一种晶圆测试机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆测试机，属于晶圆测试技术领域，它解决了现有的测试装置不能够自动对晶圆进行固定的问题。本晶圆测试机，包括箱体，箱体内壁的底部固定有底座，底座的顶部固定有压力传感器，压力传感器的顶部固定有放置台，放置台顶部的左右两侧均设置有固定板，且固定板与放置台之间滑动连接，放置台内壁的底部固定有电动伸缩杆。本实用新型专利技术通过电动伸缩杆、伸缩杆和固定板的设置，能够对待检测的晶圆进行自动固定，节约了工作人员上料下料时的时间，提高了检测效率，以便对晶圆的强度进行检测，防止晶圆在检测过程中出现移动，从而影响了检测数据的准确性，给工作人员提供了便利。了便利。了便利。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试机


[0001]本技术属于晶圆测试
，涉及一种测试机，特别是一种晶圆测试机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]经检索，如中国专利文献公开了一种芯片测试震动控制装置【申请号：CN201820828033.9；公开号：CN208688762U】。这种芯片测试震动控制装置，包括箱体，所述箱体的侧壁上安装有控制面板，箱体顶端侧壁的两侧对称设置有第一通孔，第一通孔内活动安装有活动杆，两根活动杆的一端共同固定有水平设置的震动台，震动台上表面两侧对称设置有安装板，两块安装板相靠近的侧壁上均固定有安装筒，安装筒的底端内壁上安装有点动开关，安装筒内活动安装有安装杆，安装杆的一端固定有固定板，两块固定板相靠近的侧壁上安装有芯片夹子，安装杆上套接有第一弹簧，且第一弹簧的一端连接有安装筒。
[0004]该专利中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试机，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)内壁的底部固定有底座(2)，所述底座(2)的顶部固定有压力传感器(3)，所述压力传感器(3)的顶部固定有放置台(4)，所述放置台(4)顶部的左右两侧均设置有固定板(5)，且固定板(5)与放置台(4)之间滑动连接，所述放置台(4)内壁的底部固定有电动伸缩杆(6)，所述电动伸缩杆(6)输出轴的顶端固定有升降板(7)，所述升降板(7)的左右两侧均铰接有活动杆(8)，所述活动杆(8)的另一端铰接有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的一端贯穿至放置台(4)的外部并与放置台(4)之间滑动连接，所述固定板(5)的一侧固定有推板(10)，且推板(10)呈L型设置，所述推板(10)的一侧与伸缩杆(9)固定，所述箱体(1)的上方设置有驱动结构(11)，所述箱体(1)内部的上方设置有升降台(12)，所述升降台(12)的底部固定有推杆(13)，所述推杆(13)的底端固定有压板(14)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试机，其特征在于，所述驱动结构(11)包括电机(111)、螺纹杆(112)和套管(113)，所述电机(111)固定在箱体(1)的顶部，且电机(111)输出轴的底端贯穿至箱体(1)的内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨兆明，曾春耕，张鲲，
申请(专利权)人：浙江芯晖装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：