一种坩埚支撑轴制造技术

技术编号:32099038 阅读:12 留言:0更新日期:2022-01-29 18:34
本实用新型专利技术提供了一种坩埚支撑轴,属于坩埚技术领域,包括上部轴杆和下部轴杆,所述上部轴杆的底端设有接头结构,所述下部轴杆的顶端设有与所述接头结构相匹配的接口结构,所述接头结构与所述接口结构可拆卸装配连接,从而实现所述上部轴杆与所述下部轴杆的可拆卸装配连接。所述上部轴杆为多个轴杆段组件依次连接形成,所述轴杆段组件为实心轴杆段组件或者具有空心结构的轴杆段组件;所述下部轴杆具有空心结构;所述空心结构的侧壁上设有散热孔。本实用新型专利技术通过将支撑轴采用分段式结构设计,使得拆卸更为便捷省力,并且当遇到支撑轴底部固定金属螺杆出现插死或融化现象时,只需破坏下部轴杆即可,上部轴杆还可以继续使用,节约了轴杆的生产成本。了轴杆的生产成本。了轴杆的生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚支撑轴


[0001]本技术涉及坩埚
,尤其为一种坩埚支撑轴。

技术介绍

[0002]单晶硅棒在拉制过程中,承载熔融硅液的石英坩埚需要在坩埚支撑轴的支撑下通过炉底坩埚运动提升装置进行升降和旋转,以使单晶棒生长界面在单晶炉热场中处于最佳的热能位置。目前行业普遍使用一体式的石墨或碳碳坩埚支撑轴,该坩埚支撑轴内部为空心结构,底部通过金属螺杆和炉底坩埚提升装置固定。在整个单晶晶棒生产过程中,炉台温度高达1500℃,炉内长时间为1420℃的低压惰性气体环境。随着单晶晶棒的生产,需要将坩埚的位置不断上移,坩埚支撑轴也一同不断上移,使得坩埚支撑轴底部与炉底坩埚提升装置固定的金属螺杆逐渐进入更高温度的环境中,从而易导致金属螺杆因热胀冷缩出现插死现象难以拆卸,甚至出现金属螺杆融化、最终导致坩埚支撑轴既无法继续使用又无法拆卸的情况发生,需要进行破坏性拆除,导致整个坩埚支撑轴损坏,无法继续使用,增加生产成本。尤其在行业快速发展的当下,各个厂家不断挖掘单晶炉生产潜力,逐步使用更短的坩埚支撑轴,使得坩埚支撑轴底部与炉底坩埚提升装置固定的金属螺杆更早更快的处于更高的温度环境中,从而导致出现上述问题的情况更严重,亟待改善。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种坩埚支撑轴,通过将所述坩埚支撑轴设计为分段式结构,使目前坩埚支撑轴在使用过程中,其底部与炉底坩埚提升装置固定的金属螺杆在高温环境中出现插死或融化现象时,需要对整个坩埚支撑轴进行破坏性拆除而导致的拆除难度高、坩埚支撑轴生产成本增加的问题得以改善。
[0004]为实现上述目的,本技术采用的技术方案如下:
[0005]一种坩埚支撑轴,包括:
[0006]上部轴杆,其底端设有接头结构;
[0007]下部轴杆,其顶端设有与所述接头结构相匹配的接口结构;
[0008]所述接头结构与所述接口结构可拆卸装配连接,从而实现所述上部轴杆与所述下部轴杆的可拆卸装配连接。
[0009]可选的,所述上部轴杆为多个轴杆段组件依次连接形成,各所述轴杆段组件相邻的两端分别设有互相匹配的接头结构和接口结构。
[0010]可选的,所述轴杆段组件为实心轴杆段组件或者具有空心结构的轴杆段组件。
[0011]可选的,所述上部轴杆由所述实心轴杆段组件与所述具有空心结构的轴杆段组件交替连接形成。
[0012]可选的,所述具有空心结构的轴杆段组件位于其空心结构一侧的外壁上设有散热孔。
[0013]可选的,所述下部轴杆具有空心结构。
[0014]可选的,所述下部轴杆位于其空心结构一侧的外壁上设有散热孔。
[0015]可选的,所述空心结构为上下贯通式空心槽或者封闭式空心腔。
[0016]可选的,所述接头结构包括凸台,所述凸台的外侧壁上设有若干均匀分布的卡块;所述接口结构包括凹槽,所述凹槽内侧壁上设有若干均匀分布的卡槽;所述凸台与所述凹槽相匹配,所述卡块与所述卡槽相匹配,从而实现所述接头结构与所述接口结构的紧密装配。
[0017]可选的,所述接头结构为螺杆,所述接口结构为螺孔,所述螺杆与所述螺孔相匹配,从而实现所述接头结构与所述接口结构的紧密螺纹连接。
[0018]与现有技术相比,本技术的有益效果体现在:
[0019]1、本技术的坩埚支撑轴,采用分段式结构设计,即整个支撑轴由上部轴杆和下部轴杆连接形成,在实际使用中,当生产完成需要拆卸支撑轴时,先通过接头结构和接口结构将上部轴杆进行拆卸,再使用工装将下部轴杆拆卸,整个拆卸操作分两步完成,更为便捷、省时省力。若遇到支撑轴底部与炉底坩埚提升装置固定的金属螺杆在单晶炉内高温环境中出现插死或融化现象而难以拆卸时,只需破坏下部轴杆即可,而上部轴杆还可以继续使用,节约了轴杆的生产成本。
[0020]2、本技术的坩埚支撑轴,将上部轴杆进一步分段,采用多个轴杆段组件依次连接形成,使用时,可根据实际情况增、减轴杆段组件,实现支撑轴长度的调节,适用范围更广;同时,整个上部轴杆由实心轴杆段组件与具有空心结构的轴杆段组件交替连接形成,实心轴杆段组件可保证支撑轴整体强度,具有空心结构的轴杆段组件可减轻支撑轴的整体重量,又节省制造原料,同时在其空心结构处还设有散热孔,有利于散热。同理,将下部轴杆设计为空心结构,增设散热孔,也具有上述有益效果。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术的整体结构示意图。
[0023]图2为本技术中所述上部轴杆的结构示意图。
[0024]图3为本技术中所述下部轴杆的剖视结构示意图。
[0025]图4为本技术中所述具有卡块的接头结构和具有卡槽的接口结构的结果示意图。
[0026]图5为本技术中所述具有螺杆接头结构和螺孔接口结构的结构示意图。
[0027]附图标记:
[0028]1‑
上部轴杆,11

