功率模块及其制造方法技术

技术编号:32141194 阅读:37 留言:0更新日期:2022-02-08 14:36
本发明专利技术获得一种能缩短功率模块的制造时间的功率模块的制造方法。该功率模块的制造方法包括:子组件配置工序,将具有第1电极、半导体元件和第2电极的子组件经由接合材料放置于散热器;以及传递模塑工序,在子组件配置工序之后,在被散热器和成形模具所包围的区域中配置有第1电极、半导体元件和第2电极内侧部分的状态下,将热可塑性的树脂注入到区域中,在传递模塑工序中,通过树脂使子组件经由接合材料与散热器相接合。与散热器相接合。与散热器相接合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】功率模块及其制造方法


[0001]本专利技术涉及功率模块及其制造方法。

技术介绍

[0002]以往,已知一种功率模块,在依次堆叠有第1基板、半导体基板和第2基板的子组件周围设有树脂部,第1基板经由接合材料与散热器相接合。功率模块通过包括传递模塑工序和在传递模塑工序之后进行的散热器接合工序在内的功率模块的制造方法来制造。传递模塑工序中,在成形模具的内侧配置有子组件的状态下,将热可塑性的树脂注入到成形模具的内侧。散热器工序中,第1基板经由接合材料与散热器相接合(例如,参照专利文献1)。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1:日本专利第6328298号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0004]然而,在传递模塑工序之后以及在散热器接合工序之后,分别需要固化工序。由此,存在功率模块的制造时间变长的问题。
[0005]本专利技术是为了解决上述问题而完成的,其目的在于提供一种能缩短功率模块的制造时间的功率模块及其制造方法。用于解决技术问题的技术手段
[0006]本专利技术所涉及的功率模块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种功率模块,其特征在于,包括:子组件,该子组件具有第1电极、接合到所述第1电极的半导体元件以及接合到所述半导体元件的第2电极;散热器,该散热器经由接合材料接合有所述子组件;以及树脂部,该树脂部与所述第1电极、所述半导体元件、接合到所述半导体元件的所述第2电极的部分即第2电极内侧部分以及所述散热器一体成形。2.如权利要求1所述的功率模块,其特征在于,所述散热器具有平板部,该平板部形成有经由所述接合材料来放置所述子组件的第1表面,所述树脂部与所述散热器中的所述第1表面一体成形。3.如权利要求1所述的功率模块,其特征在于,所述散热器具有平板部,该平板部形成有经由所述接合材料来放置所述子组件的第1表面,所述树脂部与所述散热器中的所述第1表面和侧面一体成形。4.如权利要求1至3中任一项所述的功率模块,其特征在于,所述接合材料是半固化后的热固化性的树脂。5.如权利要求1至4中任一项所述的功率模块,其特征在于,所述接合材料的形状为膜形状或片材形状。6.如权利要求1至5中任一项所述的功率模块,其特征在于,所述第2电极和所述半导体元件通过引线键合彼此相接合。7.如权利要求1至5中任一项所述的功率模块,其特征在于,所述第2电极和所述半导体元件通过焊料彼此相接合。8.如权利要求1至7中任一项所述的功率模块,其特征在于,所述接合材料由烧结材料构成。9.如权利要求1至8中任一项所述的功率模块,其特征在于,还具备与所述散热器相接合的水套。10.如权利要求9所述的功率模块,其特征在于,所述水套具有:形成有多个贯通孔的框架;以及与所述框架相接合的桶部,在多个所述散热器逐一插入...

【专利技术属性】
技术研发人员:谷昌和
申请(专利权)人:三菱电机株式会社
类型:发明
国别省市:

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