一种物料传输装置及新型固晶流水线制造方法及图纸

技术编号:32086396 阅读:11 留言:0更新日期:2022-01-29 18:08
本实用新型专利技术提供了一种物料传输装置及新型固晶流水线,该新型固晶流水线包括固晶设备、以及所述物料传输装置,所述固晶设备数量与所述载台数量相同,每个所述固晶设备对应一个所述载台,所述物料为目标基板,所述固晶设备能向被搬运至所述载台上的目标基板上固晶。本实用新型专利技术的有益效果是:本实用新型专利技术的新型固晶流水线采用固晶设备和物料传输装置串行的排布方式,固晶设备在上,物料传输装置在下,减少了横向的宽度,利于对设备的维护,并且减少了目标基板的搬运距离,提高固晶效率。提高固晶效率。提高固晶效率。

【技术实现步骤摘要】
一种物料传输装置及新型固晶流水线


[0001]本技术涉及固晶
,尤其涉及一种物料传输装置及新型固晶流水线。

技术介绍

[0002]固晶机是LED封装生产线中的关键设备,其作用是将晶圆上的LED芯片转移安装至LED板(例如Mini LED显示面板或Micro LED显示面板)上的LED芯片安装位置。通常,在进行固晶工艺时,以多台固晶机组成固晶流水线,进行流水线作业,以提高工艺效率。
[0003]现有的用于LED封装生产线的固晶流水线一般在一个传送带的两侧设置有多组固晶机,其中每组固晶机用于将一种颜色的LED芯片转移至LED板上。如图1所示,在传送带1的两侧分别设置了3组固晶机,每组具有2台固晶机。具体地,该三组固晶机分别为用于将红色LED芯片转移到LED板上的固晶机2、用于将绿色LED芯片转移到LED板上的固晶机3、用于将蓝色LED芯片转移到LED板上的固晶机4。
[0004]在上述固晶流水线进行作业时,在传送带1上传送的LED板首先到达固晶机2处,此时,通过搬运机构将LED板从传送带1上将LED板搬运到固晶机2的载台上,之后,固晶机2将红色LED芯片转移安装到LED板上;其后,将完成红色LED芯片安装的LED板再次搬运到传送带1上;传送带1将其传送到固晶机3处,此时,通过另一个搬运机构将LED板从传送带1上搬运到固晶机3的载台上,之后,固晶机3将绿色LED芯片转移安装到LED板上;其后,将完成绿色LED芯片安装的LED板再次搬运到传送带1上;传送带1将其传送到固晶机4处,此时,通过另一个搬运机构将LED板从传送带1上搬运到固晶机4的载台上,之后,固晶机4将蓝色LED芯片转移安装到LED板上;其后,将完成蓝色LED芯片安装的LED板再次搬运到传送带1上,由传送带1将LED板传送到进行下一个工序的位置。
[0005]上述现有的固晶流水线存在以下技术问题:
[0006]在上述固晶流水线中,如果要完成红色LED芯片、绿色LED芯片和蓝色LED芯片的转移安装,需要将LED板在传送带1和固晶机之间进行多次搬运,每次搬运过程还需要对基板进行对位等操作。一方面,耗费了大量的时间用于LED芯片的转移安装之外的环节,降低了工艺效率;另一方面,工艺环节过多,也容易出现工艺错误。
[0007]为解决上述现有的固晶流水线在进行固晶工艺时需要多次搬运基板,影响工艺效率,也容易出现工艺错误的技术问题,如图2所示,本公司之前申请了一项专利,专利名称为“固晶流水线”,该固晶流水线包括基板传送机构10、搬运机构(图中未示出)和固晶设备20。所述基板传送机构10用于传送待要固晶的目标基板。固晶设备20的数量为多个,且多个固晶设备20沿基板传送机构10的传送方向依次分布在基板传送机构10的侧方。搬运机构用于在基板传送机构10和每个固晶设备20之间搬运目标基板;每个固晶设备20能向被搬运至该固晶设备20上的目标基板上转移安装多种晶片。在进行固晶工艺时,首先,由基板传送机构10将目标基板传送至于固晶设备20对应的位置,其后,由搬运机构将目标基板从基板传送机构10搬运到固晶设备20上,其后,由固晶设备20向目标基板上转移安装多种晶片,其后,再由搬运机构将转移安装了多种晶片的目标基板从固晶设备20搬运到基板传送机构10上。
在上述过程中,只需要进行一次搬运过程(含目标基板从基板传送机构10至固晶设备20,以及从固晶设备20再次至基板传送机构10),而且在由搬运导致的位置转移过程中,只需要进行一次对位(即在目标基板从基板传送机构10至固晶设备20后,检测目标基板的位置是否准确而未偏移)。所以,该固晶流水线只需要一次搬运过程,减少了固晶工艺过程中的非晶片转移安装环节的时间消耗,可以提高工艺效率;同时,由于省去了在多个固晶设备之间的多次搬运的工艺环节,也相应减少了工艺错误出现的概率。
[0008]参看图2,多个固晶设备20分布在基板传送机构10的两侧,这样设置可以增加与基板传送机构10匹配的进行固晶工艺的固晶设备20的数量,由更多的固晶设备20同时进行固晶工艺,从而可以提高固晶的工艺效率。具体地,在进行固晶的工艺时,基板传送机构10可以分别传送多个目标基板,分别传送至与位于基板传送机构10两侧的多个固晶设备20对应的位置,由对应的搬运机构将目标基板从基板传送机构10搬运到固晶设备20上,以及在固晶设备20完成晶片的转移安装后,将目标基板从固晶设备20再搬运到基板传送机构10。
[0009]基板传送机构10上传送的目标基板上的每个晶片位单元组包括n种晶片位;n≥2,且n为整数;每个固晶设备20能向被搬运至该固晶设备20上的目标基板转移安装n种晶片,且该n种晶片与目标基板上每个晶片位单元组中的n种晶片位一一对应。具体地,基板传送机构10上传送的目标基板上的每个晶片位单元组包括红色晶片位、绿色晶片位和蓝色晶片位;每个固晶设备20能向被搬运至该固晶设备20上的目标基板转移安装三种晶片,且该三种晶片分别为红色LED芯片、绿色LED芯片和蓝色LED芯片。只需要在一台固晶设备20中就可以完成向目标基板上转移安装红色LED芯片、绿色LED芯片和蓝色LED芯片的工作,也就无需在将目标基板藉由基板传送机构10和搬运机构在多个固晶设备20之间进行搬运和传送。
[0010]具体地,参看图3,固晶设备20包括载台(图中未示出)、晶圆盘21、摆臂22、图像采集装置24。其中,载台用于承载目标基板(图中未示出),且载台上设置有第一驱动机构(图中未示出),第一驱动机构用于驱动放置在载台上的目标基板移动,使目标基板上的一个晶片位单元组包含的各晶片位移动至固晶工位处。具体地,第一驱动机构可以驱动目标基板移动,使目标基板上的不同晶片位单元组处于固晶工位处。
[0011]本公司之前申请的专利“固晶流水线”虽然解决了现有技术的技术问题,但是,在该固晶流水线中,由于固晶设备20分布在基板传送机构10的两侧,搬运机构在基板传送机构10和固晶设备20之间搬运目标基板时,搬运距离过大,影响固晶效率。

