本实用新型专利技术涉及一种可消磁磁场发生装置。包括底座、端盖、极片、转盘、固定磁组件、移动磁组件以及移动组件；端盖固定于底座上，转盘转动安装于底座与端盖之间；在端盖上设有多个间隔设置、且呈环形阵列分布的安装槽，在每个安装槽的一侧、且沿着端盖的顺时针方向均设有一个通孔槽；固定磁组件固定于安装槽中，移动磁组件位于通孔槽，移动磁组件的底部与移动组件连接，移动组件与转盘连接，转动所述转盘，能够带动移动磁组件径向移动；极片通过连接件固定于端盖上，且位于移动磁组件和固定磁组件的顶部。本实用新型专利技术实现了磁场发生装置的上磁和消磁，用于在抛光区域下方形成可控的磁场，便于抛光盘的清洗。抛光盘的清洗。抛光盘的清洗。
【技术实现步骤摘要】
一种可消磁磁场发生装置
[0001]本技术属于磁流变抛光装置
，更具体地，涉及一种可消磁磁场发生装置。
技术介绍
[0002]人工智能和5G等高新技术的繁荣发展促使集成电路的设计制作面临更为严峻的挑战，而集成电路的制造基础为半导体的制造，为满足集成电路的发展需求，通常要求基片表面具有极高的表面质量和表面完整性。
[0003]因此，为了解决光学表面高效精密研磨抛光加工问题，20世纪90年代初美国Rochester大学光学中心的学者提出了一种新型光学元件加工方法—磁流变抛光技术。该方法通过磁性颗粒和磨料在磁场的作用下形成柔性抛光工具并对待抛光工件产生材料去除。由于工件与抛光工具柔性接触，所以加工后的表面残余应力小、基本无亚表面损伤并且去除过程稳定。正是由于其独特的优势，磁流变抛光已广泛应用于用于光学元件表面的最后加工工序。
[0004]现有技术中，中国专利CN200810031897.9，提出了一种用于超大口径非球面光学零件的磁流变抛光装置，该装置将工件放置于抛光轮下方，工件表面于抛光轮之间形成凹形间隙，磁场发生装置安装于抛光轮内部，在工件表面与抛光轮之间的间隙中形成磁场，抛光轮带动磁流变抛光液进入间隙形成柔性抛光垫并对工件产生抛光。但是在该方法中柔性抛光垫与工件接触面积较小属于点接触需要控制装置沿工件按一定规律轨迹扫描才能实现整个表面的加工，造成抛光效率低、加工形状精度不易保证的问题。
[0005]为提高抛光效率，中国专利CN200610132495.9基于磁流变抛光原理和集群作用机理提出了一种基于磁流变效应的平坦化研磨抛光方法及其抛光装置，工件与磁流变抛光垫之间为面接触极大的提高了抛光效率。在长时间的抛光中，为保持的稳定抛光效果需要定期更换磁流变抛光液，但是在该专利中用于产生磁场的永磁体难以拆卸，磁流变抛光液在抛光盘中难以清理，需要拆除抛光盘后进行磁流变液的更换，步骤较繁琐。
[0006]为便于工件的装夹，中国专利CN200920072087.8，公开了一种永磁吸盘，这种永磁吸盘包括面板，面板上有若干导磁极，在导磁极的下方设有若干的磁极，当吸盘处于开启状态时，磁极的磁感线穿过导磁极形成回路，对面板上的工件产生吸附力，但是这种吸盘主要用于夹紧工件，并不能够用于磁流变抛光，不能够在抛光盘中产生磁动态磁场以生产抛光垫。
技术实现思路
[0007]本技术为克服上述现有技术中的缺陷，提供一种可消磁磁场发生装置，实现磁场发生装置的上磁和消磁，用于在抛光区域下方形成可控的磁场，便于抛光盘的清洗。
[0008]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种可消磁磁场发生装置，包括底座、端盖、极片、转盘、固定磁组件、移动磁组件以及移动组件；所述的端盖固定于底
座上，所述的转盘转动安装于底座与端盖之间；在所述的端盖上设有多个间隔设置、且呈环形阵列分布的安装槽，在每个安装槽的一侧、且沿着端盖的顺时针方向所在的位置均设有一个通孔槽；所述的固定磁组件固定于安装槽中，所述的移动磁组件位于通孔槽，移动磁组件的底部与移动组件连接，所述的移动组件与转盘连接，转动所述转盘，能够带动移动磁组件径向移动；所述的极片通过连接件固定于端盖上，且位于移动磁组件和固定磁组件的顶部。在本技术中，转动转盘可以带动移动组件移动，通过移动组件将转盘的周向运动转换为移动组件的径向运动，从而带动移动磁组件径向移动。采用上述技术方案通过改变移动磁极的位置，使得移动磁组件相对于固定磁组件滑动，当移动磁组件的永磁体的N极对着固定磁组件永磁体的S极时，使得移动磁极与固定磁极的磁场线形成一个大的闭合回路，由于移动磁组件与固定磁组件相互吸引使得磁场发生装置表面的磁力消失，此时在抛光盘内磁流变抛光液呈现液体状态，可以容易的清除；调节移动磁组件的位置，使得移动磁组件永磁体的N极对着固定磁组件永磁体的N极，移动磁组件的永磁体的S极对着固定磁组件的永磁体的S极，此时磁感线从极片上方通过，磁场发生装置对外显磁性，可以在抛光盘中形成柔性抛光垫用于工件的材料去除。通过转动转盘实现磁场发生装置的上磁和消磁，操作简单，便于对抛光盘的清洗。
[0009]在其中一个实施例中，所述的固定磁组件包括多个第一永磁体，所述的第一永磁体沿着安装槽的半径方向间隔设置，且相邻两个第一永磁体之间设置有隔磁片，相邻两个第一永磁体上表面的磁性相反。
