一种MEMS陀螺仪制造技术

本实用新型专利技术提供了一种MEMS陀螺仪，该MEMS陀螺仪包括MEMS陀螺仪本体，所述MEMS陀螺仪本体的外侧壁开设有外定位槽，所述MEMS陀螺仪本体的侧壁对应所述外定位槽的部分均匀开设有散热孔，所述外定位槽嵌入连接有散热侧板，所述散热侧板首尾依次固连，且所述散热侧板与所述外定位槽的底侧缝隙处填充有防水胶，所述散热侧板的顶端固定连接有均热盖板，所述均热盖板的底端固定嵌装有吸热格网。本申请提供的MEMS陀螺仪，不但防水防潮性能得以很好的保证，并且能有效提高MEMS陀螺仪的散热性能。并且能有效提高MEMS陀螺仪的散热性能。并且能有效提高MEMS陀螺仪的散热性能。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS陀螺仪


[0001]本技术涉及到微机械MEMS
，尤其涉及到一种MEMS陀螺仪。

技术介绍

[0002]微机械MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统，微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术，它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统，这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动，它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统，微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响，它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。
[0003]公开号为CN210603327U所提供的一种具有自动定位的MEMS陀螺仪，其在装有定位仪的工作盒上加装了上基板以及盖板，并且在上基板与盖板上分别设置有活性炭和防水涂膜以用来降低受潮率，这样的设计虽然考虑到了防潮，但并不能够起到良好的散热作用，甚至会使工作盒内侧的热量更难以散出。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了克服现有技术的不足，提供了一种MEMS陀螺仪。
[0005]本技术是通过以下技术方案实现：
[0006]本技术提供了一种MEMS陀螺仪，该MEMS陀螺仪包括MEMS陀螺仪本体，所述MEMS陀螺仪本体的外侧壁开设有外定位槽，所述MEMS陀螺仪本体的侧壁对应所述外定位槽的部分均匀开设有散热孔，所述外定位槽嵌入连接有散热侧板，所述散热侧板首尾依次固连，且所述散热侧板与所述外定位槽的底侧缝隙处填充有防水胶，所述散热侧板的顶端固定连接有均热盖板，所述均热盖板的底端固定嵌装有吸热格网。
[0007]优选的，所述MEMS陀螺仪本体的侧壁顶端开设有一圈密封定位槽，所述均热盖板的底端对应所述密封定位槽固定连接有密封圈。
[0008]优选的，所述散热侧板外侧均匀的固定镶嵌有散热凸起。
[0009]优选的，所述散热侧板内侧均匀的固定镶嵌有吸热凸起。
[0010]优选的，所述吸热凸起对应所述散热孔设置。
[0011]优选的，所述吸热凸起与所述散热凸起交错设置。
[0012]在上述实施例中，本申请提供的MEMS陀螺仪，不但防水防潮性能得以很好的保证，并且能有效提高MEMS陀螺仪的散热性能。
附图说明
[0013]图1是本技术实施例提供的MEMS陀螺仪的结构示意图。
[0014]图中：1
‑
MEMS陀螺仪本体；2
‑
外定位槽；3
‑
散热孔；4
‑
散热侧板；5
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防水胶；6
‑
均热盖板；7
‑
吸热格网；8
‑
密封定位槽；9
‑
密封圈；10
‑
散热凸起；11
‑
吸热凸起。
具体实施方式
[0015]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0016]为了方便理解本技术实施例提供的MEMS陀螺仪，下面结合附图及具体的实施例对本技术进行详细说明。
[0017]请参考图1，图1是本技术实施例提供的MEMS陀螺仪的结构示意图。
[0018]如图1所示，该MEMS陀螺仪包括MEMS陀螺仪本体1，MEMS陀螺仪本体1的外侧壁开设有外定位槽2，MEMS陀螺仪本体1的侧壁对应外定位槽2的部分均匀开设有散热孔3。
[0019]此外，外定位槽2嵌入连接有散热侧板4，散热侧板4对应MEMS陀螺仪本体1的侧壁分别设置一个，多个散热侧板4首尾依次固连，且散热侧板4与外定位槽2的底侧缝隙处填充有防水胶5。
[0020]除此之外，散热侧板4的顶端还固定连接有均热盖板6，均热盖板6的底端固定嵌装有吸热格网7。吸热格网7固定嵌入设置在均热盖板6底端，避免与MEMS陀螺仪本体1内部的元器件造成挤压碰触。
[0021]通过上述设置，使用防水胶5进行堵缝，有效提高了MEMS陀螺仪本体1的防水效果，并通过吸热格网7吸收MEMS陀螺仪本体1内部元器件散发的热量后传导至均热盖板6，有助于提高MEMS陀螺仪本体1的散热效果。
[0022]为了进一步提高MEMS陀螺仪本体1的防水性能，并且为了便于均热盖板6盖合时进行定位，在MEMS陀螺仪本体1的侧壁顶端开设有一圈密封定位槽8，均热盖板6的底端对应密封定位槽8固定连接有密封圈9。通过密封圈9和密封定位槽8的配合，增强了均热盖板6盖合时的密封性能，同时还便于对均热盖板6进行定位盖合。
[0023]在上述设置中，MEMS陀螺仪本体1内部元器件还通过其侧壁上的散热孔3进行散热，热量被散热侧板4吸收并向外部散热，同样增强了MEMS陀螺仪本体1的散热性能。
[0024]为了增强散热侧板4的散热效果，还在散热侧板4外侧均匀的固定镶嵌有散热凸起10。此外，散热侧板4内侧还均匀的固定镶嵌有吸热凸起11。吸热凸起11对应散热孔3设置。这样有助于提高散热侧板4的吸热和散热效果。
[0025]在一个具体实施例中，吸热凸起11与散热凸起10交错设置。这样设置，吸热凸起11通过对应散热孔3设置，可以相对更加直接的吸收MEMS陀螺仪本体1内部元器件散发的热量，然后通过散热侧板4均热，最终通过散热凸起10实现快速散热。
[0026]通过上述描述不难发现，本申请提供的MEMS陀螺仪，不但防水防潮性能得以很好的保证，并且能有效提高MEMS陀螺仪的散热性能。
[0027]以上仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保
护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MEMS陀螺仪，包括：MEMS陀螺仪本体，其特征在于，所述MEMS陀螺仪本体的外侧壁开设有外定位槽，所述MEMS陀螺仪本体的侧壁对应所述外定位槽的部分均匀开设有散热孔，所述外定位槽嵌入连接有散热侧板，所述散热侧板首尾依次固连，且所述散热侧板与所述外定位槽的底侧缝隙处填充有防水胶，所述散热侧板的顶端固定连接有均热盖板，所述均热盖板的底端固定嵌装有吸热格网。2.根据权利要求1所述的MEMS陀螺仪，其特征在于，所述MEMS陀螺仪本体的侧壁顶端...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，万丽霞，张瀚文，
申请(专利权)人：北京信息科技大学，
类型：新型
国别省市：