防止回溅的装置与方法制造方法及图纸

一种防止回溅的装置，是配合一基板，其特征在于，主要包含：　　　　一旋转器，用以容置及旋转该基板；　　　　至少一液体喷洒单元，位于该旋转器的一侧，用以喷洒一液体至该基板；　　　　至少一围绕部分该旋转器的挡板，用以防止该液体溅出；　　　　一粗糙化单元，是披覆于部分该挡板上，用以防止该液体被该挡板回溅。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于一种，尤指一种适用于显影(Developer)或洗涤(Scrubber)制作过程中，防止显影液或水回溅的装置与方法。
技术介绍
一般制造薄膜电晶体液晶显示器(TFT-LCD)时，必须先在干净的玻璃板上制作薄膜电晶体的图案，其制作过程与一般半导体制造流程非常类似。首先要沈积薄膜，例如金属膜或介电薄膜；然后进入黄光室喷上光阻液，再套上光罩进行曝光接着送到显影区喷洒显影液，以去除照光后的光阻，使光阻层定型；最后再用蚀刻将露出的薄膜去除，并于蚀刻后将留下的光阻去除，电晶体所需要的电路图案就制作完成。进行显影的方式有很多种一般采用将显影液喷洒在置于旋转器的基板上，如图2所示，显影机台100为防止液体飞溅，因而于旋转器110外围的外盖120(Outercup)上缘设计有一段约十公分的挡板121，挡板121为与外盖120一体成型的平面光滑不锈钢材质制成。在此种设计下，显影液在旋转器110高速旋转时，虽可被不锈钢外盖挡下，不会溅至显影机台外部，但显影液130与不锈钢挡板121的高速碰撞下，会有部分的显影液再回溅至基板内，如箭头131所示。造成产品的优良率下降，此种情形在基板变薄的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防止回溅的装置，是配合一基板，其特征在于，主要包含一旋转器，用以容置及旋转该基板；至少一液体喷洒单元，位于该旋转器的一侧，用以喷洒一液体至该基板；至少一围绕部分该旋转器的挡板，用以防止该液体溅出；一粗糙化单元，是披覆于部分该挡板上，用以防止该液体被该挡板回溅。2.根据权利要求1所述的防止回溅的装置，其特征在于，其中该基板为硅晶圆，面板或玻璃板。3.根据权利要求1所述的防止回溅的装置，其特征在于，其中该液体为水或显影液。4.根据权利要求1所述的防止回溅的装置，其特征在于，其中该挡板为不锈钢板。5.根据权利要求1所述的防止回溅的装置，其特征在于，其中该粗糙化单元为海绵、不锈钢网、或粗糙的不锈钢表面。6.根据权利要求1所述的防止回溅的装置，其特征在于，其适用于显影机台或洗涤机台。7.一种防止回溅的方法，是配合一基板，其特征在于，主要包括以下步骤(A)提供一制作过程机台，该制作过...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾士庭，钟昱正，郭丁瑞，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：