【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材自动加工设备
[0001]本技术涉及靶材加工设备领域，尤其涉及一种平面靶材自动加工设备。
技术介绍
[0002]平面靶材主要应用于LED、OLED等电子行业，由于靶材溅射的特殊需求，对表面质量要求很高，为了表面的光滑程度达到使用要求，人们通常需要对其表面进行抛光操作。
[0003]专利号CN111300185A公开了一种具有翻转功能的机械板件打磨装置，通过卡板对板件进行固定，卡板通过翻转机构带动板件进行翻转，打磨机构分别对板件的两面进行打磨加工，提高打磨效果，该装置虽然能够对板材进行双面打磨加工，但是一次只能够对同一块板件进行打磨加工，打磨加工完成后才可以更换下一块板材进行打磨加工，加工效率较为低下，因此解决这个问题就变得很重要了。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是提供一种平面靶材自动加工设备，通过将靶材插接固定在转动架上，靶材通过转动架转动平行与夹紧机构支架，夹紧机构对靶材进行夹紧固定，中间的打磨机构同时多两侧夹紧机构支架上固定的靶材进行打磨，提高了打磨加工效率，解决了单片板材打磨效
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种平面靶材自动加工设备，包括加工支架（1），加工支架（1）内左右两侧对称设有夹紧机构支架（2），加工支架（1）中间上方设有打磨机构，其特征在于，夹紧机构支架（2）采用门形结构，左右两侧的夹紧机构支架（2）呈V字型连接设置，夹紧机构支架（2）上前后两侧都设有夹紧机构，夹紧机构支架（2）连接处之间转动连接有转动架（3），转动架（3）后端连接有伺服电机（4）进行转动，转动架（3）表面等距环绕设置有四个卡接槽（5），靶材通过卡接在卡接槽（5）内固定在转动架（3）上。2.如权利要求1所述的一种平面靶材自动加工设备，其特征在于：所述打磨机构包括打磨支架（6）和连接架（8），打磨支架（6）下端通过升降气缸（7）连接有连接架（8），连接架（8）上安装有打磨机（9）。3.如权利要求2所述的一种平面靶材自动加工设备，其特征在于：所述连接架（8）为三角形结构，连接架（8）左右两侧斜边平行于夹紧机构支架（2），连接架（8）左...
【专利技术属性】
技术研发人员：石煜，曾墩风，王志强，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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