微机械陀螺仪的温度补偿方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种微机械陀螺仪的温度补偿方法及装置。其中，该方法包括：通过基准电压芯片为微机械陀螺仪MEMS供电，其中，基准电压芯片设置于MEMS陀螺仪的外围电路中；通过信号采集电路采集MEMS陀螺仪的输出数据，并将输出数据传输至数据处理电路，其中，输出数据包括MEMS陀螺仪的温度值；利用数据处理电路以及温度修正曲线对输出数据进行温度补偿，得到补偿后的角速度值。本发明专利技术解决了相关技术中微机陀螺仪由于生产工艺因素，造成微机陀螺仪零偏值随温度变化容易产生较大变化，从而容易引起较大测量误差的技术问题。大测量误差的技术问题。大测量误差的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
微机械陀螺仪的温度补偿方法及装置


[0001]本专利技术涉及微机械陀螺仪的温度误差补偿
，具体而言，涉及一种微机械陀螺仪的温度补偿方法及装置。

技术介绍

[0002]微机械陀螺仪(Micro Electro Mechanical Systems，简称MEMS)，即微电子机械系统，其体积小、重量轻、抗冲击性能好、功耗低。但因为生产工艺等因素，MEMS陀螺零偏值随温度变化产生较大变化，且随温度变化而变化的趋势是随机的，从而引起较大的测量误差。
[0003]针对上述相关技术中微机陀螺仪由于生产工艺因素，造成微机陀螺仪零偏值随温度变化容易产生较大变化，从而容易引起较大测量误差的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供了一种微机械陀螺仪的温度补偿方法及装置，以至少解决相关技术中微机陀螺仪由于生产工艺因素，造成微机陀螺仪零偏值随温度变化容易产生较大变化，从而容易引起较大测量误差的技术问题。
[0005]根据本专利技术实施例的一个方面，提供了一种微机械陀螺仪的温度补偿方法，包括：通过基准电压芯片为微机械陀螺仪MEMS供电，其中，所述基准电压芯片设置于所述MEMS陀螺仪的外围电路中；通过信号采集电路采集所述MEMS陀螺仪的输出数据，并将所述输出数据传输至数据处理电路，其中，所述输出数据包括所述MEMS陀螺仪的温度值；利用所述数据处理电路以及温度修正曲线对所述输出数据进行温度补偿，得到补偿后的角速度值。
[0006]可选地，在通过信号采集电路采集所述MEMS陀螺仪的输出数据，并将所述输出数据传输至数据处理电路之前，该微机械陀螺仪的温度补偿方法还包括：利用所述信号采集电路中的模数转换芯片对所述输出数据进行数据转换，得到转换后的输出数据，其中，所述模数转换芯片使用外置电源进行供电。
[0007]可选地，该微机械陀螺仪的温度补偿方法还包括：在所述数据处理电路接收到所述输出数据后，从预定存储介质调取所述温度修正曲线，其中，所述预定存储介质外置于所述数据处理电路的微控制器芯片。
[0008]可选地，该微机械陀螺仪的温度补偿方法还包括：在向所述预定存储介质存储所述温度修正曲线时，利用数字滤波器对所述输出数据进行滤波处理。
[0009]可选地，利用所述数据处理电路以及温度修正曲线对所述输出数据进行温度补偿，得到补偿后的角速度值，包括：启动所述数据处理电路中的微控制器芯片；利用所述微控制器芯片并结合所述温度修正曲线对所述输出数据进行处理，得到补偿后的角速度值。
[0010]可选地，在利用所述数据处理电路以及温度修正曲线对所述输出数据进行温度补偿，得到补偿后的角速度值之前，该微机械陀螺仪的温度补偿方法还包括：对所述MEMS陀螺
仪进行预处理；其中，对所述MEMS陀螺仪进行预处理，包括：以第一预定温度值对所述MEMS陀螺仪进行老化处理第一预定时长，以使得所述MEMS陀螺仪以及所述基准电压芯片在预定时间段内进入平稳期；在所述第一预定时长达到后，以预定温度变化速度对所述MEMS陀螺仪进行高低温循环老化处理第二预定时长。
[0011]根据本专利技术实施例的另外一个方面，还提供了一种微机械陀螺仪的温度补偿装置，包括：供电单元，用于通过基准电压芯片为微机械陀螺仪MEMS供电，其中，所述基准电压芯片设置于所述MEMS陀螺仪的外围电路中；采集单元，用于通过信号采集电路采集所述MEMS陀螺仪的输出数据，并将所述输出数据传输至数据处理电路，其中，所述输出数据包括所述MEMS陀螺仪的温度值；温度补偿单元，用于利用所述数据处理电路以及温度修正曲线对所述输出数据进行温度补偿，得到补偿后的角速度值。
[0012]可选地，该微机械陀螺仪的温度补偿装置还包括：转换单元，用于在通过信号采集电路采集所述MEMS陀螺仪的输出数据，并将所述输出数据传输至数据处理电路之前，利用所述信号采集电路中的模数转换芯片对所述输出数据进行数据转换，得到转换后的输出数据，其中，所述模数转换芯片使用外置电源进行供电。
[0013]可选地，该微机械陀螺仪的温度补偿装置还包括：调取单元，用于在所述数据处理电路接收到所述输出数据后，从预定存储介质调取所述温度修正曲线，其中，所述预定存储介质外置于所述数据处理电路的微控制器芯片。
