镀膜组件及镀膜装置和镀膜方法制造方法及图纸

技术编号:32080408 阅读:25 留言:0更新日期:2022-01-29 17:56
本申请提供了镀膜组件及镀膜装置和镀膜方法,涉及镀膜技术领域。一种镀膜组件,包括第一辊、第一冷却辊和蒸发机构。第一冷却辊沿膜材的传送路径设置于第一辊的下游,第一冷却辊设置于膜材的上方,第一辊与第一冷却辊之间的膜材限定为悬浮膜材。蒸发机构设置于悬浮膜材和第一冷却辊的下方,且被配置为能够同时对至少部分悬浮膜材和部分贴合于第一冷却辊上的膜材进行镀膜。该镀膜组件使得沉积镀膜的膜材中,一部分膜材为悬浮状态,一部分为贴鼓状态,贴合于第一冷却辊上的膜材能够进行冷却,导出膜材的热量,有助于降低膜材的温度,避免膜材出现热损伤,同时能够提高镀膜的膜材的传热效率,提高沉积效率。提高沉积效率。提高沉积效率。

【技术实现步骤摘要】
镀膜组件及镀膜装置和镀膜方法


[0001]本申请涉及镀膜
,具体而言,涉及镀膜组件及镀膜装置和镀膜方法。

技术介绍

[0002]随着真空镀膜技术的发展,柔性导电材料的生产工艺由真空镀膜逐步取代了传统的电镀、涂覆和化学处理方法,减少了传统工艺方法产生的污染,且拥有镀层纯度高、结合力好、均匀性好的优点。
[0003]市面上有两种类型的镀膜设备,一种是贴辊式蒸镀设备,另一种是悬浮式蒸镀设备。贴辊式蒸镀设备存在基材出现褶皱和镀空线的问题,悬浮式蒸镀设备存在传热差、沉积效率低的问题。

