一种晶圆测试机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆测试机，属于晶圆测试技术领域，它解决了现有的测试装置不能够自动对晶圆进行固定的问题。本晶圆测试机，包括箱体，箱体内壁的底部固定有底座，底座的顶部固定有压力传感器，压力传感器的顶部固定有放置台，放置台顶部的左右两侧均设置有固定板，且固定板与放置台之间滑动连接，放置台内壁的底部固定有电动伸缩杆。本实用新型专利技术通过电动伸缩杆、伸缩杆和固定板的设置，能够对待检测的晶圆进行自动固定，节约了工作人员上料下料时的时间，提高了检测效率，以便对晶圆的强度进行检测，防止晶圆在检测过程中出现移动，从而影响了检测数据的准确性，给工作人员提供了便利。了便利。了便利。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试机


[0001]本技术属于晶圆测试
，涉及一种测试机，特别是一种晶圆测试机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]经检索，如中国专利文献公开了一种芯片测试震动控制装置【申请号：CN201820828033.9；公开号：CN208688762U】。这种芯片测试震动控制装置，包括箱体，所述箱体的侧壁上安装有控制面板，箱体顶端侧壁的两侧对称设置有第一通孔，第一通孔内活动安装有活动杆，两根活动杆的一端共同固定有水平设置的震动台，震动台上表面两侧对称设置有安装板，两块安装板相靠近的侧壁上均固定有安装筒，安装筒的底端内壁上安装有点动开关，安装筒内活动安装有安装杆，安装杆的一端固定有固定板，两块固定板相靠近的侧壁上安装有芯片夹子，安装杆上套接有第一弹簧，且第一弹簧的一端连接有安装筒。
[0004]该专利中公开的装置还存在有一定的问题，其不能够对检测物进行自动夹持固定，检测过程中需要工作人员多次进行上料下料操作，不仅增加了工作人员的劳动量，还降低了检测效率，给工作人员的后续检测工作带来不便。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种晶圆测试机，该晶圆测试机能够对待检测的晶圆进行自动固定，提高了检测效率。
[0006]本技术的目的可通过下列技术方案来实现：
[0007]一种晶圆测试机，包括箱体，所述箱体内壁的底部固定有底座，所述底座的顶部固定有压力传感器，所述压力传感器的顶部固定有放置台，所述放置台顶部的左右两侧均设置有固定板，且固定板与放置台之间滑动连接，所述放置台内壁的底部固定有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆输出轴的顶端固定有升降板，所述升降板的左右两侧均铰接有活动杆，所述活动杆的另一端铰接有伸缩杆，所述伸缩杆的一端贯穿至放置台的外部并与放置台之间滑动连接，所述固定板的一侧固定有推板，且推板呈L型设置，所述推板的一侧与伸缩杆固定，所述箱体的上方设置有驱动结构，所述箱体内部的上方设置有升降台，所述升降台的底部固定有推杆，所述推杆的底端固定有压板。
[0008]本技术的工作原理是：当需要对晶圆的强度进行检测时，工作人员将待检测的晶圆放置在放置台的顶部，并开启电动伸缩杆，使得两侧的固定板相向移动，对放置台上的晶圆进行夹持固定，工作人员将电机打开，使得压板对下方的晶圆进行挤压，放置台下方的压力传感器随之对压力值进行检测，当晶圆出现断裂时，压力传感器将产生断裂时的数据在控制面板上显示，工作人员即可对数据进行记录，随后电动伸缩杆的输出轴回到原位，固定板向两侧移动，工作人员将断裂的晶圆取出，即可对另一批次的晶圆进行检测工作。
[0009]所述驱动结构包括电机、螺纹杆和套管，所述电机固定在箱体的顶部，且电机输出轴的底端贯穿至箱体的内部，所述螺纹杆固定安装在电机输出轴的底端，所述套管套设在螺纹杆的下方，且套管与螺纹杆之间螺纹连接，所述套管的底端与升降台之间固定连接。
[0010]采用以上结构，使得升降板能够进行上下方向移动。
[0011]所述箱体内壁的左右两侧均开设有限位槽，所述升降台的左右两侧均固定有限位杆，所述限位槽的内部固定有固定杆，所述限位杆的一端延伸至限位槽的内部并固定有滑套，所述固定杆贯穿滑套并与滑套滑动连接。
[0012]采用以上结构，能够对升降台的运动轨迹进行限位，使其只能进行上下方向移动。
[0013]所述固定板呈半圆弧型设置，所述固定板相向一侧的表面均粘接有保护垫，且保护垫的材质为橡胶。
[0014]采用以上结构，防止固定板与晶圆直接接触。
[0015]所述放置台内壁的左右两侧均固定有导向环，所述伸缩杆贯穿导向环并与导向环的内壁滑动连接。
