蒸发镀膜设备制造技术

本申请提供了蒸发镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。蒸发镀膜设备包括真空室，置于真空室内且沿着纵向方向排列的至少两个蒸发舟，用于控制基材运行的卷绕系统；每个蒸发舟均配设有隔离室和用于输送丝体的送丝系统，蒸发舟位于隔离室内，丝体穿过隔离室且丝体与蒸发舟接触；真空室的上方设有流通室，流通室的上端敞开，流通室的内腔与隔离室的内腔形成流通通道，基材水平从流通室的上端经过。显著提高镀膜的质量。膜的质量。膜的质量。

【技术实现步骤摘要】
蒸发镀膜设备
[0001]分案申请
[0002]本申请是申请日2019年11月25日、专利技术创造名称“蒸发机构及蒸发镀膜设备”、申请号为201922075518.2的技术专利申请的分案申请。
[0003]相关申请
[0004]本申请要求了申请日为2019年4月9日、专利技术创造名称为“一种高速卷绕蒸发镀膜设备”、申请号为201910280953.0的专利技术专利的国内优先权。


[0005]本申请涉及真空镀膜
，具体而言，涉及蒸发镀膜设备。

技术介绍

[0006]现有真空蒸发镀膜设备一般通过向上流动的蒸镀蒸汽对基材进行镀膜。为了实现单次沉积更厚的镀层，一般通过降低膜速或加大蒸汽量来实现。但由于降低膜速会导致膜面打皱、变形甚至断膜；而加大蒸汽量会导致蒸发机构的功率和电流加大，蒸发机构会出现温度高、腐蚀快以及寿命短的情况，蒸镀膜则会出现不均匀的情况。
[0007]现有技术中，采用蒸发舟进行蒸发镀膜。为了加大蒸汽量，在加大蒸发舟的功率和电流时，蒸发舟会出现镀液飞溅增加，造成柔性膜表面附着有尖锐金属屑以及柔性膜穿孔，导致产品品质降低，综合成本上升。