[0010]在其中一个实施例中，所述的移动磁组件包括多个第二永磁体，所述的第二永磁体也沿着安装槽的半径方向间隔设置，且相邻两个第二永磁体之间设有隔磁片，相邻第二永磁体上表面的磁性相反。
[0011]在其中一个实施例中，所述的固定磁组件和移动磁组件均为环扇形结构，所述的第一永磁体和第二永磁体均为瓦片状，所述的第二永磁体的个数比第一永磁体的个数多一个。
[0012]在其中一个实施例中，所述的连接件为极面钢环，多个极面钢环间隔设置、呈环形阵列分布固定于端盖的顶部，每个极面钢环均设有一个固定槽；所述的极片设有多个，多个极片沿着固定槽的半径方向间隔设置，相邻两个极片之间设有隔磁片。极片起到导磁作用，用于连通固定磁组件和移动磁组件。每一个固定槽分别对应一个安装槽和通孔槽，即每片极片刚好位于第一永磁体和第二永磁体的正上方，实现将第一永磁体和第二永磁体导通。
[0013]在其中一个实施例中，所述的极片为瓦片状结构，所述的极片的个数大于等于第一永磁体的个数；在所述的转盘上还设有手柄。设置手柄便于转动转盘。
[0014]在其中一个实施例中，所述的移动组件包括移动块、凸轮随动安装块、凸轮随动器，所述的移动块与移动磁组件的底部固定连接，所述的凸轮随动安装块的一端与移动块固定连接，另一端与凸轮随动器的一端连接；凸轮随动器的另一端与转盘连接。
[0015]在其中一个实施例中，在所述的转盘上设有多个间隔设置的、呈圆形阵列分布的内圈滑轨和外圈滑轨，且每个内圈滑轨和外圈滑轨的长度方向均沿着转盘的周向分布；每个内圈滑轨和外圈滑轨均包括相互连通的第一滑轨和第二滑轨，且所述的第二滑轨距离圆盘中心的距离值大于第一滑轨距离圆盘中心的距离值；所述的凸轮随动器的两端分别滑动安装于内圈滑轨和外圈滑轨中。
[0016]在其中一个实施例中，还包括滑轨盘，在所述的滑轨盘上设有多个间隔设置的、与内圈滑轨的位置一一对应设置的长条形限位孔，且所述的长条形限位孔的长度方向沿着滑轨盘的径向分布；所述的凸轮随动安装块位于长条形限位孔中，与长条形限位孔滑动连接。
[0017]在本技术中，转动转盘，凸轮随动器从第一滑轨滑动到第二滑轨，从而驱动凸轮随动安装块从长条形限位孔的一端滑动到另一端，实现将转盘的周向运动转变为凸轮随动安装块的径向移动，即实现移动磁组件的径向移动。
[0018]在其中一个实施例中，所述的隔磁片由非导磁材料构成，所述的极片由导磁材料构成。
[0019]与现有技术相比，有益效果是：本技术提供的一种于磁流变抛光的可消磁磁场发生装置，不仅可以均匀的提供大面积抛光所需的磁场，而且还可以通过手本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可消磁磁场发生装置，其特征在于，包括底座(1)、端盖(2)、极片(3)、转盘(4)、固定磁组件(5)、移动磁组件(6)以及移动组件；所述的端盖(2)固定于底座(1)上，所述的转盘(4)转动安装于底座(1)与端盖(2)之间；在所述的端盖(2)上设有多个间隔设置、且呈环形阵列分布的安装槽(7)，在每个安装槽(7)的一侧、且沿着端盖(2)的顺时针方向所在的位置均设有一个通孔槽(8)中；所述的固定磁组件(5)固定于安装槽(7)中，所述的移动磁组件(6)位于通孔槽(8)，移动磁组件(6)的底部与移动组件连接，所述的移动组件与转盘(4)连接，转动所述转盘(4)能够带动移动磁组件(6)径向移动；所述的极片(3)通过连接件固定于端盖(2)上，且位于移动磁组件(6)和固定磁组件(5)的顶部。2.根据权利要求1所述的可消磁磁场发生装置，其特征在于，所述的固定磁组件(5)包括多个第一永磁体(9)，所述的第一永磁体(9)沿着安装槽(7)的半径方向间隔设置，且相邻两个第一永磁体(9)之间设置有隔磁片(10)，相邻两个第一永磁体(9)上表面的磁性相反。3.根据权利要求2所述的可消磁磁场发生装置，其特征在于，所述的移动磁组件(6)包括多个第二永磁体(11)，所述的第二永磁体(11)沿着安装槽(7)的半径方向间隔设置，且相邻两个第二永磁体(11)之间设有隔磁片(10)，相邻两个第二永磁体(11)上表面的磁性相反。4.根据权利要求3所述的可消磁磁场发生装置，其特征在于，所述的固定磁组件(5)和移动磁组件(6)均为环扇形结构，所述的第一永磁体(9)和第二永磁体(11)均为瓦片状，所述的第二永磁体(11)的个数比第一永磁体(9)的个数多一个。5.根据权利要求4所述的可消磁磁场发生装置，其特征在于，所述的连接件为极面钢环(12)，多个极面钢环(12)间隔设置、呈环形阵列分布固定于端盖(2)的顶部，每个极面钢环(12)均设有一个固定槽(...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡志航，潘继生，阎秋生，陈海阳，
申请(专利权)人：广东纳诺格莱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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