[0016]采用以上结构，能够对伸缩杆进行限位，使其只能进行左右方向水平移动。
[0017]所述箱体右侧的上方固定有控制面板，且控制面板与压力传感器之间配合使用。
[0018]采用以上结构，能够将压力传感器检测的数据进行显示。
[0019]与现有技术相比，本晶圆测试机具有以下优点：
[0020]1、本技术通过电动伸缩杆、伸缩杆和固定板的设置，能够对待检测的晶圆进行自动固定，节约了工作人员上料下料时的时间，提高了检测效率，以便对晶圆的强度进行检测，防止晶圆在检测过程中出现移动，从而影响了检测数据的准确性，给工作人员提供了便利，解决了现有的测试装置不能够对检测物进行自动夹持固定的问题，减轻了工作人员的劳动负担。
[0021]2、通过电机、螺纹杆和套管的设置，使得升降板能够进行上下方向移动，以便对晶圆的强度进行检测。
[0022]3、通过限位槽、限位杆、固定杆和滑套的设置，能够对升降台的运动轨迹进行限位，使其只能进行上下方向移动，增加压板下压时的稳定性。
附图说明
[0023]图1是本技术的平面剖视结构示意图。
[0024]图2是本技术中放置台的平面剖视结构示意图。
[0025]图3是本技术局部立体结构示意图。
[0026]图4是本技术图1中A处的局部放大图。
[0027]图中，1、箱体；2、底座；3、压力传感器；4、放置台；5、固定板；6、电动伸缩杆；7、升降板；8、活动杆；9、伸缩杆；10、推板；11、驱动结构；111、电机；112、螺纹杆；113、套管；12、升降台；13、推杆；14、压板；15、导向环；16、保护垫；17、控制面板；18、限位槽；19、限位杆；20、固定杆；21、滑套。
具体实施方式
[0028]以下是本技术的具体实施例并结合附图，对本技术的技术方案作进一步
的描述，但本技术并不限于这些实施例。
[0029]如图1
‑
图4所示，本晶圆测试机，包括箱体1，箱体1内壁的底部固定有底座2，底座2的顶部固定有压力传感器3，压力传感器3的顶部固定有放置台4，放置台4顶部的左右两侧均设置有固定板5，且固定板5与放置台4之间滑动连接，放置台4内壁的底部固定有电动伸缩杆6，电动伸缩杆6输出轴的顶端固定有升降板7，升降板7的左右两侧均铰接有活动杆8，活动杆8的另一端铰接有伸缩杆9，伸缩杆9的一端贯穿至放置台4的外部并与放置台4之间滑动连接，固定板5的一侧固定有推板10，且推板10呈L型设置，推板10的一侧与伸缩杆9固定，箱体1的上方设置有驱动结构11，箱体1内部的上方设置有升降台12，升降台12的底部固定有推杆13，推杆13的底端固定有压板14；本技术通过电动伸缩杆6、伸缩杆9和固定板5的设置，能够对待检测的晶圆进行自动固定，节约了工作人员上料下料时的时间，提高了检测效率，以便对晶圆的强度进行检测，防止晶圆在检测过程中出现移动，从而影响了本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试机，包括箱体(1)，其特征在于，所述箱体(1)内壁的底部固定有底座(2)，所述底座(2)的顶部固定有压力传感器(3)，所述压力传感器(3)的顶部固定有放置台(4)，所述放置台(4)顶部的左右两侧均设置有固定板(5)，且固定板(5)与放置台(4)之间滑动连接，所述放置台(4)内壁的底部固定有电动伸缩杆(6)，所述电动伸缩杆(6)输出轴的顶端固定有升降板(7)，所述升降板(7)的左右两侧均铰接有活动杆(8)，所述活动杆(8)的另一端铰接有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的一端贯穿至放置台(4)的外部并与放置台(4)之间滑动连接，所述固定板(5)的一侧固定有推板(10)，且推板(10)呈L型设置，所述推板(10)的一侧与伸缩杆(9)固定，所述箱体(1)的上方设置有驱动结构(11)，所述箱体(1)内部的上方设置有升降台(12)，所述升降台(12)的底部固定有推杆(13)，所述推杆(13)的底端固定有压板(14)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试机，其特征在于，所述驱动结构(11)包括电机(111)、螺纹杆(112)和套管(113)，所述电机(111)固定在箱体(1)的顶部，且电机(111)输出轴的底端贯穿至箱体(1)的内部...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨兆明，曾春耕，张鲲，
申请(专利权)人：浙江芯晖装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：