绝缘性流动物的计测装置、纯度控制装置、混合度控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及可以正确地计测、控制流经流道的绝缘性流动物的纯度、混合比例等的绝缘性流动物的计测装置、纯度控制装置及混合度控制装置。具有检测绝缘树脂制的流道（１ａ）的静电容量的变化的第一、第二、第三传感器单元（１９）、（２１）、（２３）和用于判断流经流道（１ａ）的超纯水的纯度的预先存储流道（１ａ）的基准静电容量的变化的存储器（４１），通过比较检测出的静电容量的变化和存储的静电容量的变化，计测流经流道（１ａ）的超纯水的纯度并控制该纯度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及可以计测流经流道的绝缘性流动物的纯度、混合比例等的绝缘性流动物的计测装置，以及根据计测结果控制绝缘性流动物的纯度的纯度控制装置、根据计测结果控制绝缘性流动物的混合比例的混合度控制装置。然而，在现有的如附图说明图10的装置中，存在的问题是不能判断绝缘性微小异物对绝缘性流动物的混入。现在，半异体硅片的洗净使用超纯水，洗净后排出的超纯水经再生后重复使用。上述洗净后排出的超纯水中含有半导体硅片的微小的碎片。当将含有该半导体硅片的微小碎片的超纯水原样再利用于洗净时，会划伤半导体硅片的表面，降低成品率。因此，使用过滤器除去上述碎片，对洗净后排出的超纯水进行再生。经再生的超纯水重新利用于半导体硅片的洗净之前用传感器检查微小碎片的混入。当检测出微小异物的混入时，使其再通过过滤器而仅再利用未混入上述碎片的超纯水。但是，由于上述超纯水及半导体硅片的微小碎片都是绝缘性物质，就不能用上述如图10所示的通过测定导电率检测半导体硅片的微小碎片对超纯水的混入。另外，为了对半导体硅片进行镜面研磨加工而使用研磨剂(浆液)。该浆液是在超纯水中混有矾土陶瓷的一种，即“二氧化硅”的微粒子(数mμ的粒子)的浆液。该浆液的“二氧化硅”的微粒子对超纯水的浓度过低，则不能充分地进行镜面研磨加工，相反若浓度过高，则会划伤掩模图案。因此，浆液的浓度控制是极其重要的因素。但是，由于超纯水及“二氧化硅”的微粒子都是绝缘性物质，不能用上述的图10所示的测定导电率来检测“二氧化硅”的微粒子对超纯水的浓度。再有，该浆液也重复再生利用，由于与用超纯水洗净时的同样的理由，在重新利用于半导体硅片的研磨之前，要用传感器检查微小碎片的混入，而只将未混入上述碎片的浆液再利用。但是，根据上述同样的理由，不能用上述如图10所示的检测导电率来检测半导体硅片的微小碎片的混入。与此相反，虽然也可以使用采用超声波、可见光、UV监控器等的测定仪，但因无论哪一种的精度都低，无助于提高半导体硅片的成品率。本专利技术的第一方案的绝缘性流动物的计测装置的特征是以下部分构成检测流道的静电容量的变化的静电容量传感器，为了判断流经上述流道的绝缘性流动物的比例、将该流道的基准静电容量的变化预先存储的基准值存储装置，将上述检测到的静电容量的变化与存储的静电容量的变化进行比较，计测流经上述流道的绝缘性流动物的比例的比例计测装置。本专利技术的第二方案的绝缘性流动物的计测装置是在第一方案的基础上，其特征是上述静电容量传感器相对上述流道在绝缘状态下具有呈圈状的导电金属泊制的测定电极及接地电极。本专利技术的第三方案的绝缘性流动物的计测装置是在第二方案的基础上，其特征是上述接地电极作得比上述测定电极更窄，两者交替配置。本专利技术的第四或第五方案的绝缘性流动物的计测装置是在第二或第三方案的基础上，其特征是上述测定电极及接地电极沿着流动方向卷绕成螺旋状。本专利技术的第六至第九方案的绝缘性流动物的计测装置是在上述第一至第四方案的任何一个方案的基础上，其特征是上述比例计测装置计测流经上述流道的绝缘性流动物的纯度。本专利技术的第十至第十三方案的绝缘性流动物的计测装置是在上述第一至第四方案的任何一个方案的基础上，其特征是上述比例计测装置计测流经上述流道的绝缘性流动物的混合比例。本专利技术的第十四方案的绝缘性流动物的计测装置是在上述第六至第九方案的任何一个方案的基础上，其特征是上述静电容量传感器的上游测具有用于除去混在流经上述流道的绝缘性流动物中的异物的异物除去过滤器的同时，在该异物除去过滤器的下游测具有上述绝缘性流动物的取出口及分支口，具有对上述绝缘性流动物的流动向上述取出口及分支口的任何一方进行切换的调整装置，还具有控制上述调整装置的控制装置，以便使上述纯度的计测值在设定值内时、使上述绝缘性流动物向上述取出口一边流动，上述纯度的计测值在设定值以外时、使上述绝缘性流动物向上述分支口一边流动。本专利技术的第十五方案的绝缘性流动物的计测装置是在上述第十至第十三方案的任何一个方案的基础上，其特征是具有使至少两种绝缘性流动物混合并在上述流道中流动的混合装置的同时，该混合装置的下游侧具有上述绝缘性流动物的取出口及分支口，具有将上述绝缘性流动物的流动向上述取出口及分支口的任何一方切换的调整装置，还具有控制上述调整装置的控制装置，以便使上述混合比例的计测值在设定值内时，使上述绝缘性流动物向上述取出口一边流动，上述混合比例的计测值在设定值以外时，使上述绝缘性流动物向上述分支口一边流动。