划切机喷水架侧喷管的一种分体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了划切机喷水架侧喷管的一种分体结构，包括固定座和两组通路组件，两组通路组件对称设置在固定座上且每组通路组件均包括贯穿设置在固定座上的轴向通道、设置在固定座上且与轴向通道相连通的用于与外部水管连接的进水口和用于与侧喷管连接的连接开口，每个轴向通道的两端均可拆卸设置有堵头，本实用新型专利技术的目的在于提供划切机喷水架侧喷管的一种分体结构，结构简单，两组通路组件对称设置，避免了侧喷管安装不对称后水对刀片的冲击力使刀片偏斜；同时降低了侧喷管的安装成本高、提高安装效率。提高安装效率。提高安装效率。

【技术实现步骤摘要】
划切机喷水架侧喷管的一种分体结构


[0001]本技术涉及划切机
，尤其涉及划切机喷水架侧喷管的一种分体结构。

技术介绍

[0002]晶圆芯片是制造半导体芯片的基本材料，在晶圆芯片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的IC产品。目前晶圆芯片的切割方式主要分为两种，一种是采用刀片进行切割，另一种是采用激光切割。采用刀片划切机切割时，刀片会在切割中产生大量的热，这会影响刀片寿命、切割精度和晶圆芯片融锡；因此刀片划切机通常会采用密封焊的形式安装侧喷管实现对刀片进行冷却。但采用密封焊的形式在刀片划切机上安装侧喷管的要求较高，如果刀片划切机上刀片两边的侧喷管安装不对称，水对刀片的冲击力会使刀片偏斜，从而造成切割偏差，并且安装成本高、安装效率低。因此对于划切机喷水架侧喷管的一种分体结构，采用密封焊的形式在刀片划切机上安装侧喷管的要求较高，并且安装成本高、安装效率低是我们要解决的问题。

