一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路制造技术

本实用新型专利技术公开了一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路，包括交流镀膜电源、直流DC模块、交流AC斩波模块、逻辑控制模块和等离子腔体；所述直流DC模块、交流AC斩波模块和逻辑控制模块均设置于交流镀膜电源上，直流DC模块连接交流AC斩波模块；所述交流AC斩波模块连接等离子腔体，且交流AC斩波模块与等离子腔体的连接处设置有负载连接线。本实用新型专利技术在判定发生电弧后，电源立刻给出当时输出电压的反向电压，通过电源迅速的吸收中和此时电源内部和负载腔体内的电弧能量，最大限度的降低电弧对腔体内靶材和产品的影响，后续可更快的恢复功率输出，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路


[0001]本技术涉及一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路。

技术介绍

[0002]如图1所示，为电流弧的处理机制，t1时刻，电流弧发生；电流弧发生后，电源输出电流急剧升高，在t2时刻达到电流弧判定阈值，此时电源认为电弧产生，立刻关断电源，延时至t3时刻恢复输出。
[0003]由于等离子腔体和负载连接线等存在寄生电感和电容，这部分会存储一部分能量，电源关断输出后，该部分能量不会立刻消失，而是在负载上震荡一段时间，消耗在了负载上，这部分能量不是工艺所需要的，会对产品造成损伤，而且这部分的能量也需要一定时间才能消耗完，影响了生产效率。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题是提供一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路，应用于交流镀膜电源等离子体辉光放电过程中出现的电弧进行检测和控制，降低电弧对溅射镀膜的影响。
[0005]本技术交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路是通过以下技术方案来实现的：包括交流镀膜电源、直流DC模块、交流AC斩波本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种交流镀膜电源中等离子体电弧的检测和控制电路，其特征在于：包括交流镀膜电源(1)、直流DC模块(2)、交流AC斩波模块(3)、逻辑控制模块(4)和等离子腔体(5)；所述直流DC模块(2)、交流AC斩波模块(3)和逻辑控制模块(4)均设置于交流镀膜电源(1)上，直流DC模块(2)连接交流AC斩波模块(3)；所述交流AC斩波模块(3)连接等离子腔体(5)，且交流AC斩波模块(3)与等离子腔体(5)的连接处设置有负载连接线(8)。2.根据权利要求1所述的交流镀膜电源中等离子体电弧的...

【专利技术属性】
技术研发人员：阚龙，
申请(专利权)人：上海硬石科技有限公司，
类型：新型
国别省市：