【技术实现步骤摘要】
单晶炉副室清理装置
[0001]本技术涉及单晶炉辅助设备
，尤其涉及一种单晶炉副室清理装置。
技术介绍
[0002]单晶生产需要在高纯的环境中进行，所以对单晶炉室内的环境有严格的要求。单晶硅棒在生产制备晶体的过程中，挥发物会附着在副室的内壁上对拉晶产生影响。当晶棒取出后生产人员需对副室进行清理，现有技术中通常采用将清洁材料固定在钢管的顶端，蘸上无水乙醇后人工对副室的炉筒内壁进行清理。该方式增加了操作工人的劳动强度，浪费人力资源，而且容易出现内壁除尘效果不佳的现象，从而影响单晶硅棒的成晶率和品质。
技术实现思路
[0003]针对现有技术的不足，本技术提供一种单晶炉副室清理装置，该清理装置通过多级伸缩杆向上抬升，带动支撑环向上抬升进入单晶炉副室内，支撑环上的清洁材料对炉筒内壁进行清理，其自动化程度高，降低了操作工人的劳动强度，提高了单晶炉副室的清理效率。
[0004]本技术采用的技术方案是：
[0005]一种单晶炉副室清理装置，包括：
[0006]底座；
[0007]电机箱，设置
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉副室清理装置，其特征在于，包括：底座；电机箱，设置在所述底座上；多级伸缩杆，设置在所述底座上，与所述电机箱相连，通过所述电机箱驱动所述多级伸缩杆升降；支撑环，设置在所述多级伸缩杆的顶端。2.根据权利要求1所述的单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述电机箱内设置有伺服电机、减速机和主动同步带轮，所述伺服电机与所述减速机传动连接，所述伺服电机经减速机驱动所述主动同步带轮。3.根据权利要求2所述的单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述多级伸缩杆的内部中心设置有螺杆，所述螺杆的底端固定连接有从动同步带轮，所述从动同步带轮与所述主动同步带轮之间通过同步带传动连接。4.根据权利要求3所述的单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述螺杆的圆周外侧螺纹连接有至少三级导向伸缩杆，各级导向伸缩杆的直径不同，且各级导向伸缩杆按直径由大到小的顺序从下往上依次套接。5.根据权利要求4所述的单晶炉副室清理装置，其特征在于，所述多级伸缩...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹祖平，杨刚，李宝飞，胡楚汉，张军，马自成，杨佩均，
申请(专利权)人：四川永祥光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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