具有可熔焊区和可细丝压焊区的金属再分布层制造技术

本发明专利技术提供一种再分布金属化方案，除现有压焊区（１０２）外，还组合焊块（１２２）和细丝压焊区（１３２），以强化半导体器件的连接性，尤其是倒装芯片应用中的连接性。其制作方法包括在再分布淀积步骤期间形成附加压焊区。再分布层用的金属（２０４、２０６、２０８）提供形成焊块用的可熔焊表面和细丝压焊用的可压焊表面。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般涉及半导体器件，尤其涉及金属再分布层。
技术介绍
现代IC应用通常对I/O引出线要求高。然而，引出线高要求给传统细丝压焊或TAB IC组件提出问题。细丝压焊和TAB封装要求在半导体芯片外围配置芯片压焊区。由于处理工艺的改进不断减小器件几何尺寸，尽管I/O总数一直升高以适应功能的增多，芯片尺寸却某种程度上保持不变。因此，细丝压焊(以下简称丝焊)技术存在最小压焊间距的极限。焊块阵的开发通过利用芯片本身的表面积提供接点区，显著提高半导体器件的引出线性能。此引出线方案的关键要素是采用金属再分布层。这是配置在已完工半导体芯片顶上的连接层。形成从该连接层到配置在芯片外围附近的底下芯片压焊区的电连接。该连接用于从外围在整个芯片表面区再分布压焊区，因而可增多芯片外的I/O引出线。随着引出线要求继续增多，需要组合焊块形成法与丝焊法，以提供更高的引出线性能。然而，各法所用材料不兼容。焊块适用的材料机械粘着性差，不适合用于丝焊。例如铜是高级可熔焊材料，但选作丝焊则欠妥。其原因在于铜容易形成氧化层，呈现压焊性能差。虽然能在其中提供进行适当压焊的环境，但其费用昂贵得付不起，因而从未开发此工艺。同样，展现丝焊性能好的材料一般在熔焊时欠佳。例如，铝是压焊的好材料。然而，为了达到熔焊接点牢固，必须去除铝上形成的氧化层。去除氧化层用的腐蚀剂激烈侵蚀，除氧化层外，还会腐蚀底铝部分。虽然采用块铝时可容许这种过腐蚀，但对薄膜铝结构则因开始铝就很少，存在问题。因此，需要一种能适应焊块形成和丝焊的再分布金属化。希望有一种方法，妥善综合现有再分布金属化法，而且提供焊块和丝焊结构。专利
技术实现思路
本专利技术的再分布金属化方案除提供可用于重新定位半导体芯片上存在的压焊区的新丝焊区，还包含常规焊块。此方案改善器件的连接性选择，尤其是倒装芯片的应用中。根据本专利技术的再分布金属化的制作包括淀积钝化层和按需形成底压焊区开口。然后，在钝化层顶上淀积了金属层加以覆盖，并进行蚀刻，以形成需要的再分布线迹。同时，还对附加丝焊区制作图案。淀积第2钝化层，并且在要形成焊块的位置和附加丝焊区对应的部位进行蚀刻，以暴露底金属化顶上的区域。接着，形成焊块。一实施例中，接着进行蚀刻步骤，在附加丝焊区的位置暴露了三金属层的底金属层。附图说明图1是典型IC器件俯视图，示出底丝焊区和金属再分布层。图2A～2I示出按照本专利技术产生再分布层的处理步骤。图3A～3C示出处理阶段中间结果的立体图，以便更好理解本专利技术的上述各方面。实施专利技术的较佳方式参考图1，本专利技术针对一种包含在其再分布层组合焊块和丝焊区的再分布金属化的方案。半导体器件100包含底基片，该基片具有其上形成的多个丝焊区102(用虚线表示)。金属层承载具有与底丝焊区102电接触的第1端的多条线迹142～148。沿这些线迹配置焊块122和附加丝焊区132～138。焊块和附加丝焊区借助这些线迹在半导体器件表面上有效“再分布”，因而提供较多的引出线总数。通过在再分布层将焊块安排成焊块阵达到较高的I/O引脚组装密度。附加丝焊区132～138允许在原压焊区102的位置以外的位置进行基片与IC组件之间的丝焊。