一种基于分布式相位补偿技术的半导体激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于分布式相位补偿技术的半导体激光器，涉及光纤通信和光子集成领域。该半导体激光器包括金属n电极、缓冲层、下分别限制层、发光有源层、上分别限制层、腐蚀阻挡层、光栅层、波导层、过渡层、p型欧姆接触层、金属p电极、高反射膜、抗反射膜。本发明专利技术半导体激光器的两端分别设有高反射膜和抗反射膜，以提高半导体激光器的能量利用率和输出功率；通过刻蚀波导形成电隔离，将半导体激光器分成两段或多段，通过改变每一段的电流注入分配，使得高反射镀膜带来的随机反射相位能够被有效地补偿，解决了随机反射相位造成的激射模式不稳定的问题，同时能够实现对波长的微小调控。同时能够实现对波长的微小调控。同时能够实现对波长的微小调控。

【技术实现步骤摘要】
一种基于分布式相位补偿技术的半导体激光器


[0001]本专利技术属于光电子
，涉及光纤通信和光子集成领域，具体地涉及一种基于分布式相位补偿技术的半导体激光器。

技术介绍

[0002]近几十年来，光通信技术发展十分迅速，在很多方面已经成为了主流的传输方式。其优势主要体现在：一、光的带宽很高，即信息传输容量很大；二、光在光纤中的传输损耗很低，尤其是长距离传输，光纤的优势更加明显，而且成本低，重量轻，抗干扰能力强；三、得益于半导体激光器的发展，光通信核心器件光源和光探测器的制造难度和成本也极大地降低了。然而，信息爆炸时代的到来，对数据的传输容量和带宽也提出了越来越高的要求，旧的光通信方式已无法满足如此大的数据传输量，相干光通信在这种情况下应运而生。近些年来，相干光通信有着飞速的发展，这其中，波分复用技术在光通信领域广为应用。波分复用技术通过将多个波长的光复用在同一根光纤中，能够充分利用单根光纤的带宽资源，提高信息的传输速率。
[0003]作为波分复用系统的核心器件，稳定的可调谐光源有利于降低不同信道间的串扰，从而减小波长间隔，增大传输带本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于分布式相位补偿技术的半导体激光器，其特征在于，包括：金属n电极（201）、发光有源层（204）、光栅层（207）、波导层（208）、金属p电极（209）、高反射膜（210）、抗反射膜（211），所述高反射膜（210）镀膜于半导体激光器的一个出光端面上，所述抗反射膜（211）镀膜于半导体激光器的另一个出光端面上，所述金属p电极（209）在沿波导方向上被分成两段，其中靠近抗反射膜（211）的一段的长度占半导体激光器总腔长的10%~90%，在该半导体激光器工作时向分为两段的金属p电极（209）分别注入电流，其注入的相对电流大小比值变化范围为0.1~10。2.根据权利要求1所述基于分布式相位补偿技术的半导体激光器，其特征在于，所述抗反射膜（211）的反射率在10
‑5到10%的范围以内。3.根据权利要求1所述基于分布式相位补偿技术的半导体激光器，其特征在于，所述高反射膜（210）的反射率在40%到99.99%的范围以内。4.根据权利要求1所述基于分布式相位补偿技术的半导体激光器，其特征在于，所述金属p电极（209）通过刻蚀波导（208）层实现电学隔离，刻蚀的宽度范围为1~5μm，刻蚀的深度范围为0.1~5μm。...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕根，周亚亭，肖如磊，樊荣虎，陈向飞，
申请(专利权)人：南京华飞光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：