轴杆段组件;
[0029]2‑
下部轴杆;
[0030]3‑
接头结构,31

凸台,32

卡块;31


螺杆;
[0031]4‑
接口结构,41

凹槽,42

卡槽;41
’‑
螺孔;
[0032]5‑
空心结构,51

空心槽,52

空心腔;
[0033]6‑
散热孔。
具体实施方式
[0034]在下文中,仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样,在不脱离本技术的精神或范围的情况下,可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此,附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0035]下面结合附图对本技术的实施例进行详细说明。
[0036]如图1~图3所示,本实施例提供一种坩埚支撑轴,包括上部轴杆1和下部轴杆2,所述上部轴杆1的底端设有接头结构3,所述下部轴杆2的顶端设有与所述接头结构3相匹配的接口结构4,所述接头结构3与所述接口结构4可拆卸装配连接,从而实现所述上部轴杆1与所述下部轴杆2的可拆卸装配连接。
[0037]在实际应用中,所述下部轴杆2通过金属固定螺杆和单晶炉台底部坩埚运动提升系统连接,所述上部轴杆1通过所述接头结构3和所述接口结构4装配组成一个完整的坩埚支撑轴。该坩埚支撑轴在炉台坩埚运动提升体统的带动下实现上下运动及旋转。在生产完成,需要拆卸支撑轴时,先拆线所述上部轴杆1,再拆卸所述下部轴杆2,与对支撑轴进行整体拆除相比,该种分段式拆除更加便捷,省时本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚支撑轴,其特征在于,包括:上部轴杆,其底端设有接头结构;下部轴杆,其顶端设有与所述接头结构相匹配的接口结构;所述接头结构与所述接口结构可拆卸装配连接,从而实现所述上部轴杆与所述下部轴杆的可拆卸装配连接。2.根据权利要求1所述的坩埚支撑轴,其特征在于,所述上部轴杆为多个轴杆段组件依次连接形成,各所述轴杆段组件相邻的两端分别设有互相匹配的接头结构和接口结构。3.根据权利要求2所述的坩埚支撑轴,其特征在于,所述轴杆段组件为实心轴杆段组件或者具有空心结构的轴杆段组件。4.根据权利要求3所述的坩埚支撑轴,其特征在于,所述上部轴杆由所述实心轴杆段组件与所述具有空心结构的轴杆段组件交替连接形成。5.根据权利要求3所述的坩埚支撑轴,其特征在于,所述具有空心结构的轴杆段组件位于其空心结构一侧的外壁上设有散热孔。6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:潘军明陈浩罗才军张军马自成
申请(专利权)人:四川永祥光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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