一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉，包括底板，所述底板的底部设置有支撑腿，所述支撑腿与底板固定连接，且支撑腿的底部套设有支撑垫，所述底板的上方设置有炉体，所述炉体的内壁设置有保温层，所述炉体的表面开设有出料口，且炉体的顶部安装有活塞筒，所述活塞筒的左侧炉体的顶部固定连接有排气管，所述炉体的左侧安装有水箱。本实用新型专利技术的有益效果是：该氧气循环利用的ITO靶材烧结炉，设置有补气机，且排气管延伸至补气机内，从而能够将炉体内排出的氧气经过补气、充气后，重新输入炉体内部循环利用，且排气管上安装的空气净化机能够净化尾气，使得氧气可循环利用的同时还能够净化尾气，从而减少了氧气用量，降低了生产成本。降低了生产成本。降低了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉


[0001]本技术涉及靶材烧结炉
，具体为一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉。

技术介绍

[0002]烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。
[0003]但是一般的烧结炉无法对氧气进行循环利用，导致资源利用率低，提高氧气用量，增加了生产的成本。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉，以解决上述
技术介绍
中提出一般的烧结炉无法对氧气进行循环利用，导致资源利用率低，提高氧气用量，增加了生产的成本的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉，包括底板，所述底板的底部设置有支撑腿，所述支撑腿与底板固定连接，且所述支撑腿的底部套设有支撑垫，所述底板的上方设置有炉体，所述炉体的内壁设置有保温层，所述炉体的表面开设有出料口，且所述炉体的顶部安装有活塞筒，所述活塞筒的左侧炉体的顶部固定连接有排气管，所述炉体的左侧安装有水箱，所述炉体的右侧安装有补气机，所述水箱和补气机均安装在底板的上表面。
[0006]优选的，所述活塞筒的顶部安装有气缸，所述气缸的底部固定连接有压杆，所述压杆延伸至活塞筒的内部固定连接有活塞，且所述排气管贯穿活塞筒。
[0007]优选的，所述排气管远离活塞筒的一端与补气机固定连接，且所述排气管上安装有空气净化机，所述补气机的顶部设置有进气管与炉体连接，且进气管上安装有阀门。
[0008]优选的，所述炉体的表面开设有进气口，所述进气口与进气管连接，且炉体的内部安装有负压阀，所述负压阀与进气口对应，且所述负压阀上设置有引流管与炉腔连接。
[0009]优选的，所述水箱的内部安装有循环泵，所述水箱的表面设置有供水管，所述供水管延伸至水箱内部与循环泵连接，且所述供水管上方的水箱上连接有回流管。
[0010]优选的，所述回流管与供水管远离水箱的一端均与炉体连接，且供水管在炉体的内壁为螺旋结构排列。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该氧气循环利用的ITO靶材烧结炉，设置有补气机，且排气管延伸至补气机内，从而能够将炉体内排出的氧气经过补气、充气后，重新输入炉体内部循环利用，且排气管上安装的空气净化机能够净化尾气，使得氧气可循环利用的同时还能够净化尾气，从而减少了氧气用量，降低了生产成本，且进气口处设置有负压阀，通过负压阀上的引流管可以将炉腔中的一部分热气引入到负压阀中，使得进气口进入的空气与热空气混合，从而可以对氧气进行预热，减少冷气体进入炉腔内对烧结产
生影响，设置有水箱，通过循环泵将水箱内的水送入供水管，使得水箱内的水在供水管内吸收炉体产生的热量，从而减少炉体热量的流失，提高了资源的利用率。
附图说明
[0012]图1为本技术一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉结构示意图；
[0013]图2为本技术一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉负压结构示意图；
[0014]图3为本技术一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉水箱内部结构示意图。
