电动伸缩杆体8向上伸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆研磨机取片机构，包括晶圆研磨机主体（1），其特征在于：所述晶圆研磨机主体（1）的上端面设置有盖板面（3），所述盖板面（3）通过六角螺栓（4）与晶圆研磨机主体（1）螺纹连接，且六角螺栓（4）设置有六个，所述盖板面（3）的上方设置有中心转动轴体（5），且中心转动轴体（5）的一端贯穿并延伸至晶圆研磨机主体（1）的内部，所述中心转动轴体（5）的两侧设置有电动伸缩杆体（8），且电动伸缩杆体（8）设置有两个，两个所述电动伸缩杆体（8）的一端均贯穿并延伸至晶圆研磨机主体（1）的内部，所述盖板面（3）的上端面的一侧设置有第一连接杆（10），所述第一连接杆（10）通过中心转动盘（9）与盖板面（3），所述第一连接杆（10）的一端设置有第二连接杆（11），所述第二连接杆（11）通过转动轴（12）与第一连接杆（10）转动连接，所述第二连接杆（11）的一侧设置有负压机构（13），所述负压机构（13）的上端面设置有输入端（14），所述负压机构（13）的下端面设置有吸嘴盘（15）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆研磨机取片机构，其特征在于：所述中心转动轴体（5）的上方设置有安装盘（6），且安装盘（6）与中心转动轴体（5）固定连接，所述安装盘（6）下端面的两侧均设置有预留孔槽（19），且预留孔槽（19）设置有两...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘虎，
申请(专利权)人：苏州斯尔特微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：