使用本专利技术的第一方案，绝缘性流动物在流道中流动，可通过静电容量传感器检测流道的静电容量的变化。可预先将用于判断流经流道的绝缘性流动物的该流道的基准静电容量的变化存储在基准值存储装置中。利用比例计测装置可通过比较上述检测的静电容量的变化和存储的静电容量的变化，计测流经上述流道的绝缘性流动物的比例。因此，能可靠地计测流道内的绝缘性流动物和绝缘性的微小异物的比例及二种以上的绝缘性流动物的混合比例等。使用本专利技术的第二方案，除了第一方案的效果之外，由于上述静电容量传感器在相对上述流道在绝缘状态下具有呈圈状的导电性金属箔制的测定电极及接地电极，能更可靠地计测绝缘性的微小异物相对流道内的绝缘性流动物的比例及二种以上的绝缘性流动物的混合比例等。使用本专利技术的第四方案，除了第二方案的效果外，由于将上述接地电极作得比上述测定电极更窄，两者可交替配置，能更可靠地计测绝缘性的微小异物相对流道内的绝缘性流动物的比例及两种以上的绝缘性流动物的混合比例等。使用本专利技术的第六至第九方案，除了第一至第四方案的任何一个方案的效果之外，利用上述比例计测装置，可正确地计测流经上述流道的绝缘性流动物的纯度。使用本专利技术的第十至第十三方案，除了第一至第四方案的任何一个方案的效果之外，利用上述比例计测装置，可正确地计测流经上述流道的绝缘性流动物的混合比例。使用本专利技术的第十四方案，除了第六至第九方案的任何一个方案的效果外，由于在上述静电容量传感器的上游侧具有用于除去混在流经上述流道的绝缘性流动物中的异物的异物除去过滤器的同时，在该异物除去过滤器的下游侧具有上述绝缘性流动物的取出口及分支口，具有将上述绝缘性流动物的流动向上述取出口及分支口的任何一方进行切换的调整装置，还具有控制上述调整装置的控制装置，以便使上述纯度的计测值在设定值内时，使上述绝缘性流动物向上述取出口一边流动，上述纯度的计测值在设定值以外时，使上述绝缘性流动物向上述分支口一边流动，能可靠地只取出纯度的计测值在设定值内的绝缘性流动物。使用本专利技术的第十五方案，除了第十至第十三方案的任何一个方案的效果之外，由于在具有将至少二种以上的绝缘性流动物混合并在上述流道中流动的混合装置，具有将上述绝缘性流动物的流动向上述取出口及分支口的任何一方进行切换的调整装置，还具有控制上述调整装置的控制装置，以便使上述混合比例的计测值在设定范围内时，使上述绝缘性流动物向上述取出口一边流动，上述混合比例的计测值在设定值以外时，使上述绝缘性流动物向上述分支口一边流动，从而可以可靠地只取出混合比例的计测值在设定范围内的绝缘性流动物。图2是表示第一实施例的传感器单元及其周围状况的剖面图。图3是图2的SA-8A方向的放大剖面图。图4是第一实施例的传感器单元的主要部分的放大剖面图。图5是说明本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种绝缘性流动物的计测装置，其特征在于，由以下几部分组成：检测流道的静电容量的变化的静电容量传感器；用于判断流经上述流道的绝缘性流动物的比例而预先存储该流道的基准静电容量的变化的基准值存储装置；将上述检测出的静电容量的变化和存储的静电容量的变化进行比较，计测上述流经流道的绝缘性流动物的比例的比例计测装置。

【技术特征摘要】
JP 2002-3-27 2002-0874311.一种绝缘性流动物的计测装置，其特征在于，由以下几部分组成检测流道的静电容量的变化的静电容量传感器；用于判断流经上述流道的绝缘性流动物的比例而预先存储该流道的基准静电容量的变化的基准值存储装置；将上述检测出的静电容量的变化和存储的静电容量的变化进行比较，计测上述流经流道的绝缘性流动物的比例的比例计测装置。2.根据权利要求1所述的绝缘性流动物的计测装置，其特征在于上述静电容量传感器具有在对上述流道绝缘的状态下卷绕成圈状的导电性金属箔制的测定电极及接地电极。3.根据权利要求2所述的绝缘性流动物的计测装置，其特征在于上述接地电极作得比上述测定电极更窄，两者交替配置。4.根据权利要求2所述的绝缘性流动物的计测装置，其特征在于上述测定电极及接地电极沿流动方向卷绕成螺旋状。5.根据权利要求3所述的绝缘性流动物的计测装置，其特征在于上述测定电极及接地电极沿流动方向卷绕成螺旋状。6.根据权利要求1所述的绝缘性流动物的计测装置，其特征在于上述比例计测装置计测流经上述流道的绝缘性流动物的纯度。7.根据权利要求2所述的绝缘性流动物的计测装置，其特征在于上述比例计测装置计测流经上述流道的绝缘性流动物的纯度。8.根据权利要求3所述的绝缘性流动物的计测装置，其特征在于上述比例计测装置计测流经上述流道的绝缘性流动物的纯度。9.根据权利要求4所述的绝缘性流动物的计测装置，其特征在于上述比例计测装置计测流经上述流道的绝缘性流动物的纯度。10.根据权利要求1所述的绝缘性流动物的计测装置，其特征在于上述比例计测装置计测流...

【专利技术属性】
技术研发人员：山岸润一，余永康，
申请(专利权)人：株式会社唯红，山岸润一，
类型：发明
国别省市：JP[日本]