下文将讨论，这在堆叠芯片配置中特别有利。图2A～2I示出本专利技术的处理步骤。这些图从图1中线2-2剖切而得，示出如何形成再分布金属化。图2A以基本完工的半导体晶片104开始。会理解，该晶片包含所需结构基片层以及充分规定其谋求功能的电路的关联金属和绝缘层，其中包括连接IC组件需要的丝焊I/O焊区102。图2A中，在晶片104的上表面淀积介电材料的钝化层202。可用任何一种绝缘材料，例如，层202采用光可限定的苯并环丁烷(BCB)。采用公知的光刻制版和蚀刻技术形成下降到底丝焊区212的通路孔212(图2C)。接着，在蚀刻的钝化层202上淀积3层金属结构240加以覆盖。通常用每次喷镀一层的喷镀法达到这点。首先，喷镀铝层204。其次，用镍靶在铝层上喷镀淀积镍层206。最后，提供铜靶，在镍层上淀积铜层208。铝层用作粘着层，而镍层用作铜层和铝层之间的阻档层。然后，对3金属层240进行光刻制版处理和蚀刻，以规定包含再分布层的线迹。又，根据本专利技术，在3金属层规定附加丝焊区132～138。图2D中，用虚线指示线迹142和附加焊区132。图3A的立体图较清楚地说明本专利技术的这点。图3A中的说明示出在钝化层202的顶上形成线迹142，其第1端通过通路孔212与底焊区102电接触。线迹142的另一端终接也形成在钝化层上的新丝焊区132。然后，在蚀刻的3金属层240上淀积第2钝化层222(图2E)，以提供对水分和污染物的防护密封，并用作防擦伤保护层。然后，蚀刻掉第2钝化层222，以开放通过钝化层到3金属层的焊块点214。此外，通过钝化层到3金属层还形成焊区开口216。该焊区开口与3金属层上形成的丝焊区132重合。此步骤形成的开口214和216(由图2F所示)使3金属层的最上层(即铜层208)表面暴露。图3B的立体图更清楚地示出此处理阶段的晶片。图中，用虚线示出线迹142和附加丝焊区132，指明它们在绝缘层222下方。还示出开口21和216，使底铜层208暴露。再参考图2G，焊块点214用焊料和适合的阻挡金属填充，用公知的受控塌片构造法(C4法)或其他球栅阵处理法形成可靠的焊块122。回想铜很适合用于形成焊块，因而焊块122具有对底再分布金属化的强机械结合。再回想由于铜的高氧化率，铜用作压焊欠佳，而铝是可压焊金属。因此，根据本专利技术，形成焊块的晶片受到后续蚀刻步骤的处理，去除通过开口216暴露的铜层和镍层。用公知的任何一种化学湿蚀刻法去除铝层和镍层，能达到这点。图2H中示出该蚀刻步骤的结果，其中丝焊区132目前由单一铝层组成。在后续的丝焊操作中对铝层的表面压焊细丝(例如图2I中的细丝230)。以上较佳实施例讨论铜—镍—铝3金属层的使用。可用铝以外的金属，包括钯和铂，作为可压焊层。如果金属的最上层为金，也可达到本专利技术焊块和细丝焊区布局。因此，本专利技术的另一实施例中，采用金。于是，对图2D而言，能在钝化层202上喷镀最底下的导电金属粘着层204。典型的粘着金属包括铝和钛钨合金(TiW)。如上文那样，蚀刻金属层，形成包含再分布层和附加丝焊区132～138的期望线迹142～148。接着，淀积镍层206后，淀积金层208。然后，如图2E和2F所示，淀积第2钝化层222并加以蚀刻，以形成开口214和216。最后，形成焊块122(图2G)。不需要图2H所示的后续金属蚀刻步骤。其原因在于金展现适合用于丝焊的压焊性能。因此，保持金的最上层。然而，要注意，金熔焊欠佳，因为熔焊操作中金滤入焊料。本专利技术的此实施例中，3金属层为金—镍—粘着金属(Al或TiW)，熔焊操作中金滤入焊料时，焊料会遇到镍层。由于镍是可熔焊金属，焊块会可靠地附着在焊块焊区区域。