下载一种单轨硅片收篮机的技术资料

文档序号:32134612

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本发明公开了一种带打标的硅片收篮机,其包括机架,机架的上方设置有放料机构、输送机构、搬运机构和装篮组件,放料机构用于储放晶圆,其设置在传输机传输起点的一侧,搬运机构用于将晶圆从放料机构搬运到传输机的传输起点上,传输机将晶圆输送到传输终点并通...
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