一种具有高电流限制能力的激光器制造技术

本实用新型专利技术涉及激光器技术领域，特别是涉及一种具有高电流限制能力的激光器，包括有源层上行结构、有源层、有源层下行结构、第一隔离沟和第二隔离沟；所述有源层位于所述有源层上行结构和所述有源层下行结构之间；所述第一隔离沟从有源层上行结构朝有源层下行结构方向延伸至有源层底部，所述第二隔离沟从有源层上行结构朝有源层下行结构方向延伸至有源层底部。本发明专利技术在激光器的脊波导两侧腐蚀出深度至有源层底部的隔离沟结构，起到隔断有源区的作用，提高电流注入效率，约束水平发散角，改善带宽、眼图等特性。眼图等特性。眼图等特性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有高电流限制能力的激光器


[0001]本技术涉及激光器
，特别是涉及一种具有高电流限制能力的激光器。

技术介绍

[0002]DFB激光器，即分布式反馈激光器，是一种内置布拉格光栅的半导体激光器。随着互联网产业的不断扩张，对数据网络的要求也节节攀升，在云计算、数据中心、5G网络的建设中，作为关键器件的DFB激光器也在不断改进，在更优性能与更易实现的工艺间找寻新的平衡。
[0003]传统DFB激光器的脊波导，其两侧沟槽深度未到达有源层，电流在脊波导顶端注入后，虽受到脊波导在水平方向一定程度的限制，但在到达有源层的过程中，还是会形成发散，对电流注入效率产生一定损失。
[0004]鉴于此，克服该现有技术所存在的缺陷是本
亟待解决的问题。

技术实现思路

[0005]本技术解决的技术问题是：
[0006]传统激光器的脊波导，其两侧沟槽深度未到达有源层，电流在脊波导顶端注入后，虽受到脊波导在水平方向一定程度的限制，但在到达有源层的过程中，还是会形成发散，对电流注入效率产生一定损失。r/>[0007]本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有高电流限制能力的激光器，其特征在于，包括有源层上行结构(1)、有源层(2)、有源层下行结构(3)、第一隔离沟(4)和第二隔离沟(5)；所述有源层(2)位于所述有源层上行结构(1)和所述有源层下行结构(3)之间；所述第一隔离沟(4)从有源层上行结构(1)朝有源层下行结构(3)方向延伸至有源层(2)底部，所述第二隔离沟(5)从有源层上行结构(1)朝有源层下行结构(3)方向延伸至有源层(2)底部。2.根据权利要求1所述的具有高电流限制能力的激光器，其特征在于，所述有源层上行结构(1)包括欧姆接触层(13)；所述欧姆接触层(13)包括第一沟槽(131)、第二沟槽(133)和脊波导(132)，其中，所述脊波导(132)位于所述第一沟槽(131)和所述第二沟槽(133)之间；所述第一隔离沟(4)从第一沟槽(131)朝有源层下行结构(3)方向延伸至有源层(2)底部，所述第二隔离沟(5)从第二沟槽(133)朝有源层下行结构(3)方向延伸至有源层(2)底部。3.根据权利要求2所述的具有高电流限制能力的激光器，其特征在于，所述第一沟槽(131)的开口宽度大于所述第一隔离沟(4)的开口宽度；所述第二沟槽(133)的开口宽度大于所述第二隔离沟(5)的开口宽度。4.根据权利要求2所述的具有高电流限制能力的激光器，其特征在于，还包括绝缘介质层(6)；所述绝缘介质层(6)覆盖于所述欧姆接触层(13)、第一沟槽(131)、第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：任欣舒，胡忞远，杨帆，熊绪婧，
申请(专利权)人：武汉光迅科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：