【技术实现步骤摘要】
一种单轨硅片收篮机
[0001]本专利技术涉及晶圆收篮
，具体为一种单轨硅片收篮机。
技术介绍
[0002]晶圆在涂源完成需要进行分片收篮，需要将原盛装篮中的硅片装入另外的适用于分片设备的篮具内，现有技术中，晶圆的分片、收篮均是采用人工进行，人工搬运、分片以及对晶圆的收篮过程中，容易发生晶圆与工装碰撞、晶圆与晶圆之间碰撞，从而使晶圆产生缺角或破片的情况，会导致碎片率上升，影响半导体晶圆的生产良率；在人工进行重装的过程中，不仅用工数量多，人工成本高，而且装篮操作费时费力，长时间的分拣操作，易造成作业人员疲劳，同时也浪费时间，装篮效率低，造成硅片的生产效率和合格率下降。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种单轨硅片收篮机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0005]一种单轨硅片收篮机，其包括机架，机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构和装篮组件，输送机构包括传输机、支撑腿、收料盒、挡料杆、挡料气缸、第一电机、...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单轨硅片收篮机，其包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的上方设置有放料机构(2)、输送机构(3)、搬运机构(4)和装篮组件(5)，所述输送机构(3)包括传输机(31)、支撑腿(32)、收料盒(33)、挡料杆(34)、挡料气缸(35)、第一电机(36)、推料气缸(37)和推料块(38)，传输机(31)固定在支撑腿(32)上且通过第一电机(36)驱动，传输机(31)中段的外侧倾斜设置有收料盒(33)，所述挡料杆(34)和挡料气缸(35)相连接，挡料气缸(35)固定在支撑腿(32)上且与收料盒(33)相对，推料气缸(37)和推料块(38)设置在传输机(31)传输终点的上方，所述推料块(38)固定在推料气缸(37)的活塞杆上；所述装篮组件(5)包括圆形的旋转台(51)、篮具组件(52)、调节槽(53)和分度盘(54)，所述旋转台(51)下端的圆心处固定在分度盘(54)的输出端，其上端放置有若干个成圆形阵列分布的篮具组件(52)，所述旋转台(51)上还开设有与篮具组件(52)数量相同的调节槽(53)，所述调节槽(53)设置在篮具组件(52)的下方；所述旋转台(51)的下方还设置有篮具顶升模组(8)，篮具顶升模组(8)用于调节篮具组件(52)的高度；所述放料机构(2)用于储放晶圆(7)，其设置在传输机(31)传输起点的一侧，所述搬运机构(4)用于将晶圆(7)从放料机构(2)搬运到传输机(31)的传输起点上，所述传输机(31)将晶圆(7)输送到传输终点并通过推料气缸(37)、推料块(38)以及篮具顶升模组(8)将晶圆(7)放入篮具组件(52)内。2.根据权利要求1所述的一种单轨硅片收篮机，其特征在于：所述篮具顶升模组(8)包括第一安装板(81)、第二安装板(82)、固定杆(83)、第二电机(84)、螺杆(85)、螺纹座(86)、顶升杆(87)、顶升块(88)和电磁铁(89)，第二安装板(82)和第一安装板(81)上下平行设置，其之间通过固定杆(83)相连接，所述第一安装板(81)的下端固定安装有第二电机(84)，所述第二电机(84)的电机轴伸出第一安装板(81)且与螺杆(85)固定连接，所述螺杆(85)上安装有螺纹座(86)，所述螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：高波，
申请(专利权)人：苏州康沃斯智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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