压力传感器制造技术

一种压力传感器，包括蓝宝石基体、蓝宝石膜片、电容腔、静态电极和可动电极。其基体以Ｒ晶面为主表面。蓝宝石膜片形成在基体的主表面上并且以Ｒ晶面为主表面。电容腔的上表面由膜片盖住并具有形成在基体主表面上的凹部。静态电极固定在电容腔的底面上。可动电极与静态电极相对地固定在电容腔中的膜片的下表面上。可动电极和静态电极中至少一个电极具有在沿晶体Ｃ轴投影方向穿过膜片主表面中心的直线和沿与Ｃ轴投影方向垂直方向上的直线中至少一条直线上延伸的形状。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种通过检测静电电容的变化来测量压力的压力传感器。通常，通过检测静电电容而测出压力的片状电容型压力传感器具有衬底、与衬底一起形成间隙的膜片、设在衬底上的静态电极、和与静态电极相对置地固定到膜片上的可动电极。在具有这种结构的压力传感器块中，当膜片因受压力作用而移动时，可动电极和静态电极之间的距离会发生变化从而改变了它们之间的静电电容。根据静电电容的变化可以测出施加到膜片上的压力。已提出用蓝宝石(人造金刚砂)制造由这种压力传感器块的衬底和膜片构成的外壳。当用蓝宝石构成外壳时，既使测量目标是腐蚀性物质或液体，外壳也可以用其测量压力的膜片直接接触所述物质或液体。图4A和4B表示已有压力传感器块的结构。参照图4A，现有的压力传感器块由基体401和膜片402构成。在基体401的主表面中部形成有圆形凹状电容腔401a。围绕电容腔401a将膜片402粘合到主表面的边缘部分401b上并盖住所述主表面，由此在电容腔401a中形成封闭的空间。基体401和膜片402均用蓝宝石制做。将圆形静态电极403固定到电容腔401a的底面上，而将小的盘状可动电极404固定到膜片402的下表面(电容空本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压力传感器，其特征在于包括： 以Ｒ晶面作为主表面的蓝宝石基体（１０１，２０１）； 形成在所述基体的所述主表面上且以Ｒ晶面作为主表面的蓝宝石膜片； 电容腔，其上表面由所述膜片盖住并且具有一个形成在所述基体主表面上的凹部； 固定到所述电容腔底面上的静态电极（１０３，２０３）；和 与所述静态电极相对地固定在所述电容腔内的所述膜片下表面上的可动电极， 其中所述可动电极和静态电极中至少一个电极具有在沿晶体的Ｃ轴投影方向穿过所述膜片主表面中心的直线和沿垂直于Ｃ轴投影方向的直线中的至少一条直线上延伸的形状。

【技术特征摘要】
JP 1998-9-29 275778/981.一种压力传感器，其特征在于包括以R晶面作为主表面的蓝宝石基体(101，201)；形成在所述基体的所述主表面上且以R晶面作为主表面的蓝宝石膜片；电容腔，其上表面由所述膜片盖住并且具有一个形成在所述基体主表面上的凹部；固定到所述电容腔底面上的静态电极(103，203)；和与所述静态电极相对地固定在所述电容腔内的所述膜片下表面上的可动电极，其中所述可动电极和静态电极中至少一个电极具有在沿晶体的C轴投影方向穿过所述膜片主表面中心的直线和沿垂直于C轴投影方向的直线中的至少一条直线上延伸的形状。2.根据权利要求1所述的传感器，其中所述可动电极和静态电极中仅有一个电极具有在沿晶体的C轴投影方向穿过所述膜片主表面中心的直线和沿垂直于C轴投影方向的直线中的至少一条直线上延伸的形状。3.根据权利要求1所述的传感器，其中所述可动电极和静态电极都具有在沿晶体的C轴投影方向穿过所述膜片主表面中心的直线和沿垂直...

【专利技术属性】
技术研发人员：石仓善之，
申请(专利权)人：株式会社山武，
类型：发明
国别省市：JP[日本]