冷却装置及恒温装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及冷却装置，该冷却装置（１）除了具有压缩装置（２）、凝缩装置（３）、膨胀阀（５）和蒸发装置（６）外，还设置有电动阀（１０），将它们用配管依次连接构成冷冻回路。还设置有加热部（１１）和旁通通路（１２）。膨胀阀（５）的感温筒（１３）设置在加热部（１１）和电动阀（１０）之间，用来检测从加热部（１１）出来到电动阀（１０）之间的制冷剂温度。制冷剂在从蒸发装置（６）出去以前维持气－液混合状态，所以蒸发装置（６）内的制冷剂温度无论在哪个部位都等于制冷剂的饱和温度，因此温度的差别极小。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及冷却装置，特别涉及半导体和电子器件等的制造装置、检查装置、评价试验装置等需要精密的恒温环境的制造装置和检查装置所采用的冷却装置。在冷冻回路中，气体状态的制冷剂在压缩装置中被压缩并送入冷凝装置，制冷剂在冷凝装置中被取走热量变成液态或气-液混合状态。然后制冷剂经过膨胀送入蒸发装置。在蒸发装置内，处于上述液态或气-液混合状态的制冷剂蒸发，由潜热从负荷中夺走热量。从负荷中接收了热量的制冷剂气化并返回进入压缩装置。在此，返回压缩装置的制冷剂，为了防止发生液体压缩，希望处于完全气化的状态。在现有技术中，液态或气-液混合状态的制冷剂在蒸发装置内设计成全量气化的样子。也就是说，在现有技术的冷却装置中由膨胀阀等控制，使得蒸发装置出口侧的温度高于在冷冻回路中制冷剂的饱和温度。更具体说，由膨胀阀进行控制，使得蒸发装置出口侧的冷剂的过热度一定。作为使制冷剂在完全气化的状态下返回压缩装置的对策，提出了在特开昭61-89456号中记载的方法。在特开昭61-89456号中记载的对策，是使蒸发装置和压缩装置之间的低压侧的制冷剂与由压缩装置到膨胀阀之间的高压侧进行热交换。特开昭61-89456号中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种冷却装置，具有压缩装置、凝缩装置、膨胀设备和蒸发装置，将它们用配管依次连接构成冷冻回路，在压缩装置中将处于气体状态的制冷剂压缩并送入凝缩装置，在凝缩装置中从制冷剂吸取热量使制冷剂变成液态或气－液混合状态，经膨胀设备送入蒸发装置，再将制冷剂返回压缩装置，其特征在于，在蒸发装置和压缩装置之间设置有加热部，制冷剂在直到蒸发装置的出口以前维持气－液混合状态，其在加热部得到热量后全部气化。

【技术特征摘要】
JP 2002-1-10 2002-0039111.一种冷却装置，具有压缩装置、凝缩装置、膨胀设备和蒸发装置，将它们用配管依次连接构成冷冻回路，在压缩装置中将处于气体状态的制冷剂压缩并送入凝缩装置，在凝缩装置中从制冷剂吸取热量使制冷剂变成液态或气-液混合状态，经膨胀设备送入蒸发装置，再将制冷剂返回压缩装置，其特征在于，在蒸发装置和压缩装置之间设置有加热部，制冷剂在直到蒸发装置的出口以前维持气-液混合状态，其在加热部得到热量后全部气化。2.一种冷却装置，具有压缩装置、凝缩装置、膨胀设备和蒸发装置，将它们用配管依次连接构成冷冻回路，在压缩装置中将处于气体状态的制冷剂压缩并送入凝缩装置，在凝缩装置中从制冷剂吸取热量、使制冷剂变成液态或气-液混合状态，经膨胀设备送入蒸发装置，再将制冷剂返回压缩装置，其特征在于，可控制膨胀设备的开度，在蒸发装置和压缩装置之间设置有加热部，基于加热部下游的温度对所述膨胀设备进行控制。3.如权利要求1或2所述的冷却装置，其特征在于，加热部以从压缩装置到膨胀设备的高压侧的制冷剂作为热源。4.如权利要求1或2所述的冷却装置，其特征在于，在从蒸发装置到压缩装置之间设置有流量控制设备或压力控制设备。5.如权利要求4所述的冷却装置，其特征在于，该流量控制设备或压力控制设备设置在从加热部到压缩装置之间。6.如权利要求4所述的冷却装置，其特征在于，设置有使流量控制设备或压力控制设备旁通的旁通设备。...

【专利技术属性】
技术研发人员：榎本真一，
申请(专利权)人：爱斯佩克株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]