【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及微机电系统(Micro Electro Mechanical SystemMEMS)装置。
技术介绍
现在，MEMS正被广泛应用于多个领域。如果在RF(RadioFrequency射频)开关中应用该MEMS，则能够得到可以降低传送损耗、且可以提高断开状态下的绝缘性这样的良好性能。图12示出了静电驱动型RF-MEMS(射频-微机电系统)开关的示意性构成。如图12所示，该RF-MEMS开关11的构成是在2个静电电极11a、11b之间设置可动接触子11c和接点11d、11e。接点11d与输入端子13连接，接点11e与输出端子14连接。另外，静电电极11a、11b中的一方施加高电位，另一方施加低电位。图13所示是该RF-MEMS开关的一具体构成。图13(a)所示是RF-MEMS开关的俯视图，图13(b)是该RF-MEMS开关处于断开状态时的、图13(a)所示由切开线A-A’切断时的剖面，图13(c)是该RF-MEMS开关处于断开状态时的、由图13(a)所示切开线B-B’切断时的剖面，图13(d)是该RF-MEMS开关处于闭合状态时的、由图13(a)所示切...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种MEMS装置，其特征在于，具备发光电路，含有发光元件、射出光；受光电路，具有多个受光元件串联连接的串联电路，该受光元件接受从上述发光电路射出的光、发生电压；及MEMS构造部，被通过上述受光电路发生的电压驱动。2.如权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，上述MEMS构造部具备RF-MEMS开关。3.如权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，上述MEMS构造部具备串联连接的多个RF-MEMS开关。4.如权利要求2或3所述的MEMS装置，其特征在于，上述MEMS构造部具备与上述RF-MEMS开关阻抗匹配的布线。5.如权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，上述MEMS构造部具备串联连接的第1至第2 RF-MEMS开关、及第3 RF-MEMS开关，该第3 RF-MEMS开关的一端与第1 RF-MEMS开关和第2 RF-MEMS开关的连接点连接，另一端与接地电源连接。6.如权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，上述MEMS构造部具备并联连接的多个RF-MEMS开关。7.如权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，上述MEMS构造部具备C接点的RF-MEMS开关。8.如权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，上述MEMS装置被制成封装，上述发光元件和上述受光电路通过硅光管被光耦合。9.如权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，还具备放电电路，该放电电路通过使上述发光电路停止射出光，使在上述受光电路的上述串联电路的两端产生的电压放电。10.如权利要求9所述的MEMS装置，其特征在于，上述放电电路具备接合型场效应晶体管，该接合型场效应晶体管的漏极通过第1电阻与上述受光电路的高电位侧的端子连接，栅极通过第2电阻与上述受光电路的高电位侧的端子连接，源极与上述受光电路的低电位侧的端子连接。11.一种MEMS装置，其特征在于，具备第1发光电路，含有第1发光元件、射出光；第2发...
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