因此，金—镍层的使用同时提供可压焊和可熔焊的层。返回参考图1，可有各种附加丝焊区的应用。附加丝焊区可仅配置在其相应底丝焊区的上方。因而，丝焊区134位于丝焊区102A上方。底丝焊区102A不需要重新定位时，用此结构，倒装芯片结构中，出现另一种应用。可形成从上芯片到下芯片上丝焊区的连接，使信号输出到外引脚。因此，焊块126连到上芯片上重合本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成电路，其特征在于包含： 具有第１表面和配置在第１表面周围的第一多个细丝压焊区的半导体芯片； 配置在第１表面上的金属化层，该再分布层具有多条导电再分布线迹，其中至少一些线迹具有与第１细丝压焊区电相连的第１端； 形成至少一些再分布线迹图案的第２多个细丝压焊区； 配置在再分布层顶上的绝缘层，该绝缘层具有沿再分布线迹穿通到第１位置的第１开口和穿通到第２细丝压焊区的第２开口； 沿再分布线迹通过第１开口配置到第１位置的多个焊块； 通过第２开口压焊到第２细丝压焊区的多条压焊细丝。

【技术特征摘要】
US 1999-11-5 09/434,7111.一种集成电路，其特征在于包含具有第1表面和配置在第1表面周围的第一多个细丝压焊区的半导体芯片；配置在第1表面上的金属化层，该再分布层具有多条导电再分布线迹，其中至少一些线迹具有与第1细丝压焊区电相连的第1端；形成至少一些再分布线迹图案的第2多个细丝压焊区；配置在再分布层顶上的绝缘层，该绝缘层具有沿再分布线迹穿通到第1位置的第1开口和穿通到第2细丝压焊区的第2开口；沿再分布线迹通过第1开口配置到第1位置的多个焊块；通过第2开口压焊到第2细丝压焊区的多条压焊细丝。2.如权利要求1所述的集成电路，其特征在于，再分布线迹包含配置在第1表面上的底金属层、配置在底金属层顶上的中间金属层和配置在中间金属层顶上的上金属层；其中焊块直接连到上金属层，再分布线迹在第2细丝压焊区内蚀刻到底金属层，从而压焊细丝直接连到底金属层。3.如权利要求1所述的集成电路，其特征在于，所述底金属层是铝、钯和铂中的一种。4.如权利要求1所述的集成电路，其特征在于，所述再分布线迹包含最底下的铝层、配置在铝层顶上的镍层和配置在镍层顶上的铜层；其中焊块直接连到铜层，暴露第2细丝压焊区的铝层，从而压焊细丝直接连到铝层。5.如权利要求1所述的集成电路，其特征在于，所述再分布线迹包含多金属膜层，最顶上的第1层为金，第2层为镍。6.如权利要求5所述的集成电路，其特征在于，所述再分布线迹还包含第3最底粘着金属层，其金属选自包含铝、钛和钛钨的组。7.一种在具有配置在第1表面的第1多个细丝压焊区的半导体器件中产生焊块区和第2多个可细丝压焊区的方法，其特征在于包含以下步骤在第1表面顶上淀积绝缘层；形成通过绝缘层到达第1细丝压焊区的通路孔；在绝缘层上淀积金属层的覆盖层，从而提供通过通路孔到第1细丝压焊区的电通道；金属层上制作图案，形成再分布线迹和第2细丝压焊区，至少有些再分布线迹具有借助通路孔到第1细丝压焊区的电通道；在金属层顶上淀积介电材料覆盖层；形成通过该覆盖层到金属层的第1和第2开口，第1开口与再分布线迹重合，第2开口与第2细丝压焊区重合；通过第1开口在再分布线迹中形成焊块。8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述淀积金属的步骤是淀积多个不同金属层的步骤；形...

【专利技术属性】
技术研发人员：KM兰，JA科瓦茨，
申请(专利权)人：爱特梅尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]