下载防止回溅的装置与方法的技术资料

文档序号:3206445

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一种防止回溅的装置,是配合一基板,其特征在于,主要包含:    一旋转器,用以容置及旋转该基板;    至少一液体喷洒单元,位于该旋转器的一侧,用以喷洒一液体至该基板;    至少一围绕部分该旋转器的挡板,用以防止该液体溅出;    一粗糙...
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