一种双栅π型薄膜晶体管光学感应器及电子设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双栅π型薄膜晶体管光学感应器及电子设备，其中双栅π型薄膜晶体管光学感应器包括，基板；栅极层，至少部分覆盖基板，栅极层包括高反射率金属；顶栅绝缘层，至少部分覆盖基板和栅极层；非晶硅层，至少部分覆盖顶栅绝缘层；n型非晶硅层，至少部分覆盖非晶硅层；源漏极层，至少部分覆盖n型非晶硅层；第一钝化层，至少部分覆盖源漏极层；光栅层，至少部分覆盖第一钝化层；第二钝化层，至少部分覆盖光栅层。本实用新型专利技术栅极层采用高反射率金属，如银或铝，或使用叠层结构如氧化铟锡

【技术实现步骤摘要】
一种双栅
π
型薄膜晶体管光学感应器及电子设备


[0001]本技术涉及光学感应器
，尤其涉及一种双栅π型薄膜晶体管光学感应器及电子设备。

技术介绍

[0002]光学感应器在工业自动化、工业无损检测、人工智能、医学诊断、消费电子等领域中应用广泛。以薄膜晶体管为基础的光学感应器具有成本低、易于大面积成像的优点。一个薄膜晶体管和一个光敏元件构成一个基本像素单元。为了增大感光面积、提高像素填充比，将薄膜晶体管与光敏元件集成，做成了双栅π型非晶硅薄膜晶体管结构，由于薄膜晶体管的非晶硅沟道既作为电子通道，同时也用作感光，因此沟道处非晶硅对光有效利用的能力直接影响器件的灵敏度。
[0003]高灵敏度是光学感应器的主要特性要求之一。实现方法一般是增加光接收面积和增大光吸收系数实现。大的光接收面积或高像素填充比是双栅π型器件的一个重要特点，如需继续增加光接收面积，沟道长宽比也会发生变化。增大光吸收系数，可以从膜厚和膜质角度考虑。对于非晶硅膜厚，在2015年已公开的文章(A Numerical Study of an Amorphou本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双栅π型薄膜晶体管光学感应器，其特征在于，包括，基板；栅极层，至少部分覆盖所述基板，所述栅极层包括高反射率金属；顶栅绝缘层，至少部分覆盖所述基板和所述栅极层；非晶硅层，至少部分覆盖所述顶栅绝缘层；n型非晶硅层，至少部分覆盖所述非晶硅层；源漏极层，至少部分覆盖所述n型非晶硅层；第一钝化层，至少部分覆盖所述源漏极层；光栅层，至少部分覆盖所述第一钝化层；第二钝化层，至少部分覆盖所述光栅层。2.根据权利要求1所述的双栅π型薄膜晶体管光学感应器，其特征在于，所述栅极层包括银和/或铝。3.根据权利要求2所述的双栅π型薄膜晶体管光学感应器，其特征在于，所述银和/或铝的厚度不小于400
Å
。4.根据权利要求2所述的双栅π型薄膜晶体管光学感应器，其特征在于，所述银和/或铝的厚度为1000~3000
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【专利技术属性】
技术研发人员：罗志猛，李源，谢雄才，
申请(专利权)人：信利半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：