技术实现思路

[0008]本申请的目的在于提供蒸发机构及蒸发镀膜设备，以改善加大蒸发舟的蒸汽量导致的蒸镀膜质量低的技术问题。
[0009]第一方面，本申请实施例提供了一种蒸发机构，包括真空室，置于真空室内且沿着纵向方向排列的至少两个蒸发舟，用于控制基材运行的卷绕系统；每个蒸发舟均配设有隔离室和用于输送丝体的送丝系统，蒸发舟位于隔离室内，丝体穿过隔离室且丝体与蒸发舟接触；真空室的上方设有流通室，流通室的上端敞开，流通室的内腔与隔离室的内腔形成流通通道，基材水平从流通室的上端经过。
[0010]第二方面，本申请实施例提供了一种蒸发机构，用于真空镀膜，包括蒸发槽、负极、第一蒸发舟组件以及第二蒸发舟组件。负极沿预设方向设置于蒸发槽的内部。第一蒸发舟组件包括第一蒸发舟和第一正极，第一正极位于负极的一侧，第一蒸发舟设置在第一正极和负极之间，第一蒸发舟的两端分别与第一正极和负极连接。第二蒸发舟组件包括第二蒸发舟和第二正极，第二正极位于负极的另一侧，第二蒸发舟设置在第二正极和负极之间，第二蒸发舟的两端分别与第二正极和负极连接。第一蒸发舟和第二蒸发舟沿预设方向交替设置，第一蒸发舟和第二蒸发舟沿预设方向的舟间距为30
‑
100mm。
[0011]本申请对蒸发机构中蒸发舟的设置方式进行改变，将第一蒸发舟和第二蒸发舟交错设置于负极的两侧，在不改变蒸发舟结构的情况下，增大蒸发面积，提高镀膜的均匀性，
并且该结构使得位于负极同一侧的相邻的两个蒸发舟的舟间距增大，提高蒸发舟的散热效果，延长蒸发舟的使用寿命。本申请专利技术人通过实验研究对相错设置的第一蒸发舟和第二蒸发舟的舟间距进行限定，得出舟间距在30
‑
100mm范围内，可以较大程度的减少溅射带来的杂质和穿孔数量，可使镀膜的溅射针孔从每平方2
‑
3个减少至0.1
‑
0.5个，显著提高镀膜的质量。
[0012]在一种可能的实现方式中，第一蒸发舟和第二蒸发舟相互平行，可选的，第一蒸发舟和第二蒸发舟的顶面设置在同一个平面内。
[0013]第一蒸发舟和第二蒸发舟相互平行使得第一蒸发舟和第二蒸发舟产生的蒸汽分布均匀，且在同一个高度，当镀膜路径水平设置时，第一蒸发舟和第二蒸发舟的顶面与镀膜路径的距离相等。该结构有助于提高蒸发机构的蒸镀的均匀性。需要说明的是，本申请中的蒸汽为蒸发机构中的镀材产生的用于镀膜的蒸汽。
[0014]在一种可能的实现方式中，沿预设方向设置有多个负极，每个第一蒸发舟和每个第二蒸发舟均对应设置一个独立的负极，且相邻的两个负极绝缘设置。
[0015]该结构为负极单独配置的一种形式，该结构将多个蒸发舟与不同的负极连接，显著降低负极对多个蒸发舟的影响，以保证不同的蒸发舟的稳定性。
[0016]在一种可能的实现方式中，沿预设方向设置有多个负极，每个负极与至少一个第一蒸发舟和至少一个第二蒸发舟连接，且相邻的两个负极绝缘设置。
[0017]该结构为负极单独配置的另一种形式，该结构能够显著提高每个蒸发舟的电流稳定，不易出现波动，能够降低溅射和孔径，使得镀层均匀度更高。
[0018]第三方面，提供了一种蒸发镀膜设备，包括本体、传送组件、冷却机构以及上述蒸发机构。本体内部具有能够提供真空环境的腔室，传送组件、蒸发机构以及冷却机构设置于腔室。传送组件被配置为传送柔性膜，蒸发机构被配置为对柔性膜进行镀膜，冷却机构被配置为对柔性膜进行冷却。可选的，蒸发镀膜设备还包括离子源，离子源设置于腔室，被配置为对冷却中的柔性膜进行加工。
[0019]该蒸发镀膜设备采用上述蒸发机构，能够实现单次沉积更厚的镀层，减少溅射带来的杂质和穿孔数量，提高镀膜的质量。蒸发机构对悬浮平整状态的柔性膜进行蒸镀，柔性膜充分舒展且受热均匀降低出现局部变形、褶皱、镀空线等情况。
[0020]在一种可能的实现方式中，传送组件限定有镀膜路径，蒸发机构的蒸发舟与镀膜路径的垂直距离为180
‑
350mm。
[0021]该结构限定了蒸发机构与镀膜路径的垂直距离，即为蒸汽扩散至柔性膜的距离。该结构与蒸发机构的蒸发舟的结构共同作用，使得蒸发舟上产生的蒸汽能够均匀扩散至柔性膜，并形成均匀的镀层。
[0022]在一种可能的实现方式中，蒸发镀膜设备还包括设置于镀膜路径和蒸发机构之间的隔板和设置于镀膜路径远离蒸发机构一侧的挡板，隔板上设有与蒸发机构相对应的通孔，使蒸发机构能够通过通孔对途经镀膜路径的柔性膜进行蒸镀，挡板被配置为使途经镀膜路径的柔性膜位于挡板与通孔之间。隔板与蒸发机构之间设有与通孔相匹配的盖板，盖板被配置为选择性阻隔通孔与蒸发机构的蒸发舟。
[0023]隔板将蒸发机构与蒸发镀膜设备的其他机构分隔，显著的减少蒸发机构产生的蒸汽对卷绕过程中的柔性膜以及其他机构的污染，减少对本体的腔室的清洁范围和清洁频
次。隔板上设置通孔，使得蒸汽通过通孔对柔性膜进行蒸镀。挡板能够避免蒸汽运动至腔室的其他位置，以对其他机构及其他传送位置的柔性膜产生影响。
[0024]盖板用于保护非镀膜状态的柔性膜，当蒸发机构对柔性膜进行蒸镀，移走盖板，使得蒸发机构与通孔相对；当蒸发机构不进行蒸镀时，将盖板盖设于通孔或蒸发机构。
[0025]在一种可能的实现方式中，本体设有用于观察传送组件的第一视窗和用于观察蒸发机构的第二视窗。
[0026]通过第一视窗可以观察柔性膜在传送组件中的运行状态，通过第二视窗可以观察蒸发机构的蒸发状态，当出现特殊情况时，工作人员可以及时对蒸发镀膜设备进行调整或检修，以保证蒸镀的正常进行。
[0027]在一种可能的实现方式中，传送组件包括放卷机构、收卷机构以及导向辊，冷却机构包括冷却主鼓，放卷机构、导向辊、蒸发机构、冷却主鼓以及收卷机构沿柔性膜的传送路径依本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发镀膜设备，其特征在于，包括真空室，置于真空室内且沿着纵向方向排列的至少两个蒸发舟，用于控制基材运行的卷绕系统；每个蒸发舟均配设有隔离室和用于输送丝体的送丝系统，蒸...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯俊敏，张万财，吴婷婷，
申请(专利权)人：深圳市海瀚新能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：