【技术实现步骤摘要】
一种探针测试结构
[0001]本申请涉及电子元件测试
，尤其涉及一种探针测试结构。
技术介绍
[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。由于不同待测产品的规格不同，分布于待测产品上的待测点不同，需调控探针台上的探针等检测端的位置与待测点准确对位后才可进行测试。尤其是在实验室阶段的测试过程，待测产品需不断进行调试，对应地需改变待测产品上待测点的位置并调整探针台上的探针等检测端的位置，工作量大。因此，提供一种适用性高、检测方法简单的探针测试结构具有十分重要的意义。
技术实现思路
[0003]本申请实施例提供一种探针测试结构，能够解决探针测试结构结构设计复杂的问题，提高采用探针测试结构对电子元件进行检测操作的方便性。
[0004]第一方面，本申请实施例提供的探针测试结构包括载料台、载料驱动结构、第一检测件和检测驱动结构。载料台用于承载待测件；载料驱动结构与载料台连接用于带动承载于载料台上的待测件以Z轴为中心轴旋转；第一检测件具有用于对待测件进行检测的检测端；检测驱动结构与第...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种探针测试结构，其特征在于，包括：载料台，用于承载待测件；载料驱动结构，与所述载料台连接用于带动承载于所述载料台上的所述待测件以Z轴为中心轴旋转；第一检测件，具有用于对所述待测件进行检测的检测端；检测驱动结构，与所述第一检测件连接用于带动所述第一检测件沿X轴、Y轴和Z轴中的至少一个方向移动以调整所述检测端与所述待测件对位，X轴、Y轴以及Z轴两两相互垂直，其中，所述第一检测件可拆卸地与所述检测驱动结构连接。2.根据权利要求1所述的探针测试结构，其特征在于，所述探针测试结构还包括安装板，所述载料驱动结构安装于所述安装板，所述安装板具有安装开口，所述载料台容置于所述安装开口与所述载料驱动结构连接；所述安装板具有第一表面，所述检测驱动结构安装于所述安装板用于带动所述第一检测件在所述第一表面所在的一侧活动。3.根据权利要求2所述的探针测试结构，其特征在于，所述安装开口为圆形开口，所述安装板内具有与圆形的所述安装开口连通的环形凹槽，所述环形凹槽与所述安装开口同轴设置；所述环形凹槽内设置有卡环，所述卡环配置为可在所述环形凹槽内以Z轴为中心旋转，所述卡环内侧卡接固定所述载料台，所述卡环外侧设有多个卡齿；所述安装板内还具有与所述环形凹槽连通的容置腔、两端分别与所述容置腔和所述安装板外表面连通的调节开口；所述载料驱动结构包括以Z轴为中心轴转动安装于所述容置腔内的第一齿轮和第二齿轮、部分容置于所述调节开口内并与所述第二齿轮同轴连接的转轴，所述转轴远离所述第二齿轮的一端位于所述安装板外表面所在的一侧，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合，所述第一齿轮与所述卡齿啮合。4.根据权利要求2所述的探针测试结构，其特征在于，所述检测驱动结构包括安装于所述安装板上的Z轴粗调驱动组件、与所述Z轴粗调驱动组件连接的Y轴粗调驱动组件、与所述Y轴粗调驱动组件连接的X轴粗调驱动组件、与所述X轴粗调驱动组件连接的夹持件，所述第一检测件可拆卸地安装于所述夹持件上，所述X轴粗调驱动组件、所述Y轴粗调驱动组件和所述Z轴粗调驱动组件分别用于带动所述第一检测件沿X轴、Y轴和Z轴方向移动。5.根据权利要求4所述的探针测试结构，其特征在于，所述安装板内具有与所述第一表面连通的液腔；所述Z轴粗调驱动组件包括主活塞、副活塞、与主活塞连接的主调节杆、与所述副活塞连接的副调节杆，所述主活塞和所述副活塞分别用于封堵所述液腔内的液体，以在所述主调节杆沿Z轴方向带动所述主活塞移动时调控所述液腔内的液体的分布状态从而带动所述副调节杆沿Z轴方向移动；所述Y轴粗调驱动组件的数量为两组，每组所述Y轴粗调驱动组件包括两端分别与所述副调节杆的端部连接的Y轴条形杆、套设于所述Y轴条形杆上的Y轴滑块、安装于所述Y轴滑块上的Y轴锁紧件，所述Y轴锁紧件与所述Y轴条形杆表面相接触以限制所述Y轴滑块在所述Y轴条形杆上移动；所述X轴粗调驱动组件包括两端分别与所述Y轴滑块连接的X轴条形杆、套设于所述X轴条形杆上的X轴滑块、安装于所述X轴滑块上的X轴锁紧件，所述X轴锁紧件与所述X轴条形杆
表面相接触以限制所述X轴滑块在所述X轴条形杆上移动，所述X轴滑块与所述第一检测件连接。6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：李亨特，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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