[0015]图中：1、底板，2、支撑腿，3、支撑垫，4、炉体，5、出料口，6、水箱，7、回流管，8、供水管，9、补气机，10、阀门，11、进气管，12、空气净化机，13、活塞筒，14、气缸，15、压杆，16、活塞，17、排气管，18、炉腔，19、保温层，20、引流管，21、进气口，22、负压机，23、循环泵。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉，包括底板1，底板1的底部设置有支撑腿2，支撑腿2与底板1固定连接，且支撑腿2的底部套设有支撑垫3，底板1的上方设置有炉体4，炉体4的内壁设置有保温层19，炉体4的表面开设有出料口5，且炉体4的顶部安装有活塞筒13，活塞筒13的左侧炉体4的顶部固定连接有排气管17，炉体4的左侧安装有水箱6，炉体4的右侧安装有补气机9，水箱6和补气机9均安装在底板1的上表面，活塞筒13的顶部安装有气缸14，气缸14的底部固定连接有压杆15，压杆15延伸至活塞筒13的内部固定连接有活塞16，且排气管17贯穿活塞筒13，通过气缸14带动压杆15的下压，从而带动活塞16的往复运动，活塞16将炉体4内的氧气间歇吸入活塞筒13内再送入补气机9内，通过活塞16实现间歇性送气，从而减缓氧气的循环速度，使得氧气能够在炉体4内进行充分的热交换，提高热交换的效率，排气管17远离活塞筒13的一端与补气机9固定连接，且排气管17上安装有空气净化机12，空气净化机12能够净化尾气，使得氧气可循环利用的同时还能够净化尾气，从而减少了氧气用量，降低了生产成本，补气机9的顶部设置有进气管11与炉体4连接，且进气管11上安装有阀门10，炉体4的表面开设有进气口21，进气口21与进气管11连接，炉体4内的氧气从排气管17进入补气机9内，从而能够将炉体4内排出的氧气经过补气机9的补气、充气后，重新输入炉体4内部循环利用，且炉体4的内部安装有负压阀22，负压阀22与进气口21对应，且负压阀22上设置有引流管20与炉腔18连接，通过负压阀22上的引流管20可以将炉腔18中的一部分热气引入到负压阀22中，使得进气口21进入的空气与热空气混合，从而可以对氧气进行预热，减少冷气体进入炉腔18内对烧结产生影响，水箱6的内部安装有循环泵23，水箱6的表面设置有供水管8，供水管8延伸至水箱6内部与循环泵23连接，且供水管8上方的水箱6上连接有回流管7，回流管7与供水管8远离水箱6的一端均与炉体4连接，且供水管8为螺旋结构排列在炉体4的内壁，通过循环泵23将水箱6内的水送入供水管8，使得水箱6内的水在供水管8内吸收炉体4产生的热量，从而减少炉体4热量的流失，提高了资源的利用率。
[0018]工作原理：在使用该氧气循环利用的ITO靶材烧结炉时，首先将原料放入炉体4内，然后启动炉体4对原料进行烧结，烧结时可以启动循环泵23，通过循环泵23将水箱6内的水送入供水管8，使得水箱6内的水在供水管8内吸收炉体4产生的热量，从而减少炉体4热量的流失，提高了资源的利用率，然后打开阀门10，启动气缸14，通过气缸14带动压杆15的下压，从而带动活塞16的往复运动，活塞16将炉体4内的氧气间歇吸入活塞筒13内再送入补气机9内，通过活塞16实现间歇性送气，从而减缓氧气的循环速度，使得氧气能够在炉体4内进行充分的热交换，提高热交换的效率，然后炉体4内的氧气从排气管17进入补本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）的底部设置有支撑腿（2），所述支撑腿（2）与底板（1）固定连接，且所述支撑腿（2）的底部套设有支撑垫（3），所述底板（1）的上方设置有炉体（4），所述炉体（4）的内壁设置有保温层（19），所述炉体（4）的表面开设有出料口（5），且所述炉体（4）的顶部安装有活塞筒（13），所述活塞筒（13）的左侧炉体（4）的顶部固定连接有排气管（17），所述炉体（4）的左侧安装有水箱（6），所述炉体（4）的右侧安装有补气机（9），所述水箱（6）和补气机（9）均安装在底板（1）的上表面。2.根据权利要求1所述的一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉，其特征在于：所述活塞筒（13）的顶部安装有气缸（14），所述气缸（14）的底部固定连接有压杆（15），所述压杆（15）延伸至活塞筒（13）的内部固定连接有活塞（16），且所述排气管（17）贯穿活塞筒（13）。3.根据权利要求1所述的一种氧气循环利用的ITO靶材烧结炉，其特征在于：所述排气管（17）远离活塞筒（13）的一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨琮琪，
申请(专利权)人：洛阳神佳窑业有限公司，
类型：新型
国别省市：