技术实现思路

[0004]本申请的目的在于提供镀膜组件及镀膜装置和镀膜方法,以改善现有镀膜设备存在镀空线或传热差、沉积效率低的技术问题。
[0005]第一方面,本申请实施例提供了一种镀膜组件,包括第一辊、第一冷却辊和蒸发机构。第一冷却辊沿膜材的传送路径设置于第一辊的下游,第一冷却辊设置于膜材的上方,第一辊与第一冷却辊之间的膜材限定为悬浮膜材。蒸发机构设置于悬浮膜材和第一冷却辊的下方,且被配置为能够同时对至少部分悬浮膜材和部分贴合于第一冷却辊上的膜材进行镀膜。
[0006]该镀膜组件使得沉积镀膜的膜材中,一部分膜材为悬浮状态,一部分为贴鼓状态,贴合于第一冷却辊上的膜材能够进行冷却,导出膜材的热量,有助于降低膜材的温度,避免膜材出现热损伤,同时能够提高镀膜的膜材的传热效率,提高沉积效率。
[0007]在一种可能的实现方式中,第一冷却辊的包角为30-330度,可选地,第一冷却辊的包角为120-270度。
[0008]蒸镀的膜材一部分为悬浮状态,一部分为贴鼓状态,使得膜材与第一冷却辊贴合的更紧,提高冷却效果。当第一冷却辊的包角为30-330度,该包角范围能够对膜材进行较好的冷却。
[0009]在一种可能的实现方式中,第一辊为展平辊或冷却辊,第一辊的包角为30-180度;可选地,第一辊的包角为40-130度。
[0010]该包角范围有助于第一辊具有较好的展平或冷却效果,同时为了使得第一辊与第一冷却辊之间具有较优的配合作用。
[0011]在一种可能的实现方式中,悬浮膜材相对水平面倾斜设置,悬浮膜材靠近第一辊的一端的高度高于悬浮膜材靠近第一冷却辊的一端的高度。
[0012]该结构使得蒸发机构与第一蒸镀区的距离大于蒸发机构与第二蒸镀区的距离,即镀膜初始阶段的膜材与蒸发机构的距离较远,使得受到的蒸汽量较少,吸收的热量较少,形成的镀层较薄,能够蒸镀耐热性较差的膜材。随着膜材的运动,膜材与蒸发机构的距离逐渐
减小,镀层的厚度逐渐增加至达到一定厚度,不会影响蒸镀效果。
[0013]在一种可能的实现方式中,悬浮膜材相对水平面倾斜的角度为5-60度。
[0014]该倾斜角度范围能够减少膜材在蒸镀前期吸收的热量,降低膜材受到热损伤的概率。
[0015]在一种可能的实现方式中,第一辊与第一冷却辊之间的膜材的长度为200-2000mm。可选地,第一辊与第一冷却辊之间的膜材的长度为300-900mm。
[0016]现有的悬浮式蒸镀设备中的两辊之间的蒸镀膜的长度一般为600-1500mm,自由膜长度较长,易出现褶皱等问题。并且该长度远大于蒸发机构的蒸镀长度,为了避免蒸发机构对非蒸镀部分的作用,一般设置盖板等结构,造成设备结构复杂,操作繁琐。本申请的镀膜组件的结构不需要考虑对蒸镀区域两侧膜材的影响,能够缩短第一辊与第一冷却辊之间的膜材的长度,使其长度为200-2000mm。该结构能够简化蒸发机构结构,避免自由膜长度较长而产生的褶皱问题,有助于提高膜材的蒸镀效果和展平。
[0017]在一种可能的实现方式中,还包括第二冷却辊,第一辊为展平辊,第一辊、第二冷却辊以及第一冷却辊沿传送路径依次设置。
[0018]该结构能够对蒸镀前的膜材进行展平和冷却,使得膜材具有较好的平整性,在镀膜的过程中能够吸收较多的热量而不出现热损伤。
[0019]第二方面,提供了一种镀膜装置,包括真空室、放卷机构、收卷机构以及上述镀膜组件,放卷机构、镀膜组件以及收卷机构沿传送路径依次设置于真空室的内部。
[0020]该镀膜装置包括镀膜组件,能够提高镀膜的膜材的传热效率,导出更多的热量,提高沉积效率。降低悬浮状态的膜材的温度,进而能够提高镀膜的量,增大镀层的厚度。
[0021]第三方面,提供了一种镀膜方法,采用上述镀膜组件对膜材进行镀膜,包括:膜材沿传送路径由第一辊传送至第一冷却辊,蒸发机构对至少部分悬浮膜材和部分贴合于第一冷却辊上的膜材进行镀膜。
[0022]该镀膜方法能够同时对悬浮膜材和贴合于第一冷却辊上的膜材进行镀膜,使得镀膜过程中膜材吸收的热量快速从第一冷却辊导出,有助于降低膜材的温度,避免膜材出现热损伤,提高沉积效率。
[0023]在一种可能的实现方式中,悬浮膜材包括未镀膜区和第一镀膜区,蒸发机构作用于贴合于第一冷却辊上的膜材的区域为第二镀膜区,第一镀膜区的膜材的长度和第二镀膜区的膜材的长度之和与未镀膜区的膜材长度的比值为1:9-3:7。
[0024]在镀膜过程中,未镀膜区的预热的膜材长度、第一镀膜区的仅蒸镀的膜材长度以及第二镀膜区的蒸镀、冷却的膜材长度均会影响膜材的蒸镀效果。该长度比值范围能够使得膜材的预热阶段、蒸镀阶段和蒸镀、冷却阶段适宜,使得膜材的蒸镀效果较佳。
[0025]在一种可能的实现方式中,第一镀膜区的膜材的长度与第二镀膜区的膜材的长度的比值为1:2-2:1。
[0026]该结构使得膜材吸收的热量和冷却导出的热量适宜,在具有较好的蒸镀质量的基础上,较大程度的减少膜材的热损伤概率。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附
图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0028]图1为本申请实施例提供的镀膜组件的第一种结构示意图;
[0029]图2为本申请实施例提供的镀膜组件的第二种结构示意图;
[0030]图3为本申请实施例提供的镀膜组件的第三种结构示意图;
[0031]图4为本申请实施例提供的镀膜组件的第四种结构示意图。
[0032]图标:100-镀膜组件;101-膜材;110-第一辊;120-第一冷却辊;130-蒸发机构;140-第二冷却辊;150-过辊。
具体实施方式
[0033]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此,以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜组件,其特征在于,包括第一辊;第一冷却辊,所述第一冷却辊沿膜材的传送路径设置于所述第一辊的下游,所述第一冷却辊设置于膜材的上方,所述第一辊与所述第一冷却辊之间的膜材限定为悬浮膜材;以及蒸发机构,所述蒸发机构设置于所述悬浮膜材和所述第一冷却辊的下方,且被配置为能够同时对至少部分所述悬浮膜材和部分贴合于所述第一冷却辊上的膜材进行镀膜。2.根据权利要求1所述的镀膜组件,其特征在于,所述第一冷却辊的包角为30-330度,可选地,所述第一冷却辊的包角为120-270度。3.根据权利要求1或2所述的镀膜组件,其特征在于,所述第一辊为展平辊或冷却辊,所述第一辊的包角为30-180度;可选地,所述第一辊的包角为40-130度。4.根据权利要求1所述的镀膜组件,其特征在于,所述悬浮膜材相对水平面倾斜设置,所述悬浮膜材靠近所述第一辊的一端的高度高于所述悬浮膜材靠近所述第一冷却辊的一端的高度。5.根据权利要求4所述的镀膜组件,其特征在于,所述悬浮膜材相对水平面倾斜的角度为5-60度。6.根据权利要求1所述的镀膜组件,其特征在于,所述第一辊与所述第一冷却辊之间的膜材的长度为200-2000mm...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴婷婷冯俊敏张万财
申请(专利权)人:深圳市海瀚新能源技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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