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本申请公开了一种探针测试结构，包括载料台、载料驱动结构、第一检测件和检测驱动结构。通过设置载料驱动结构可带动载料台以Z轴为中心轴旋转，并设置检测驱动结构可带动第一检测件沿X轴、Y轴和Z轴中的至少一个方向移动，使载料驱动结构与检测驱动结构两者...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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