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一种压力传感器，包括蓝宝石基体、蓝宝石膜片、电容腔、静态电极和可动电极。其基体以Ｒ晶面为主表面。蓝宝石膜片形成在基体的主表面上并且以Ｒ晶面为主表面。电容腔的上表面由膜片盖住并具有形成在基体主表面上的凹部。静态电极固定在电容腔的底面上。可动电...
该专利属于株式会社山武所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社山武授权不得商用。

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