技术实现思路

[0003]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供划切机喷水架侧喷管的一种分体结构，结构简单，两组通路组件对称设置，避免了侧喷管安装不对称后水对刀片的冲击力使刀片偏斜；同时降低了侧喷管的安装成本高、提高了安装效率低。
[0004]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：划切机喷水架侧喷管的一种分体结构，包括固定座和两组通路组件，两组通路组件对称设置在固定座上且每组通路组件均包括贯穿设置在固定座上的轴向通道、设置在固定座上且与轴向通道相连通的用于与外部水管连接的进水口和用于与侧喷管连接的连接开口，每个轴向通道的两端均可拆卸设置有堵头。
[0005]本技术划切机喷水架侧喷管的一种分体结构的有益效果是，将固定座安装在机座上(固定座上设置有腰型孔且腰型孔处还设置有内嵌槽，固定座能通过螺母组件、腰型孔与机座相锁紧。腰型孔的设置方便固定座与机座锁紧。在固定座与机座锁紧时，内嵌槽对螺母组件起到让位作用，进一步方便螺母组件、固定座与机座锁紧)，之后将两个外部水管与两个进水口装配连接、两个侧喷管通过螺旋连接或粘接或卡接的方式与两个连接开口装配连接；水经过进水口、轴向通道和连接开口后从侧喷管喷出，实现对刀片冷却。固定座、侧喷管的结构简单(侧喷管是直管)，且加工也都非常容易；两组通路组件对称设置，也就是两个进水口、两个轴向通道和两个连接开口都相对称，方便与侧喷管装配连接且装配连接后的两个侧喷管是相对称的，避免了安装不对称后水对刀片的冲击力使刀片偏斜；同时降低了侧喷管的安装成本高、提高了安装效率低。长期使用后，还可将堵头从轴向通道的两端取下，实现对轴向通道的检修和清理。
[0006]作为本技术的进一步改进是，每个轴向通道的两端均设置有定位槽，每个堵
头均能卡入定位槽。定位槽实现堵头的可拆卸。
[0007]作为本技术的进一步改进是，每个连接开口均能通过粘胶剂与侧喷管粘接。侧喷管和连接开口通过粘胶剂实现粘接。
[0008]作为本技术的进一步改进是，每个连接开口处均设置有内螺纹，每个侧喷管上均设置有外螺纹，每个连接开口均与侧喷管螺纹连接。侧喷管和连接开口通过内螺纹、外螺纹实现螺纹连接。
[0009]作为本技术的进一步改进是，还包括设置在固定座上的两个位置感应器，每个位置感应器均位于连接开口的上方。两个侧喷管通过螺旋连接或粘接或卡接的方式与两个连接开口装配连接，位置感应器可以感应到侧喷管。当位置感应器检测不到侧喷管时，说明侧喷管发生位移，需要人手动调整侧喷管。
附图说明
[0010]图1为本实施例的结构图；
[0011]图2为本实施例的剖视图；
[0012]图3为本实施例与侧喷管连接时的结构图
[0013]图4为本实施例在划切机上的结构图。
[0014]图中：
[0015]1‑
轴向通道；2
‑
进水口；3
‑
连接开口；4
‑
固定座。
具体实施方式
[0016]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0017]参见附图1
‑
4所示，本实施例划切机喷水架侧喷管的一种分体结构，包括固定座4和两组通路组件，两组通路组件对称设置在固定座4上且每组通路组件均包括贯穿设置在固定座4上的轴向通道1、设置在固定座4上且与轴向通道1相连通的用于与外部水管连接的进水口2和用于与侧喷管连接的连接开口3，每个轴向通道1的两端均可拆卸设置有堵头。
[0018]本实施例的工作过程：将固定座4安装在机座上(固定座4上设置有腰型孔且腰型孔处还设置有内嵌槽，固定座4能通过螺母组件、腰型孔与机座相锁紧。腰型孔的设置方便固定座4与机座锁紧。在固定座4与机座锁紧时，内嵌槽对螺母组件起到让位作用，进一步方便螺母组件、固定座4与机座锁紧)，之后将两个外部水管与两个进水口2装配连接、两个侧喷管通过螺旋连接或粘接或卡接的方式与两个连接开口3装配连接；水经过进水口2、轴向通道1和连接开口3后从侧喷管喷出，实现对刀片冷却。固定座4、侧喷管的结构简单(侧喷管是直管)，且加工也都非常容易；两组通路组件对称设置，也就是两个进水口2、两个轴向通道1和两个连接开口3都相对称，方便与侧喷管装配连接且装配连接后的两个侧喷管是相对称的，避免了安装不对称后水对刀片的冲击力使刀片偏斜；同时降低了侧喷管的安装成本高、提高了安装效率低。长期使用后，还可将堵头从轴向通道1的两端取下，实现对轴向通道1的检修和清理。
[0019]本实施例的每个轴向通道1的两端均设置有定位槽，每个堵头均能卡入定位槽。定
位槽实现堵头的可拆卸。
[0020]本实施例的每个连接开口3均能通过粘胶剂与侧喷管粘接。侧喷管和连接开口3通过粘胶剂实现粘接。
[0021]本实施例的每个连接开口3处均设置有内螺纹，每个侧喷管上均设置有外螺纹，每个连接开口3均与侧喷管螺纹连接。侧喷管和连接开口3通过内螺纹、外螺纹实现螺纹连接。
[0022]本实施例还包括设置在固定座4上的两个位置感应器，每个位置感应器均位于连接开口3的上方。两个侧喷管通过螺旋连接或粘接或卡接的方式与两个连接开口3装配连接，位置感应器可以感应到侧喷管。当位置感应器检测不到侧喷管时，说明侧喷管发生位移，需要人手动调整侧喷管。
[0023]以上实施方式只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本技术的内容并加以实施，并不能以此限制本技术的保护范围，凡根据本技术精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.划切机喷水架侧喷管的一种分体结构，其特征在于：包括固定座(4)和两组通路组件，两组所述通路组件对称设置在固定座(4)上且每组通路组件均包括贯穿设置在固定座(4)上的轴向通道(1)、设置在固定座(4)上且与轴向通道(1)相连通的用于与外部水管连接的进水口(2)和用于与侧喷管连接的连接开口(3)，每个所述轴向通道(1)的两端均可拆卸设置有堵头。2.根据权利要求1所述划切机喷水架侧喷管的一种分体结构，其特征在于：每个所述轴向通道(1)的两端均设置有定位槽，每个所述堵头均...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖招军，张智广，于飞，宋鹏飞，
申请(专利权)人：苏州特斯特半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：