[0014]可选地，该微机械陀螺仪的温度补偿装置还包括：滤波单元，用于在向所述预定存储介质存储所述温度修正曲线时，利用数字滤波器对所述输出数据进行滤波处理。
[0015]可选地，所述温度补偿单元，包括：启动模块，用于启动所述数据处理电路中的微控制器芯片；处理模块，用于利用所述微控制器芯片并结合所述温度修正曲线对所述输出数据进行处理，得到补偿后的角速度值。
[0016]可选地，该微机械陀螺仪的温度补偿装置还包括：预处理单元，用于在利用所述数据处理电路以及温度修正曲线对所述输出数据进行温度补偿，得到补偿后的角速度值之前，对所述MEMS陀螺仪进行预处理；其中，所述预处理单元，包括：第一老化模块，用于以第一预定温度值对所述MEMS陀螺仪进行老化处理第一预定时长，以使得所述MEMS陀螺仪以及所述基准电压芯片在预定时间段内进入平稳期；第二老化模块，用于在所述第一预定时长达到后，以预定温度变化速度对所述MEMS陀螺仪进行高低温循环老化处理第二预定时长。
[0017]根据本专利技术实施例的另外一个方面，还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质包括存储的计算机程序，其中，在所述计算机程序被处理器运行时控制所述计算机存储介质所在设备执行上述中任一项所述的微机械陀螺仪的温度补偿方法。
[0018]根据本专利技术实施例的另外一个方面，还提供了一种处理器，所述处理器用于运行计算机程序，其中，所述计算机程序运行时执行上述中任一项所述的微机械陀螺仪的温度补偿方法。
[0019]在本专利技术实施例中，通过基准电压芯片为微机械陀螺仪MEMS供电，其中，基准电压芯片设置于MEMS陀螺仪的外围电路中；通过信号采集电路采集MEMS陀螺仪的输出数据，并将输出数据传输至数据处理电路，其中，输出数据包括MEMS陀螺仪的温度值；利用数据处理电路以及温度修正曲线对输出数据进行温度补偿，得到补偿后的角速度值。通过本专利技术实施例提供的微机械陀螺仪的温度补偿方法，实现了对MEMS陀螺仪进行温度补偿的目的，达
到了降低MEMS陀螺仪测量误差的技术效果，进而解决了相关技术中微机陀螺仪由于生产工艺因素，造成微机陀螺仪零偏值随温度变化容易产生较大变化，从而容易引起较大测量误差的技术问题。
附图说明
[0020]此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0021]图1是根据本专利技术实施例的微机械陀螺仪的温度补偿方法的流程图；
[0022]图2是根据本专利技术实施例的MEME陀螺仪外围电路的框架图；
[0023]图3是根据本专利技术实施例的微机械陀螺仪的温度补偿方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微机械陀螺仪的温度补偿方法，其特征在于，包括：通过基准电压芯片为微机械陀螺仪MEMS供电，其中，所述基准电压芯片设置于所述MEMS陀螺仪的外围电路中；通过信号采集电路采集所述MEMS陀螺仪的输出数据，并将所述输出数据传输至数据处理电路，其中，所述输出数据包括所述MEMS陀螺仪的温度值；利用所述数据处理电路以及温度修正曲线对所述输出数据进行温度补偿，得到补偿后的角速度值。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在通过信号采集电路采集所述MEMS陀螺仪的输出数据，并将所述输出数据传输至数据处理电路之前，所述方法还包括：利用所述信号采集电路中的模数转换芯片对所述输出数据进行数据转换，得到转换后的输出数据，其中，所述模数转换芯片使用外置电源进行供电。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述数据处理电路接收到所述输出数据后，从预定存储介质调取所述温度修正曲线，其中，所述预定存储介质外置于所述数据处理电路的微控制器芯片。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在向所述预定存储介质存储所述温度修正曲线时，利用数字滤波器对所述输出数据进行滤波处理。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，利用所述数据处理电路以及温度修正曲线对所述输出数据进行温度补偿，得到补偿后的角速度值，包括：启动所述数据处理电路中的微控制器芯片；利用所述微控制器芯片并结合所述温度修正曲线对所述输出数据进行处理，得到补偿后的角速度值。6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，在利用所述数据处理电路以及温度修正曲线对所述输出数据进行温度补偿，得到补偿后的角速度值之前，所述方法还包...

【专利技术属性】
技术研发人员：马旭，布向伟，于继超，魏凯，
申请(专利权)人：东方空间技术山东有限公司，
类型：发明
国别省市：