技术实现思路

[0012]本技术提供了一种物料传输装置,包括物料传送搬运机构、载台,所述载台上安装有载台传送带,所述物料传送搬运机构包括物料传送机构和升降台,所述物料传送机构用于传送物料,所述升降台位于所述物料传送机构一侧,所述升降台用于在所述物料传送机构和所述载台之间搬运物料,所述载台为多个,所述物料传送搬运机构数量和所述载台数量相同,每个所述物料传送机构位于相应的载台下方,多个所述物料传送机构位于同一条直线上,其中一个物料传送搬运机构的物料传送机构与相邻的另一个物料传送搬运机构的升降台相邻,所述升降台包括升降机构、以及安装在所述升降机构上的传送带;
[0013]所述升降台升起至顶部时,所述升降台与所述载台传送带持平,实现将物料在所述升降台和所述载台之间的搬运;所述升降台下降至底部时,所述升降台与所述物料传送
机构持平,经过所述升降台将物料运送至所述物料传送机构上。
[0014]作为本技术的进一步改进,所述物料传本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物料传输装置,其特征在于:包括物料传送搬运机构、载台(205),所述载台(205)上安装有载台传送带,所述物料传送搬运机构包括物料传送机构(100)和升降台(101),所述物料传送机构(100)用于传送物料,所述升降台(101)位于所述物料传送机构(100)一侧,所述升降台(101)用于在所述物料传送机构(100)和所述载台(205)之间搬运物料,所述载台(205)为多个,所述物料传送搬运机构数量和所述载台(205)数量相同,每个所述物料传送机构(100)位于相应的载台(205)下方,多个所述物料传送机构(100)位于同一条直线上,其中一个物料传送搬运机构的物料传送机构(100)与相邻的另一个物料传送搬运机构的升降台(101)相邻,所述升降台(101)包括升降机构、以及安装在所述升降机构上的传送带;所述升降台(101)升起至顶部时,所述升降台(101)与所述载台传送带持平,实现将物料在所述升降台(101)和所述载台(205)之间的搬运;所述升降台(101)下降至底部时,所述升降台(101)与所述物料传送机构(100)持平,经过所述升降台(101)将物料运送至所述物料传送机构(100)上。2.根据权利要求1所述的物料传输装置,其特征在于:所述物料传送机构(100)为物料传送带。3.一种新型固晶流水线,其特征在于:包括固晶设备、以及权利要求1至2任一项所述物料传输装置,所述固晶设备数量与所述载台(205)数量相同,每个所述固晶设备对应一个所述载台(205),所述物料为目标基板,所述固晶设备能向被搬运至所述载台(205)上的目标基板上固晶。4.根据权利要求3所述的新型固晶流水线,其特征在于:所述固晶设备能向被搬运至所述载台(205)上的目标基板上转移安装多种晶片,所述目标基板上的每个晶片位单元组包括n种晶片位;n≥2,且n为整数;每个固晶设备能向被搬运至该所述载台(205)上的目标基板转移安装n种晶片,且该n种晶片与目标基板上每个晶片位单元组中的n种晶片位一一对应。5.根据权利要求4所述的新型固晶流水线,其特征在于:所述目标基板上的每个晶片位单元组包括红色晶片位、绿色晶片位和蓝色晶片位,每个固晶设备能向被搬运至所述固晶设备对应的载台(205)上的目标基板转移安装三种晶片,且该三种晶片分别为红色LED芯片、绿色LED芯片和蓝色LED芯片。6.根据权利要求5所述的新型固晶流水线...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈平曾逸
申请(专利权)人:深圳市卓兴半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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